一种高效真空镀膜系统技术方案

本实用新型专利技术属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种高效真空镀膜系统，包括有工作台、真空机构、镀膜机构和控制机构，镀膜机构包括有设于工作台上侧的镀膜腔，镀膜腔上端设有凸环，凸环开有环槽，凸环铰接有腔盖，腔盖圆心处设有螺纹杆，螺纹杆远离镀膜腔一端设有第一把手，螺纹杆另一端转动装配有与环槽相匹配的密封板，凸环相对铰接点一侧设有回弹组件，凸环相对于铰接点一侧设有C形块，腔盖设有与C形块相匹配的J形弹性卡块，本设备能够进行高效的真空镀膜加工，起到良好密封效果的同时便于工件、材料的添加。材料的添加。材料的添加。

【技术实现步骤摘要】
一种高效真空镀膜系统


[0001]本技术属于真空镀膜设备
，具体涉及一种高效真空镀膜系统。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺，简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]在进行真空镀膜加工时，真空环境是作为加工的必要环境，但现有的设备为了达到较好的密封效果，其腔盖的开启和关闭过程非常繁琐，需要大量的操作才能够开启或关闭腔盖以达到高效真空的效果，进而影响真空镀膜的加工效率，且一般的设备密封件仅为单独一层密封环，一旦密封环失效则无其他密封措施，其密封效果不佳，并不能够满足真空镀膜的高效加工需要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是：旨在提供一种高效真空镀膜系统，能够满足工件的高效镀膜加工需要，不仅便于腔盖的开关，并且能够具备良好的密封效果。
[0005]为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
[0006]一种高效真空镀膜系统，包括有工作台、真空机构、镀膜机构和控制机构，所述控制机构与外界电源电性连接，所述镀膜机构包括有设于工作台上侧的镀膜腔，所述镀膜腔下侧与真空机构连接，所述镀膜腔内设有膜厚监测传感器、蒸发舟和若干与蒸发舟连接的加热接线柱，所述镀膜腔内设有位于蒸发舟上侧的样品台，所述镀膜腔上端设有凸环，所述凸环开有环槽，所述环槽设有第一密封圈，所述凸环铰接有腔盖，所述腔盖圆心处设有螺纹杆，所述螺纹杆远离镀膜腔一端设有第一把手，所述螺纹杆另一端转动装配有与环槽相匹配的密封板，所述密封板靠近腔盖一端设有与腔盖滑动装配的稳定杆，所述密封板下端设有与第一密封圈相匹配的卡槽，所述凸环相对铰接点一侧设有回弹组件，所述回弹组件包括有台阶孔，所述台阶孔底壁固定连接有回位弹簧，所述回位弹簧另一端连接有伸出台阶孔的剖面为T形的推块，所述凸环相对于铰接点一侧设有C形块，所述C形块的开口内设有由上至下向镀膜腔一侧倾斜的斜面，所述腔盖设有与C形块相匹配的J形弹性卡块，所述真空机构和镀膜机构均与控制机构电性连接。
[0007]采用本技术技术方案，初始状态下密封板与腔盖贴合，在进行真空镀膜加工时，先解除J形弹性卡块与C形块之间的锁止，解锁时直接推动J形弹性卡块，由于J形弹性卡块自身具有弹性，因此J形弹性卡块将向靠近镀膜腔一侧倾斜，并与C形块解除卡接，此时便解除了腔盖与凸环之间的锁止；当C形块与J形弹性卡块解除锁止时，回位弹簧伸张将推块
推出台阶孔，从而将腔盖向上自动顶起，这样避免了腔盖还未开启时J形弹性卡块自动恢复又与C形块相卡接造成腔盖开启的不便，当腔盖开启后此时便可将镀膜原料和待镀工件放入镀膜腔内，然后关闭腔盖，此时推块受到压力收回台阶孔，而J形弹性卡块与C形块的斜面接触而受到挤压弯曲，直至腔盖与凸环完全盖合，此时J形弹性卡块回弹再次与C形块卡接，即将腔盖固定，然后转动第一把手，使得密封板向下移动直至与环槽相贴，稳定杆能够使得密封板的移动更加稳定，密封板与环槽贴合形成第一道密封线，而密封板的卡槽与环槽的第一密封圈相配合形成第二道密封线，这样通过两道密封线使得镀膜腔与外界隔断，进而能够配合真空机构使得镀膜腔内能够形成较好的真空环境，更加利于镀膜使用；在进行真空镀膜时，真空机构将镀膜腔内的空气抽出形成真空环境，若干加热接线柱则对蒸发舟进行快速加热，使得镀膜原料受热快速蒸发最终沉积在工件上完成加工，膜厚监测传感器能够实时监测镀膜腔内的镀膜厚度，更加便于加工观察；本技术结构简单，能够高效地对工件进行真空镀膜加工，同时能够便于镀膜腔的开关，进行工件、原料的放置和对镀膜腔内的清理，同时通过两道密封线能够使得镀膜腔在进行加工时形成良好的真空环境，进而使得工件的加工更加高效。
[0008]进一步限定，所述真空机构包括有冷肼接口(5)、扩散泵(51)和机械泵(52),所述扩散泵(51)与镀膜腔(2)连接，所述机械泵(52)与扩散泵(51)共同连接有与镀膜腔(2)连接的管道，这样的结构，冷肼接口外接有冷肼，配合扩散泵和机械泵，能够使得镀膜腔形成极限真空，相较于传统单一机械泵抽真空，这样能够提高工件镀膜加工的质量。
[0009]进一步限定，所述凸环与腔盖的铰接处设有限位块。这样的结构，能够防止腔盖开启过度与镀膜腔发生碰撞造成损坏，同时也能够在对镀膜腔进行清理时使得腔盖保持开启。
[0010]进一步限定，所述腔盖侧面设有第二把手。这样的结构，能够便于开关腔盖。
[0011]进一步限定，所述密封板侧面设有与环槽相匹配的第二密封圈。这样的结构，能够进一步提高密封板与环槽之间的密封性。
[0012]进一步限定，所述工作台均匀设有若干万向轮，若干所述万向轮均设有刹车机构。这样的结构，使得装置能够在需要时灵活搬运，刹车机构能够在位置调整合适后固定防止位移。
[0013]本技术与现有技术相对比具有以下优点：
[0014]本技术结构简单，能够高效地对工件进行真空镀膜加工，同时能够便于镀膜腔的开关，进行工件、原料的放置和对镀膜腔内的清理，同时通过两道密封线能够使得镀膜腔在进行加工时形成良好的真空环境，进而使得工件的加工更加高效。
附图说明
[0015]本技术可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
[0016]图1为本技术一种高效真空镀膜系统实施例的结构示意图一；
[0017]图2为本技术一种高效真空镀膜系统实施例的结构示意图二；
[0018]图3为本技术一种高效真空镀膜系统实施例的结构剖视图；
[0019]图4为图3中A处的放大示意图；
[0020]主要元件符号说明如下：
[0021]工作台1、控制机构11、万向轮12、镀膜腔2、膜厚监测传感器21、蒸发舟22、加热接线柱23、样品台24、凸环3、环槽31、第一密封圈32、腔盖33、螺纹杆34、第一把手35、密封板36、稳定杆361、卡槽362、限位块37、第二把手38、台阶孔4、回位弹簧41、推块42、C形块43、斜面431、J形弹性卡块44、冷肼接口5、扩散泵51、机械泵52。
具体实施方式
[0022]为了使本领域的技术人员可以更好地理解本技术，下面结合附图和实施例对本技术技术方案进一步说明。
[0023]如图1
‑
4所示，一种高效真空镀膜系统，包括有工作台1、真空机构、镀膜机构和控制机构11，控制机构11与外界电源电性连接，镀膜机构包括有设于工作台1上侧的镀膜腔2，镀膜腔2下侧与真空机构连接，镀膜腔2内设有膜厚监测传感器21、蒸发舟22和若干与蒸发舟22连接的加热接线柱23，镀膜腔2内设有位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效真空镀膜系统，包括有工作台(1)、真空机构、镀膜机构和控制机构(11)，所述控制机构(11)与外界电源电性连接，其特征在于：所述镀膜机构包括有设于工作台(1)上侧的镀膜腔(2)，所述镀膜腔(2)下侧与真空机构连接，所述镀膜腔(2)内设有膜厚监测传感器(21)、蒸发舟(22)和若干与蒸发舟(22)连接的加热接线柱(23)，所述镀膜腔(2)内设有位于蒸发舟(22)上侧的样品台(24)，所述镀膜腔(2)上端设有凸环(3)，所述凸环(3)开有环槽(31)，所述环槽(31)设有第一密封圈(32)，所述凸环(3)铰接有腔盖(33)，所述腔盖(33)圆心处设有螺纹杆(34)，所述螺纹杆(34)远离镀膜腔(2)一端设有第一把手(35)，所述螺纹杆(34)另一端转动装配有与环槽(31)相匹配的密封板(36)，所述密封板(36)靠近腔盖(33)一端设有与腔盖(33)滑动装配的稳定杆(361)，所述密封板(36)下端设有与第一密封圈(32)相匹配的卡槽(362)，所述凸环(3)相对铰接点一侧设有回弹组件，所述回弹组件包括有台阶孔(4)，所述台阶孔(4)底壁固定连接有回位弹簧(41)，所述回位弹簧(41)另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：张楠林，王静波，
申请(专利权)人：阳明量子科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：