光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序。其技术问题是使用简易的测定机构测定分光光谱，确定该分光光谱中包括的峰值或谷值的次数并且测定准确的延迟。本发明专利技术的光学测定方法，包括：对样品测定分光光谱的步骤；使用第一波长色散公式按峰值或谷值表示的每个波长计算样品的厚度，并且在基于计算出的厚度的评价值最大的条件下，临时决定第一波长色散公式所包括的系数的步骤；在多种条件下设定特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，计算第二波长色散公式的步骤；基于包括临时决定的系数的第一波长色散公式和第二波长色散公式，确定特定的峰值的次数，并且基于确定的次数和第二波长色散公式，正式决定系数的步骤；计算延迟的步骤。延迟的步骤。延迟的步骤。

【技术实现步骤摘要】
光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序


[0001]本专利技术涉及光学测定方法、光学测定装置及光学测定程序。

技术介绍

[0002]以往，已知一种光学测定装置，通过一边使样品在平面方向上旋转一边测定样品与偏振镜和检偏镜的位置关系，来求出光学次数和延迟(retardation)(参照下述专利文献1和专利文献2)。此外，也有在已知样品的双折射率或样品的厚度中的一方的情况下，测定延迟的方法(参照下述专利文献3)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平11－211656号公报
[0006]专利文献2：日本特开2003－172691号公报
[0007]专利文献3：日本特开2003－240678号公报
[0008]如专利文献1和专利文献2所述，在使样品与偏振光学系统所成的角度变化为多种角度并进行测定的情况下，在测定装置中需要使样品或偏振光学系统倾斜的驱动机构。此外，特别是在样品的延迟高的情况下，难以确定次数，难以进行准确的延迟的测定。在专利文献3的光学测定方法中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学测定方法，其特征在于，包括：对样品在规定的波长区域内测定包括多个峰值和谷值的分光光谱的步骤；使用包括在多个条件下设定的系数的第一波长色散公式，按所述峰值或所述谷值表示的每个波长计算所述样品的厚度，并且在基于所述计算出的厚度的评价值最大的所述条件下，临时决定所述第一波长色散公式所包括的系数的步骤；在多种条件下设定所述多个峰值中包括的特定的峰值的次数，根据设定的多个条件，基于所述多个峰值的各次数和波长，计算第二波长色散公式的步骤；基于包括临时决定的所述系数的第一波长色散公式和所述第二波长色散公式，确定所述特定的峰值的次数，并且基于所确定的次数和所述第二波长色散公式，正式决定所述系数的步骤；以及基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，计算延迟的步骤。2.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，所述第一波长色散公式和所述第二波长色散公式是柯西波长色散公式。3.根据权利要求1或2所述的光学测定方法，其特征在于，所述分光光谱是平行尼科尔光谱。4.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，所述评价值是所述计算出的厚度的波长相关性越小则其值就越大。5.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，所述评价值是所述计算出的厚度的标准偏差越小则其值就越大。6.根据权利要求1所述的光学测定方法，其特征在于，还包括：变更光的行进方向与所述样品的表面所成的角度的步骤；在维持所述角度的状态下测定所述分光光谱，基于包括所述正式决定的所述系数的所述第二波长色散公式，测定延迟的步骤；以及基于通过重复执行规定次数的变更所述角度的步骤和测定所述延迟的步骤而计算出的多个延迟，计算所述样品的厚度方向相位差或三维折射率的步骤。7.一种光学测定装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻也大辅，
申请(专利权)人：大塚电子株式会社，
类型：发明
国别省市：