可附着于皮肤的电子装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种可附着于皮肤的电子装置及其制备方法，所述电子装置包括半导体电路单元和可附着于皮肤的柔性贴片，所述半导体电路单元包括电路元件和半导体元件，所述电路元件包括电极、互连器等，所述半导体元件包括绝缘层和有源层等，柔性贴片包括多个通孔，绝缘层包括与所述柔性贴片的多个通孔相对应的多个通孔。当有源层由压电材料制成时，所述电子装置可用作皮肤传感器，其能够获得皮肤的应变和/或弹性信息。和/或弹性信息。和/或弹性信息。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】可附着于皮肤的电子装置及其制备方法


[0001]【相关申请】
[0002]本申请要求主张申请日为2018年12月18日、申请号为第16/223,541号的美国专利申请和申请日为2019年7月2日、申请号为第10
‑
2019
‑
0079400号的韩国专利申请的优先权，将其全部内容通过引用结合在本申请中。
[0003]本专利技术涉及一种可附着于皮肤的电子装置，更具体地，涉及一种包括半导体电路单元和可附着于皮肤的柔性贴片的电子装置及其制备方法，其中，所述半导体电路单元包括半导体元件(例如，包括有源层)和电路部件(例如，包括电极和/或互连器等)，所述柔性贴片用作集成有所述半导体电路单元的基板。特别地，用作电路基板的柔性贴片具有多个通孔，因此透气性高且附着性强。

技术介绍

[0004]人们的生活随着工业和经济的发展而变得更加繁荣，大多数现代人的需求已经不仅仅是维持健康生活，而是渴望拥有并保持更加年轻美丽的面容和身体。为了满足这些现代人的需求，能够持续监测个人健康状态，尤其是皮肤状态(例如皮肤传感器)的适本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种可附着于皮肤的电子装置，包括：半导体电路单元，所述半导体电路单元包括电路元件和半导体元件，所述电路元件包括电极和互连器中的一个或多个，所述半导体元件包括绝缘层和有源层；以及可附着于皮肤的柔性贴片，所述柔性贴片包括多个通孔，其中，所述绝缘层包括与所述柔性贴片的多个通孔相对应的多个通孔。2.根据权利要求1所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述多个通孔包括圆形通孔，所述多个通孔之间的间距小于60μm。3.根据权利要求2所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述多个通孔还包括哑铃形状的通孔。4.根据权利要求2所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述多个通孔包括具有第一直径的第一通孔和具有第二直径的第二通孔的组合，其中，所述第一直径大于第二直径，并且所述第二通孔位于第一通孔的周围。5.根据权利要求1所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述柔性贴片设置在所述有源层上，使得所述柔性贴片的多个通孔与所述绝缘层的多个通孔在平面上相匹配。6.根据权利要求1所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述有源层由包含AlN或GaN的材料制成。7.根据权利要求1所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述电路元件包括第一电极和位于所述第一电极的对面的第二电极，所述第一电极包括一个或多个第一杆，所述第二电极包括一个或多个第二杆，所述第一杆在平面呈锯齿形状并朝向所述第二电极延伸，所述第二杆在平面呈锯齿形状并朝向所述第一电极延伸。8.根据权利要求1所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述第一杆或第二杆的锯齿形状包括位于杆的延伸方向在改变的位置的铰合图案。9.根据权利要求1所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述柔性贴片包括具有第一弹性模量的第一柔性层和具有第二弹性模量的第二柔性层，所述第一弹性模量小于第二弹性模量。10.根据权利要求9所述的可附着于皮肤的电子装置，其特征在于，所述第一柔性层的厚度(t1)和第二柔性层的厚度(t2)是基于以下数学式来确定：W≥W
c
，其中W
c
＝E
eq
t3/(24R2)，)，t＝t1+t2，其中，t表示柔性贴片的厚度，E1表示第一柔性层的弹性模量，E2表示第二柔性层的弹性模量，R表示附着于皮肤的柔性贴片的曲率，γ
dSkin
表示皮肤的接触表面的色散分量，γ
dPatch
表示贴片的接触表面的色散分量，γ
pSkin
表示皮肤的接触表面的极性分量，γ
pPatch
表示贴片的接触表面的极性分量。11.一种可附着于皮肤的电子装置的制备方法，包括以下步骤：
在第一基板上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成包括半导体元件和电路元件的半导体电路单元；将包括多个通孔的柔性贴片粘合到所述半导体电路上；以及蚀刻所述牺牲层以制备包括所述半导体电路单元和柔性贴片的电子装置。12.根据权利要求11所述的可附着于皮肤的电子装置的制备方法，其特征在于，形成所述半导体电路单元的步骤包括以下步骤：在所述牺牲层上形成电路元件，所述电路元件包括电极和互连器中的一个或多个；在所述电路元件上形成绝缘层，所述绝缘层形成为具有与所述柔性贴片的多个通孔相对应的多个通孔；以及在所述绝缘层上形成有源层。13.根据权利要求11所述的可附着于皮肤的电子装置的制备方法，其特征在于，形成所述有源层的步骤包括以下步骤：在第二基板上形成有源层；在所述有源层上形成应激源层；在所述应激源层上设置胶带；使用所述胶带将所述有源层和应激源层从所述第二基板剥离；将剥离的有源层和应激源层转印到所述绝缘层上，剥离的有源层会转印到所述绝缘层上；以及使用所述胶带将所述应激源层从所述有源层剥离。14.根据权利要求13所述的可附着于皮肤的电子装置的制备方法，其特征在于，所述应激源层由多个层组成，形成所述应激源层的步骤包括以下步骤：通过蒸发在所述有源层上形成第一应激源层；通过溅射沉积在所述第一应激源层上形成第二应激源层；以及通过溅射沉积在所述第二应激源层上形成第三应激源层。15.根据权利要求14所述的可附着于皮肤的电子装置的制备方法，其特征在于，所述第二应激源层由包含Al的材料制成，所述第三应激源...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩志娟，延韩武，金银珠，金志焕，
申请(专利权)人：麻省理工学院，
类型：发明
国别省市：