一种光谱共焦谱域干涉测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光谱共焦谱域干涉测量装置，包括控制器、色散物镜，色散物镜通过光纤连接至控制器，控制器内依次设置有准直物镜、色散元件、聚焦物镜，经聚焦物镜聚焦后的光束进入光电转换器，其中位于准直物镜前端的光纤出光端、准直物镜和聚焦物镜的光轴中心，色散元件的几何轴中心、光电转换器的中心线在同一水平面上。本实用新型专利技术中的高分辨率的光谱解码系统，可以同时获得光谱共焦信号与谱域干涉信号，可测量的透光物质的最小厚度大大减小，提高了测量精度和应用范围；色散物镜及光栏结构，使得反射光的能量分布的全高半宽明显变窄，色散物镜的聚焦光点明显变小，提高了横向分辨率，色散物镜的球差减小提高了系统测试的稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种光谱共焦谱域干涉测量装置


[0001]本技术涉及一种光学测量装置，特别涉及一种光谱共焦谱域干涉测量装置。

技术介绍

[0002]光谱共焦技术在位移测量以及透光物质厚度测量方面具有诸多应用。早在上世纪七十年代，学者Courtney Pratt等人提出一种可以使用显微镜物镜的色差进行表面形貌检测的技术；之后Molesini等学者使用一组色差经特殊设计的镜头，搭建了一台基于光谱共焦原理的表面轮廓仪；Boyde.A等人将其推广应用到了给显微镜领域带来革命性变化的共焦显微镜技术中去。此后，国外很多学者都对基于光谱共焦原理的测量技术进行了深入研究，并在测量领域衍生出许多应用实例:如表面轮廓及形貌的测量、亚微米量级精细结构的测量、半导体工业和汽车制造业中的位移测量、光学玻璃及生物薄膜的厚度测量、油漆与印刷行业的颜色测量等。目前，发达国家对该技术的掌握已十分成熟，市场上已有工业级的光谱共焦相关产品出现，工作频响达千赫兹以上。
[0003]光谱共焦位移传感器是基于共焦原理采用宽谱光源的非接触式传感器，其最高精度可以到亚微米级别，几乎可以测量所有材质表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光谱共焦谱域干涉测量装置，其特征在于，包括控制器(1)、色散物镜(3)，所述色散物镜(3)通过光纤连接至控制器(1)，所述控制器(1)内依次设置有准直物镜(117)、色散元件(118)、聚焦物镜(120)，经聚焦物镜(120)聚焦后的光束进入光电转换器件(121)，其中位于准直物镜(117)前端的光纤出光端的光轴中心、准直物镜(117)的光轴中心、色散元件(118)的几何轴中心、聚焦物镜(120)的光轴中心、光电转换器件(121)的中心线在同一水平面上。2.根据权利要求1所述的一种光谱共焦谱域干涉测量装置，其特征在于，所述光纤为Y型光纤(2)，所述控制器(1)内设置有光源，光源的光经Y型光纤(2)传输至色散物镜(3)，经被测物反射的光束依次经色散物镜(3)、Y型光纤(2)、准直物镜(117)、色散元件、聚焦物镜(120)，进入光电转换器件(121)。3.根据权利要求1所述的一种光谱共焦谱域干涉测量装置，其特征在于，所述色散元件(118)为反射式衍射光栅，线对数≧600线对/mm；或者所述色散元件(118)为色散棱镜。4.根据权利要求2所述的一种光谱共焦谱域干涉测量装置，其特征在于，控制器(1)的外壳上设置有具有槽型结构的散热片(101)，用于对内部光源电光转换后产生的热量进...

【专利技术属性】
技术研发人员：庆祖林，
申请(专利权)人：南京引创光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：