一种光学测量系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种光学测量系统，包括共用物镜、发射侧物镜、接收侧物镜、光源。光源发出的光束经过发射侧物镜后进入共用物镜，由共用物镜出射的光束经被测对象反射或散射后再次进入共用物镜，由共用物镜接收的光束进入接收侧物镜，由发射侧物镜出射的光束用于获取被测对象信息，发射侧物镜与共用物镜的光轴、以及接收侧物镜与共用物镜的光轴不同轴，具有空间偏移量。本实用新型专利技术实现了发射与接收光束存在可控制的倾斜角度，从而降低了光学信号间的串扰；由于发射光路与接收光路不共光轴，系统中无分光元件，所以提高了系统的光能利用率、提高了系统的分辨率。

【技术实现步骤摘要】
一种光学测量系统
本技术涉及一种光学测量系统，特别涉及一种用于表面形貌、透明物质厚折射率、透明物质背部结构等测量的光学测量系统。
技术介绍
光谱共焦在位移量、厚度、折射率、多层透明物质结构或者三维形貌的测量方面有诸多应用，早在上世纪七十年代，学者CourtneyPratt等人提出一种可以使用显微镜物镜的色差进行表面形貌检测的技术；之后Molesini等学者使用一组色差经特殊设计的镜头，搭建了一台基于光谱共焦原理的表面轮廓仪；Boyde.A等人将其推广应用到给显微镜领域带来革命性变化的共焦显微镜技术中去。此后，国外很多学者都对基于光谱共焦原理的测量技术进行了深入研究，并在测量领域衍生出许多应用实例：如表面轮廓及形貌的测量、微纳米量级精细结构的测量、半导体工业和汽车制造业中的位移测量、光学玻璃及生物薄膜的厚度测量、油漆与印刷行业的颜色测量等。目前，发达国家对该技术的掌握已十分成熟，市场上已有工业级的光谱共焦相关产品出现，工作频响达千赫兹以上。光谱共焦位移传感器是基于共焦原理采用宽谱光源的非接触式传感器，其最高精度可以到亚微米级别，几乎可以测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学测量系统，其特征在于：包括共用物镜、发射侧物镜(3)、接收侧物镜(6)、光源，所述光源发出的光束经过发射侧物镜(3)后进入共用物镜，由共用物镜出射的光束，不同的波长沿共用物镜的光轴方向聚焦，经被测对象(5)反射或散射后再次进入同一共用物镜，由共用物镜出射的光束进入接收侧物镜(6)，由接收侧物镜(6)出射的光束经过后端光谱解码后，用于获取被测对象(5)信息，所述发射侧物镜(3)与共用物镜的光轴、以及接收侧物镜(6)与共用物镜的光轴不同轴，具有空间偏移量。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学测量系统，其特征在于：包括共用物镜、发射侧物镜(3)、接收侧物镜(6)、光源，所述光源发出的光束经过发射侧物镜(3)后进入共用物镜，由共用物镜出射的光束，不同的波长沿共用物镜的光轴方向聚焦，经被测对象(5)反射或散射后再次进入同一共用物镜，由共用物镜出射的光束进入接收侧物镜(6)，由接收侧物镜(6)出射的光束经过后端光谱解码后，用于获取被测对象(5)信息，所述发射侧物镜(3)与共用物镜的光轴、以及接收侧物镜(6)与共用物镜的光轴不同轴，具有空间偏移量。


2.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述共用物镜为具有轴向色散功能、存在轴向色差的色散物镜(4)。


3.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述光源为连续光谱光源(1)。


4.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述光源发出的光束经过共焦光栏后进入发射侧物镜(3)，所述共焦光栏为不包含间隔小孔阵列的第一狭缝(2)。


5.根据权利要求1所述的一种光学测量系统，其特征在于：所述发射侧物镜(3)、共用物镜、接收侧物镜(6)三者光轴不同轴，由共用物镜出射的光束、以及经被测对象(5)反射或散射后进入共用物镜的光束与Z轴之间均具有倾斜角，所述倾斜角的倾斜角度可调节。

【专利技术属性】
技术研发人员：庆祖林，
申请(专利权)人：南京引创光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32