一种靶材绑定后的清缝方法技术

本发明专利技术提供一种靶材绑定后的清缝方法，通过合金钢材质的勾刀先对靶材缝隙进行清理，该勾刀结构稳定强度好，清洁效果佳，通过对勾刀清理过的缝隙先采用单面砂纸清理勾刀未清理的部分，再采用折叠起来双面砂纸对缝隙进行三面打磨清理，再通过吹气清理，最后通过采用EDTA

【技术实现步骤摘要】
一种靶材绑定后的清缝方法


[0001]本专利技术涉及靶材绑定领域，尤其涉及一种靶材绑定后的清缝方法。

技术介绍

[0002]ITO靶材主要用于ITO膜透明导电玻璃的制作，后者是制造平面液晶显示的主要材料，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。ITO靶材的清洁程度对后续加工的精度起着至关重要的作用。对于ITO旋转靶材的绑定，ITO靶材先进行内侧用铟通过超声波金属化后，再套在导电金属背管上，再用铟进行焊接，ITO靶材与靶材之间间隙填充铁芙蓉进行绑定，绑定完后的间隙要清理干净。如果在拼缝中有铟残留及其它杂质灰尘，则在客户使用过程中会出现打弧现场，造成客户使用异常。现有技术中，往往采用刀片和纸片对靶材的缝隙，进行清理，清理的效果差且耗费严重，操作不当，刀片和纸片容易残留在夹缝中，造成新的污染。
[0003]靶材清缝存在以下难点：1、间隙小，宽度0.2
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0.3mm，深度有9
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12mm，不好清理。
[0004]2、铁芙蓉硬，难清理，在清的过程中，容易造成产品崩角损伤。/>[0005]3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：包括有以下步骤：步骤一：将多个ITO靶材套在背管上绑定在一起，将相邻的ITO靶材之间的缝隙的高温胶首先去除掉；步骤二：用合金工具钢材质的呈钩状的勾刀，对相邻的ITO靶材之间的缝隙进行来回的清理；步骤三：取0.15mm厚度的薄细砂纸，单面塞到相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行来回的清理；步骤四：取0.1
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0.15mm厚度的砂纸折起来，形成双面的砂纸塞到相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行来回的清理，对缝隙里靶材表面打磨，双面砂纸折叠处对缝隙内部底端进行打磨清缝；步骤五：采用吹气枪对相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行吹气清理，清理之后对靶材进行静电湿式除尘；步骤六：将清理完毕的靶材投入到超声波清洗机内进行超声波振动清洗12
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20min。2.如权利要求1所述一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：超声波清洗采用EDTA
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二钠清洗剂加入到清洗机内，超声波清洗振动频率在前1/2时间内的频率为20
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40千赫，中间1/4时间内的频率为40
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【专利技术属性】
技术研发人员：曾墩风，王志强，石煜，王振宏，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：