精密线性马达平台制造技术

一种精密线性马达平台包括：基底部件，以沿长度方向延长的方式形成；至少一个引导轨，设置在基底部件；移动部件，以能够沿引导轨滑动的方式设置；永磁体组件，设置在基底部件与移动部件中的任一者；线圈组件，设置在基底部件与移动部件中的另一者，以产生磁力并通过与永磁体组件的相互作用使移动部件沿引导轨移动；多个涡流管，设置在基底部件与移动部件中的至少任一者；多个供应管，分别连接到多个涡流管，以对多个涡流管供应压缩空气；以及控制部，控制线圈组件的作动。精密线性马达平台具有以比较低的价格实现精确且精密的作动的效果。另外，精密线性马达平台具有结构比较简单、不会大大增加体积与重量且可精密作动的优点。不会大大增加体积与重量且可精密作动的优点。不会大大增加体积与重量且可精密作动的优点。

【技术实现步骤摘要】
精密线性马达平台


[0001]本专利技术涉及一种精密线性马达平台，更详细而言涉及一种使用线性马达准确驱动线性运动的装置。

技术介绍

[0002]线性马达平台非常广泛地用于半导体设备及精密加工装置等设备。
[0003]根据线性马达平台的作动精密度，半导体工艺及切削工艺的精密度及精确度受到大的影响。
[0004]最近，需要一种具有几乎数微米以内的作动精密度的线性马达平台。
[0005]线性马达由于其装置的特性而会从线圈产生大量热量，且由于在线圈中产生的热量加热周边构成会引起热变形，因此是降低作动精密度的主要原因。
[0006]为了防止如上所述的热变形，在高精密度的设备中大量使用使用石定盘的方法。如上所述，在将石定盘用作基底的情况下可通过减少在线圈中产生的热量引起的热变形来提高作动精密度。然而，使用石定盘的方法存在制造成本变高且设备整体的重量变重的问题。
[0007]因此，需要一种能够在不使用如上所述石定盘等昂贵的材料的同时也将温度变化的影响最小化来实现高精密度的作动的精密线性马达平台。

技术实现思路

[0008][专利技术所要解决的问题][0009]本专利技术是为了解决如上所述的必要性而提出的，其目的在于提供一种结构比较简单且体积不大、可以比较低廉的费用制造的高精密度精密线性马达平台。
[0010][解决问题的技术手段][0011]为了达成所述目的，本专利技术的精密线性马达平台的特征在于包括：基底部件，以沿长度方向延长的方式形成；至少一个引导轨，设置在所述基底部件；移动部件，以能够沿所述引导轨滑动的方式设置；永磁体组件，设置在所述基底部件与移动部件中的任一者；线圈组件，设置在所述基底部件与移动部件中的另一者，以产生磁力并通过与所述永磁体组件的相互作用使所述移动部件沿引导轨移动；多个涡流管，设置在所述基底部件与移动部件中的至少任一者；多个供应管，分别连接到所述多个涡流管，以对所述多个涡流管供应压缩空气；以及控制部，控制所述线圈组件的作动。
[0012][专利技术的效果][0013]本专利技术的精密线性马达平台具有以比较低的价格实现准确且精密的作动的效果。
[0014]另外，本专利技术的精密线性马达平台具有结构比较简单、不会大大增加体积与重量且可精密作动的优点。
附图说明
[0015]图1是根据本专利技术一实施例的精密线性马达平台的立体图；
[0016]图2是图1所示精密线性马达平台的仰视立体图；
[0017]图3是关于图1所示精密线性马达平台的一部分的剖面图；
[0018]图4是根据本专利技术的另一实施例的精密线性马达平台的立体图。
[0019]符号的说明
[0020]100：基底部件；
[0021]101：贯通孔；
[0022]110：中空部；
[0023]210、220：引导轨；
[0024]300：移动部件；
[0025]400：永磁体组件；
[0026]500：线圈组件；
[0027]600：涡流管；
[0028]601：温度传感器；
[0029]610：气动流入口；
[0030]620：低温排出口；
[0031]630：高温排出口；
[0032]650：供应管；
[0033]670：气动阀；
[0034]700：控制部；
[0035]800：折叠盖。
具体实施方式
[0036]以下，参照图1及图2，对根据本专利技术一实施例的精密线性马达平台进行说明。
[0037]图1是根据本专利技术一实施例的精密线性马达平台的立体图，图2是图1所示精密线性马达平台的仰视立体图。
[0038]参照图1及图2，本实施例的精密线性马达平台包括如下构成：基底部件100，一对引导轨210、220，移动部件300，永磁体组件400及线圈组件500。
[0039]基底部件100、引导轨210、220、移动部件300、永磁体组件400及线圈组件500的构成以与使用一般的线性马达的线性引导件相似的结构形成。
[0040]基底部件100起到支撑将布置在上侧的其他构成的作用。本实施例的情况，基底部件100以挤压铝合金并沿长度方向延长的方式形成。在如上所述通过挤压铝合金而形成基底部件100的过程中，沿此基底部件100的长度方向在基底部件100的内部由空的空间形成中空部110。如上所述，通过以包括中空部110的形态构成基底部件100，可降低制造成本并减轻设备的重量。
[0041]与一般结构的线性马达相同，在基底部件100设置编码器刻度(encoder scale)，以使编码器头读取编码器刻度而知道作动位移。
[0042]本实施例的情况，如图1所示，在基底部件100的上表面中，一对引导轨210、220以
沿基底部件100的长度方向延长的方式设置。
[0043]移动部件300设置在引导轨210、220，以可沿一对引导轨210、220滑动。即，移动部件300在相对于一对引导轨210、220滑动的同时相对于基底部件100进行相对移动。如上所述的编码器头设置在移动部件300，以读取设置在基底部件100的编码器刻度。
[0044]移动部件300通过由永磁体组件400与线圈组件500的相互作用产生的磁力而相对于基底部件100移动。
[0045]永磁体组件400设置并固定在基底部件100。线圈组件500以在芯上缠绕线圈的电磁体的形态构成，且可由多个电磁体构成。线圈组件500设置在移动部件300，且起到相对于基底部件100驱动移动部件300的作用。
[0046]控制部700控制供应到线圈组件500的电力来控制移动部件300的作动。控制部700通过接收在编码器头处感知的测量值来控制线圈组件500的作动，从而调节移动部件300相对于基底部件100的位置。
[0047]多个涡流管(vortex tube)600设置在基底部件100。涡流管600由如图3所示的结构构成。涡流管600包括气动流入口610、低温排出口620及高温排出口630。涡流管600起到将通过气动流入口610注入的压缩空气分离为相对高温的流股与相对低温的流股的作用。当由涡流管600的气动流入口610注入的压缩空气朝向涡流管600的涡旋室(swirl chamber)喷出并加速到快的速度旋转，以分离成高温的气体与低温的气体。低温的气体通过涡流管600的低温排出口620排出，而高温的气体通过涡流管600的高温排出口630排出。
[0048]本专利技术的情况，其特征在于通过如上所述使用通过涡流管600的低温排出口620排出的低温的压缩空气对包括基底部件100的周围构成进行冷却，从而维持温度，改善了作业精密度。
[0049]在涡流管600的气动流入口610连接各个供应管650，以将压缩空气供应到涡流管600。在供应管650中的每一者设置气动阀670，以控制流过供应管650的压缩空气的流动。在本实施例的情况下，电磁阀形态的气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密线性马达平台，其特征在于包括：基底部件，以沿长度方向延长的方式形成；至少一个引导轨，设置在所述基底部件；移动部件，以能够沿所述引导轨滑动的方式设置；永磁体组件，设置在所述基底部件与所述移动部件中的任一者；线圈组件，设置在所述基底部件与所述移动部件中的另一者，以产生磁力并通过与所述永磁体组件的相互作用使所述移动部件沿所述引导轨移动；多个涡流管，设置在所述基底部件与所述移动部件中的至少任一者；多个供应管，分别连接到所述多个涡流管，以对所述多个涡流管供应压缩空气；以及控制部，控制所述线圈组件的作动。2.根据权利要求1所述的精密线性马达平台，其中，所述永磁体组件设置在所述基底部件，所述线圈组件设置在所述移动部件。3.根据权利要求1或2所述的精密线性马达平台，其中，所述多个涡流管设置在所述基底部件。4.根据权利要求3所述的精密线性马达平台，其中，所述多个涡流管分别与所述多个供应管连接，且包括接收并供应压缩空气的气动流入口、将由所述气动流入口供应的压缩空气中相对低温的空气排出的低温排出口、以及将由所述气动流入口供应的压缩空气中相对高温的空气排出的高温排出口。5.根据权利要求4所述的精密线性马达平台，其中，所述多个涡流管中的至少一部分涡流管以所述低温排出口朝向所述基底部件的上侧的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成鲁，南基善，张仁瀚，
申请(专利权)人：埃尔帕特克股份有限公司，
类型：发明
国别省市：