一种图像传感器及成像装置制造方法及图纸

本方案公开了一种图像传感器及成像装置，其中图像传感器包括：光电转换层、荧光层、荧光增反层和带通滤光层，光电转换层可以是以基板为基底形成，可以以金属线路层为基底形成。荧光层位于光电转换层远离基板或金属线路层一侧。荧光层中，通过在荧光层上方添加对应于荧光波长的荧光增反层，使向上发射的荧光反射至光电转换单元，从而避免不是射向光电转换层的荧光损失掉的情况，光电转换层接收到的荧光越强，其产生的电荷信号就越强，其产生的紫外图像信号就越清晰，进而保证紫外光成像质量。在荧光层和光电转换层之间增加荧光增透层，能够降低荧光在光电转换层所附着的材料上的反射，以减小由于附着材料反射率较大造成的荧光损失。失。失。

【技术实现步骤摘要】
一种图像传感器及成像装置


[0001]本方案涉及光学
，特别是涉及一种图像传感器及成像装置。

技术介绍

[0002]目前，紫外成像设备主要是通过采集物体反射的紫外光成像，进而可以呈现肉眼看不到的信息。
[0003]当紫外光照射到紫外成像设备的荧光层后，使荧光层中荧光物质的电子吸收紫外光子的能量，从价带跃迁至导带。当电子从导带跃迁回价带时，能量会以荧光的形式释放。
[0004]由于，荧光属于自发辐射，因此光线是各向同性的，即各个方向都有的，因此不是射向光电转换单元的荧光会损失掉，导致紫外光成像质量不佳，图像模糊或虚化，视觉体验差。

技术实现思路

[0005]本方案提供一种图像传感器及成像装置，以解决紫外光照射到紫外成像设备的荧光层后，荧光向各个方向的自发辐射导致射向光电转换单一的荧光损失，以致紫外光成像不佳的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本方案实施例主要提供如下技术方案：
[0007]一方面，本方案的实施例提供一种图像传感器，包括：
[0008]基板；
[0009]位于基板一侧上的光电转换层；
[0010]位于光电转换层远离所述基板一侧上的荧光层；
[0011]位于荧光层远离所述光电转换层一侧上的荧光增反层；
[0012]位于荧光增反层远离所述荧光层一侧上的带通滤光层。
[0013]在一种优选的实施例中，图像传感器，还包括：
[0014]金属线路层，位于所述基板远离所述光电转换层一侧上。
[0015]另一方面，本方案的实施例提供一种图像传感器，包括：
[0016]金属线路层；
[0017]位于所述金属线路层一侧上的光电转换层；
[0018]位于光电转换层远离所述金属线路层一侧上的荧光层；
[0019]位于荧光层远离所述光电转换层一侧上的荧光增反层；
[0020]位于荧光增反层远离所述荧光层一侧上的带通滤光层。
[0021]一种优选的实施例中，所述带通滤光层包括紫外滤光层和/或可见光滤光层。
[0022]在一种优选的实施例中，图像传感器还包括：荧光增透层，所述荧光增透层置于所述荧光层靠近所述光电转换层一侧。
[0023]在一种优选的实施例中，所述荧光层由晕苯材料或路玛近材料制成；和/或，
[0024]所述荧光增反层材料为二氧化铪或五氧化二钽。
[0025]在一种优选的实施例中，所述荧光增反层的厚度与所述荧光层发出荧光的波长对应。
[0026]在一种优选的实施例中，图像传感器，还包括：
[0027]微透镜，位于所述光电转换层和所述荧光层之间，或，位于所述带通滤光层远离所述荧光增反层一侧。
[0028]在一种优选的实施例中，所述光电转换层设置有间隔层，所述间隔层将所述光电转换层在荧光层延展方向分隔开。
[0029]再一方面，本方案的实施例提供一种成像装置，包括：
[0030]上述的图像传感器；
[0031]图像处理单元，基于所述图像传感器输出的图像信号，生成对应图像。
[0032]本方案的有益效果如下：
[0033]本方案实施例提供的一种图像传感器及成像装置，光电转换层的形成过程可以是，先在基板上利用光刻蚀形成凹槽，再在凹槽内形成光电转换层；也可以是，利用掩膜工艺、光刻蚀和沉积工艺，形成光电转换层，另外，光电转换层也可以以金属线路层为基底，通过沉积工艺，在金属线路层上形成光电转换层。荧光层位于光电转换层远离基板或金属线路层一侧。通过在荧光层上方添加对应于荧光波长的荧光增反层，使向上发射的荧光反射至光电转换层，从而避免不是射向光电转换层的荧光损失掉的情况，光电转换层接收到的荧光越强，其产生的电荷信号就越强，其产生的对应光图像信号就越清晰，进而保证成像质量。
[0034]本方案在荧光层和光电转换层之间增加荧光增透层，能够降低荧光在光电转换层所附着的材料上的反射，以减小由于附着材料反射率较大造成的荧光损失。
[0035]上述说明仅是本方案技术方案的概述，为了能够更清楚了解本方案实施例的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本方案的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本方案实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本方案的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0037]图1示出本方案所述图像传感器中的一种实施例的截面图；
[0038]图2示出本方案所述图像传感器中的另一种实施例的截面图；
[0039]图3示出本方案所述图像传感器中的另一种实施例的截面图；
[0040]图4示出本方案所述图像传感器中的另一种实施例的截面图；
[0041]图5示出本方案所述图像传感器中的另一种实施例的截面图；
[0042]图6示出本方案所述图像传感器中的另一种实施例的截面图；
[0043]图7示出本方案所述图像传感器中的另一种实施例的截面图；
[0044]图8示出本方案所述成像装置的示意图；
[0045]图1至图8中的附图标记包括：
[0046]01
‑
图像传感器，02
‑
图像处理单元，10
‑
基板，20
‑
光电转换层，31
‑
荧光层，32
‑
荧光增反层，33
‑
荧光增透层，40
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带通滤光层，41
‑
紫外滤光层，42
‑
可见光滤光层，50
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金属线路层，60
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微透镜，70
‑
间隔层。
具体实施方式
[0047]为使技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本方案实施方式作进一步地详细描述。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0048]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本申请所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0049]经过对现有技术的分析和研究，现有技术中紫外光照射到紫外成像设备的荧光层后，使荧光层中荧光物质的电子吸收紫外光子的能量，从价带跃迁至导带。当电子从导带跃迁回价带时，能量会以荧光的形式自发辐射释放，荧光辐射的光线各个方向都有，导致射向光电转换单元的荧光有所损失。
[0050]因此，本方案旨在提供一种图像传感器及成像装置，该图像传感器及成像装置通过在荧光膜上方添加对应于荧光波长的增反膜，使向上发射的荧光反射至光电转换单元，从而避免不是射向光电转换单元的荧光损失掉的情况。
[0051]以下，结合附图对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：基板；位于基板一侧上的光电转换层；位于光电转换层远离所述基板一侧上的荧光层；位于荧光层远离所述光电转换层一侧上的荧光增反层；位于荧光增反层远离所述荧光层一侧上的带通滤光层。2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，还包括：金属线路层，位于所述基板远离所述光电转换层一侧上。3.一种图像传感器，其特征在于，包括：金属线路层；位于所述金属线路层一侧上的光电转换层；位于光电转换层远离所述金属线路层一侧上的荧光层；位于荧光层远离所述光电转换层一侧上的荧光增反层；位于荧光增反层远离所述荧光层一侧上的带通滤光层。4.根据权利要求1至3任一项所述的图像传感器，其特征在于，所述带通滤光层包括紫外滤光层和/或可见光滤光层。5.根据权利要求1至3任一项所述的图像传感器，其特征在于，还包括：荧光增透层，...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘小永，
申请(专利权)人：北京优彩科技有限公司，
类型：新型
国别省市：