一种显微物镜制造技术

本实用新型专利技术涉及光学技术领域，具体是一种显微物镜，所述第一透镜组的上方设置有朝向目侧的第三透镜组，且第一透镜组与第三透镜组之间设置有第二透镜组。本实用新型专利技术设计巧妙，结构精良，焦距数值范围内的显微物镜光学系统具有较大的正屈光力，使该物镜光学系统具备较大的放大倍率、长工作距离下拥有大数值孔径，同时，也使得物镜光学系统的场曲、畸变、像差得到改善，从而提高分辨率性能、减少镜片数目、降低加工难度。加工难度。加工难度。

【技术实现步骤摘要】
一种显微物镜


[0001]本技术涉及光学
，具体是一种显微物镜。

技术介绍

[0002]随着近年来半导体行业的高速发展，对其表面粗糙度的要求精度越来越高，通过提高显微镜的探测精度从而达到观测要求，一般而言，由于用于工业探测需要长的工作距离，要使显微镜上观察到跟多细节，需要大放大倍率、大数值孔径，对于这样的物镜光学系统，轴上像差和倍率色差的补正是很难的，由于像差的影响会导致光学的分辨率性能下降。
[0003]经检索，中国专利“一种显微物镜（CN101999090A）”，该专利具有大放大倍率、长的工作距离的物镜的优点，但是小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难。

技术实现思路

[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种显微物镜，包括朝向物侧的第一透镜组，所述第一透镜组的上方设置有朝向目侧的第三透镜组，且第一透镜组与第三透镜组之间设置有第二透镜组；
[0005]所述第一透镜组包括由下至上依次设置的第一透镜和第二透镜，所述第一透镜朝向目侧的一面作为承接面置入透镜座A中，所述第二透镜朝向目侧的一面作为承接面置入透镜座B中；
[0006]所述第二透镜组包括由下至上依次设置的第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜以及第十透镜，所述第三透镜朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座C中，所述第四透镜朝向目侧的一面与第五透镜朝向物侧的面胶合，且第四透镜朝向物侧的面作为承接面置入透镜座D中，所述第五透镜朝向目侧的一面与第六透镜朝向物侧的一面胶合，所述第七透镜朝向目侧的一面与第八透镜朝向物侧的一面胶合，且第七透镜朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座E中，所述第九透镜朝向目侧的一面与第十透镜朝向物侧的一面胶合，且第九透镜朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座F中；
[0007]所述第三透镜组包括由下至上依次设置的第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜以及第十四透镜，所述第十一透镜朝向目侧的一面与第十二透镜朝向物侧的一面胶合，且第十一透镜朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座G中，所述第十三透镜朝向目侧的一面与第十四透镜朝向物侧的一面胶合，且第十三透镜朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座H中；
[0008]作为本技术更进一步的方案：所述透镜座A的一侧与透镜座B的一侧相连，且透镜座A与透镜座B之间的距离为第一透镜与第二透镜在光轴上的间隔，所述透镜座B的另一侧与透镜座C的一侧相连，且透镜座B与透镜座C之间的距离为第二透镜与第三透镜在光轴上的间隔，所述透镜座C的另一侧与透镜座D的一侧相连，且透镜座C与透镜座D的间距为第三透镜和第四透镜在光轴上的间隔，所述透镜座D的另一侧与透镜座E的一侧相连，且透镜座D与透镜座E之间的距离为第六透镜和第七透镜在光轴上的间隔，所述透镜座E的另一
侧与透镜座F的一侧相连，且透镜座E与透镜座F之间的距离为第八透镜和第九透镜在光轴上的间隔，所述透镜座F的另一侧与透镜座G的一侧相连，且透镜座F与透镜座G之间的距离第十透镜和第十一透镜在光轴上的间隔，所述透镜座G的另一侧与透镜座H的一侧相连，且透镜座G与透镜座H之间的距离为第十二透镜和第十三透镜在光轴上的间隔。
[0009]作为本技术更进一步的方案：所述第一透镜具有正屈光力，所述第二透镜具有正屈光力，所述第三透镜具有正屈光力，所述第四透镜具有正屈光力，所述第五透镜具有负屈光力，所述第六透镜具有正屈光力，所述第七透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第八透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第九透镜具有正屈光力，所述第十透镜具有负屈光力，所述第十一透镜具有正屈光力，所述第十二透镜具有负屈光力，所述第十三透镜具有负屈光力，所述第十四透镜具有正屈光力。
[0010]作为本技术更进一步的方案：所述第一透镜组、第二透镜组以及第三透镜组的参数为：
[0011]0.03<f1/f2<0.95；
[0012]‑
1.5<f1/f3<
‑
0.05；
[0013]3<f1/f<6.5。
[0014]其中，f1是第一透镜组的焦点距离，f2是第二透镜组的焦点距离，f3是第三透镜组的焦点距离，f是该物镜光学系统OB的焦点距离。
[0015]作为本技术更进一步的方案：所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜以及第六透镜的折射率为：
[0016]1.85<N11<2.01；
[0017]1.80<N12<2.00；
[0018]1.41<N21<1.61；
[0019]1.41<N22<1.61；
[0020]1.85<N23<2.00；
[0021]1.41<N24<1.61。
[0022]其中，N11为第一透镜的折射率，N12为第二透镜的折射率，N21为第三透镜的折射率，N22为第四透镜的折射率，N23为第五透镜的折射率，N24为第六透镜的折射率。
[0023]作为本技术更进一步的方案：所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜以及第六透镜的阿贝数为：
[0024]V11≤50，V12≤50，V21≤90，V22≤90，V23≤50，V24≤95;
[0025]其中，V11为第一透镜的阿贝数，V12为第二透镜的阿贝数，V21为第三透镜的阿贝数，V22为第四透镜的阿贝数，V23为第五透镜的阿贝数，V24为第六透镜的阿贝数。
[0026]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术设计巧妙，结构精良，焦距数值范围内的显微物镜光学系统具有较大的正屈光力，使该物镜光学系统具备较大的放大倍率、长工作距离下拥有大数值孔径，同时，也使得物镜光学系统的场曲、畸变、像差得到改善，从而提高分辨率性能、减少镜片数目、降低加工难度。
附图说明
[0027]图1为一种显微物镜的透镜构成图。
[0028]图中：81、第一透镜组；711、第一透镜；712、第二透镜；601、透镜座A；602、透镜座B ；82、第二透镜组；721、第三透镜；722、第四透镜；723、第五透镜；724、第六透镜；725、第七透镜；726、第八透镜；727、第九透镜；728、第十透镜；603、透镜座C；604、透镜座D；605、透镜座E；606、透镜座F；83、第三透镜组；731、第十一透镜；732、第十二透镜；733、第十三透镜；734、第十四透镜；607、透镜座G；608、透镜座H。
具体实施方式
[0029]请参阅图1，本技术实施例中，一种显微物镜，包括朝向物侧的第一透镜组81，第一透镜组81的上方设置有朝向目侧的第三透镜组83，且第一透镜组81与第三透镜组83之间设置有第二透镜组82；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微物镜，包括朝向物侧的第一透镜组（81），其特征在于，所述第一透镜组（81）的上方设置有朝向目侧的第三透镜组（83），且第一透镜组（81）与第三透镜组（83）之间设置有第二透镜组（82）；所述第一透镜组（81）包括由下至上依次设置的第一透镜（711）和第二透镜（712），所述第一透镜（711）朝向目侧的一面作为承接面置入透镜座A（601）中，所述第二透镜（712）朝向目侧的一面作为承接面置入透镜座B（602）中；所述第二透镜组（82）包括由下至上依次设置的第三透镜（721）、第四透镜（722）、第五透镜（723）、第六透镜（724）、第七透镜（725）、第八透镜（726）、第九透镜（727）以及第十透镜（728），所述第三透镜（721）朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座C（603）中，所述第四透镜（722）朝向目侧的一面与第五透镜（723）朝向物侧的面胶合，且第四透镜（722）朝向物侧的面作为承接面置入透镜座D（604）中，所述第五透镜（723）朝向目侧的一面与第六透镜（724）朝向物侧的一面胶合，所述第七透镜（725）朝向目侧的一面与第八透镜（726）朝向物侧的一面胶合，且第七透镜（725）朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座E（605）中，所述第九透镜（727）朝向目侧的一面与第十透镜（728）朝向物侧的一面胶合，且第九透镜（727）朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座F（606）中；所述第三透镜组（83）包括由下至上依次设置的第十一透镜（731）、第十二透镜（732）、第十三透镜（733）以及第十四透镜（734），所述第十一透镜（731）朝向目侧的一面与第十二透镜朝向物侧的一面胶合，且第十一透镜（731）朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座G（607）中，所述第十三透镜（733）朝向目侧的一面与第十四透镜（734）朝向物侧的一面胶合，且第十三透镜（733）朝向物侧的一面作为承接面置入透镜座H（608）中。2.根据权利要求1所述的一种显微物镜，其特征在于，所述透镜座A（601）的一侧与透镜座B（602）的一侧相连，且透镜座A（601）与透镜座B（602）之间的距离为第一透镜（711）与第二透镜（712）在光轴上的间隔，所述透镜座B（602）的另一侧与透镜座C（603）的一侧相连，且透镜座B（602）与透镜座C（603）之间的距离为第二透镜（712）与第三透镜（721）在光轴上的间隔，所述透镜座C（603）的另一侧与透镜座D（604）的一侧相连，且透镜座C（603）与透镜座D（604）的间距为第三透镜（721）和第四透镜（722）在光轴上的间隔，所述透镜座D（604）的另一侧与透镜座E（605）的一侧相连，且透镜座D（604）与透镜座E（605）之间的距离为第六透镜（724）和第七透镜（725）在光轴上的间隔，所述透镜座E（605）的另一侧与透镜座F（606）的一侧相连，且透镜座E（605）与透镜座F（606）之间的距离为第八透镜（726）和第九透镜（727）在光轴上的间隔，所述透镜座F（606）的另一侧与透镜座G（607）的一侧相连，且透镜座F（606...

【专利技术属性】
技术研发人员：方政，林顺华，段立新，
申请(专利权)人：麦克奥迪实业集团有限公司，
类型：新型
国别省市：