本实用新型专利技术公开了一种晶圆切割线生产用烘干装置，包括烘干箱，所述烘干箱端部设置有烘干室，所述烘干室端部通过铰链转动连接有箱门，所述烘干室内部设置有第一压板与第二压板，所述第一压板与第二压板呈对称设置，所述第一压板与第二压板两端均贯穿有连接杆，所述连接杆端部固定有安装板，相对于所述的第一压板一侧的安装板表面固定有第一轴杆；本实用新型专利技术通过设计的第一压板和第二压板，两者可以实现相互拉动分离，便于对晶圆切割线的快速拆装放置，通过设计的安装板，将第一压板和第二压板两者与烘干室侧壁实现转动连接，保证其放置在内侧的晶圆切割线进行转动烘干处理，烘干更加均匀彻底。加均匀彻底。加均匀彻底。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割线生产用烘干装置
[0001]本技术属于晶圆切割线生产
，具体涉及一种晶圆切割线生产用烘干装置。
技术介绍
[0002]晶圆切割线生产用烘干装置应用在晶圆切割线中的烘干设备，对其加工中的晶圆切割线进行烘干处理，保证晶圆切割线表面处于干燥状态，避免其影响后序加工。
[0003]现有的晶圆切割线生产用烘干装置为烘干箱，将其晶圆切割线放置在烘干箱的烘干室托盘上，然后通过烘干室内的烘干组件对其进行加热处理，但是现有的托盘位于烘干室内直接放置，无法进行翻转烘干，进而使晶圆切割线在烘干中只能一端表面与烘干光源直接接触，而另一端表面无法翻转使其烘干效果不佳的问题，为此我们提出一种晶圆切割线生产用烘干装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆切割线生产用烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割线生产用烘干装置，包括烘干箱，所述烘干箱端部设置有烘干室，所述烘干室端部通过铰链转动连接有箱门，所述烘干室内部设置有第一压板与第二压板，所述第一压板与第二压板呈对称设置，所述第一压板与第二压板两端均贯穿有连接杆，所述连接杆端部固定有安装板，相对于所述的第一压板一侧的安装板表面固定有第一轴杆，相对于所述的第一压板另一侧的安装板表面固定有第二轴杆，所述第一轴杆与第二轴杆一端均套设有轴套，所述轴套固定在烘干室内壁两侧。
[0006]优选的，所述第二轴杆外壁套接有从动轮，所述从动轮外部套接有驱动皮带，所述驱动皮带底端内侧连接有驱动轮，所述驱动轮一端连接有伺服电机。
[0007]优选的，所述伺服电机设置有烘干室底端表面，所述伺服电机与烘干室表面之间连接有紧固螺钉。
[0008]优选的，所述连接杆的纵截面为工字型结构，所述连接杆两端外部均套设有挤压弹簧。
[0009]优选的，所述第一压板与第二压板表面分别开设有第一通孔与第二通孔，所述第二通孔内径为第一通孔内径的三分之二。
[0010]优选的，所述烘干箱底端四个拐角处均固定有移动轮，所述移动轮表面设置有制动踏板。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]（1）通过设计的第一压板和第二压板，两者可以实现相互拉动分离，便于对晶圆切割线的快速拆装放置，通过设计的安装板，将第一压板和第二压板两者与烘干室侧壁实现
转动连接，保证其放置在内侧的晶圆切割线进行转动烘干处理，烘干更加均匀彻底，通过设计的驱动皮带，起到动力传输作用，使伺服电机带动安装板进行翻转，通过设计的伺服电机，伺服电机对本技术的转动提供动力源。
[0013]（2）通过设计的挤压弹簧，挤压弹簧对两个压板施加弹力挤压，保证第一压板和第二压板对晶圆切割线挤压放置更加紧密稳定通过设计的第一通孔与第二通孔，保证压在两个压板之间的晶圆切割线在翻转中两端表面都能实现与烘干光源直接接触，保证其烘干效果更佳。
附图说明
[0014]图1为本技术的主视图；
[0015]图2为本技术中第一压板、第二压板与伺服电机的组装示意图；
[0016]图3为本技术第一压板与第二压板的组装俯视图；
[0017]图4为本技术安装板与连接杆的组装侧视图；
[0018]图中：1、烘干箱；2、箱门；3、烘干室；4、第一压板；5、第二压板；6、轴套；7、连接杆；8、第一轴杆；9、挤压弹簧；10、伺服电机；11、驱动轮；12、第二轴杆；13、安装板；14、驱动皮带；15、从动轮。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0020]请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆切割线生产用烘干装置，包括烘干箱1，烘干箱1端部设置有烘干室3，烘干室3端部通过铰链转动连接有箱门2，烘干室3内部设置有第一压板4与第二压板5，通过设计的第一压板4和第二压板5，两者可以实现相互拉动分离，便于对晶圆切割线的快速拆装放置，第一压板4与第二压板5呈对称设置，第一压板4与第二压板5两端均贯穿有连接杆7，连接杆7端部固定有安装板13，通过设计的安装板13，将第一压板4和第二压板5两者与烘干室3侧壁实现转动连接，保证其放置在内侧的晶圆切割线进行转动烘干处理，烘干更加均匀彻底，相对于的第一压板4一侧的安装板13表面固定有第一轴杆8，相对于的第一压板4另一侧的安装板13表面固定有第二轴杆12，第一轴杆8与第二轴杆12一端均套设有轴套6，轴套6固定在烘干室3内壁两侧，第二轴杆12外壁套接有从动轮15，从动轮15外部套接有驱动皮带14，通过设计的驱动皮带14，起到动力传输作用，使伺服电机10带动安装板13进行翻转，驱动皮带14底端内侧连接有驱动轮11，驱动轮11一端连接有伺服电机10，通过设计的伺服电机10，伺服电机10对本技术的转动提供动力源。
[0021]本实施例中，优选的，伺服电机10设置有烘干室3底端表面，伺服电机10与烘干室3表面之间连接有紧固螺钉，连接杆7的纵截面为工字型结构，连接杆7两端外部均套设有挤
压弹簧9，通过设计的挤压弹簧9，挤压弹簧9对两个压板施加弹力挤压，保证第一压板4和第二压板5对晶圆切割线挤压放置更加紧密稳定。
[0022]本实施例中，优选的，第一压板4与第二压板5表面分别开设有第一通孔与第二通孔，通过设计的第一通孔与第二通孔，保证压在两个压板之间的晶圆切割线在翻转中两端表面都能实现与烘干光源直接接触，保证其烘干效果更佳，第二通孔内径为第一通孔内径的三分之二，烘干箱1底端四个拐角处均固定有移动轮，移动轮表面设置有制动踏板。
[0023]本技术的工作原理及使用流程：本技术在使用的时候，将通过切割生产线加工后的晶圆切割线放置在第一压板4和第二压板5之间，保证其晶圆切割线两端表面分别处于第一通孔和第二通孔位置，放置完毕后，松开对第一压板4和第二压板5的拉动，挤压弹簧9对两个压板快速施加弹力挤压，保证两个压板对晶圆切割线实现放置固定，伺服电机10进行工作，其中伺服电机10的型号为HF302S
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A48，通过驱动皮带14带动安装在烘干室3内的安装板13进行转动，从而安装板13带动装有晶圆的压板实现翻转，使本技术达到翻转烘干，保证晶圆切割线两侧表面都能与烘干光源接触达到烘干更加彻底。
[0024]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割线生产用烘干装置，包括烘干箱（1），所述烘干箱（1）端部设置有烘干室（3），所述烘干室（3）端部通过铰链转动连接有箱门（2），其特征在于：所述烘干室（3）内部设置有第一压板（4）与第二压板（5），所述第一压板（4）与第二压板（5）呈对称设置，所述第一压板（4）与第二压板（5）两端均贯穿有连接杆（7），所述连接杆（7）端部固定有安装板（13），相对于所述的第一压板（4）一侧的安装板（13）表面固定有第一轴杆（8），相对于所述的第一压板（4）另一侧的安装板（13）表面固定有第二轴杆（12），所述第一轴杆（8）与第二轴杆（12）一端均套设有轴套（6），所述轴套（6）固定在烘干室...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨崇秋，吉成东，周林，
申请(专利权)人：江苏茂硕新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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