一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机制造技术

本实用新型专利技术涉及粗研磨机技术领域，且公开了一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有传动杆，所述传动杆的外侧固定连接有定位杆，所述定位杆的内部设置有两个对称分布的打磨装置，所述传动杆的右端固定连接有打磨盘，所述传动杆的外侧设置有除尘装置。该实用新型专利技术，通过底座上的驱动电机带动传动杆转动，传动杆带动外侧的定位杆转动，定位杆带动打磨装置做以传动杆为轴心的圆周运动，从而使得两组打磨装置对瓶体的内壁进行精细研磨，打磨精度更高，效率更快，并且传动杆同时带动右端打磨盘转动，从而实现了装置具备可主动除尘，打磨精度高等优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机


[0001]本技术涉及粗研磨机
，具体为一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机。

技术介绍

[0002]电子级超纯气体(如氦、氮、氢)在半导体制造中用作清洗气、加压气、载气和保护气，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业，近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展。
[0003]电子超纯气体对灌装钢瓶的内部平整度要求非常高，这就需要研磨装置对灌装钢瓶的内壁进行打磨使其达到电子超纯气体的灌装要求，传统的打磨设备在打磨时无法将打磨的碎屑和粉尘技术排出，就会影响打磨设备的打磨精度，因此我们提出一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机用以解决以上问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，具备可主动除尘，打磨精度高等优点，解决了传统的打磨设备在打磨时无法将打磨的碎屑和粉尘技术排出，就会影响打磨设备的打磨精度的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述可主动除尘，打磨精度高的目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有传动杆，所述传动杆的外侧固定连接有定位杆，所述定位杆的内部设置有两个对称分布的打磨装置，所述传动杆的右端固定连接有打磨盘，所述传动杆的外侧设置有除尘装置，所述底座的顶部开设滑动槽，所述滑动槽的内部设置有圆杆，所述滑动槽的内部固定连接有滑座，所述圆杆的一端贯穿并滑动连接至滑座的内侧，所述滑座的顶部设置有两个对称分布的定位套，所述底座的顶部固定连接有电动推杆，所述电动推杆的左端固定连接至滑座的右侧。
[0008]优选的，所述打磨装置包括打磨电机和打磨辊，所述打磨电机的输出轴通过联轴器固定连接至打磨辊的左端，所述打磨辊的右端贯穿并转动连接至定位杆的右侧，所述打磨电机的右侧固定连接至定位杆的左侧，
[0009]优选的，所述除尘装置包括两个抽风机、两个集尘盒、两个连接管和两组吸风斗，两个所述抽风机、两个集尘盒、两个连接管和两组吸风斗分别以传动杆为中心线对称分布，所述抽风机的外侧固定连接至传动杆的外侧，所述抽风机的输入端通过管道固定连接至集尘盒的内部，所述集尘盒的右侧固定连接至连接管的左端，连接管的右端贯穿并固定连接
至定位杆的右侧，所述连接管的顶部固定连接至吸风斗的底部。
[0010]优选的，所述定位套包括两个弧形夹紧件、螺纹杆和螺母，两个所述弧形夹紧件分别以滑座的水平中心线为轴心对称分布，两个所述弧形夹紧件的顶部均滑动连接至螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接至螺母的内侧，所述螺母的背面一侧与正面的弧形夹紧件的正面接触。
[0011]优选的，所述底座的顶部固定连接有支撑杆，所述传动杆的一端贯穿并转动连接至支撑杆的右侧。
[0012]优选的，所述滑座的顶部固定连接有竖杆，所述竖杆的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的左端固定连接有定位板。
[0013](三)有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，具备以下有益效果：
[0015]1、该芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，通过底座上的驱动电机带动传动杆转动，传动杆带动外侧的定位杆转动，定位杆带动打磨装置做以传动杆为轴心的圆周运动，从而使得两组打磨装置对瓶体的内壁进行精细研磨，打磨精度更高，效率更快，并且传动杆同时带动右端打磨盘转动，可同时对瓶底进行打磨，从而实现一体化全方位精细打磨，使得打磨精度达到纳米级，同时传动杆的外侧设置有除尘装置，除尘装置跟随传动杆同步转动，同时将内部打磨产生的碎屑及时吸收排出，保证打磨精度，并且通过电动推杆推动滑座上的定位套中固定的瓶体，沿着滑动槽以及内部的圆杆缓慢稳定移动，进一步保证打磨精度，从而实现了装置具备可主动除尘，打磨精度高等优点，解决了传统的打磨设备在打磨时无法将打磨的碎屑和粉尘技术排出，就会影响打磨设备的打磨精度的问题。
[0016]2、该芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，通过打磨电机和打磨辊的配合使用，使得打磨装置可以使打磨辊自旋转，其同时围绕传动杆公转，使得装置的打磨效果更好效率更高。
[0017]3、该芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，通过两个抽风机、两个集尘盒、两个连接管和两组吸风斗的配合使用，使得除尘装置可以跟随传动杆同步旋转，并且同时跟随打磨装置对其打磨的碎屑进行及时同步回收，使得装置的除尘效果更好，从而保证装置的打磨精度更好。
[0018]4、该芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，通过两个弧形夹紧件、螺纹杆和螺母的配合使用，可以使得定位套可以方便对瓶体进行固定，使用更加方便，固定效果更好。
[0019]5、该芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，通过支撑杆可以对传动杆进行支撑，使得装置运行更加稳定。
[0020]6、该芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，通过竖杆和螺杆以及定位板的配合使用，使得装置对瓶体的固定效果更好，使其打磨时更加稳定，保证打磨精度。
附图说明
[0021]图1为本技术结构正视剖面示意图；
[0022]图2为本技术打磨装置结构正视立体示意图；
[0023]图3为本技术定位套结构侧视剖面示意图。
[0024]图中：1、底座；2、驱动电机；3、竖杆；4、传动杆；5、定位杆；6、打磨装置；61、打磨电机；62、打磨辊；7、打磨盘；8、除尘装置；81、抽风机；82、集尘盒；83、连接管；84、吸风斗；9、滑动槽；10、圆杆；11、滑座；12、定位套；121、弧形夹紧件；122、螺纹杆；123、螺母；13、电动推杆；14、支撑杆；15、螺杆；16、定位板。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图1
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3，一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，包括底座1，底座 1的顶部固定连接有驱动电机2，驱动电机2的输出轴通过联轴器固定连接有传动杆4，传动杆4的外侧固定连接有定位杆5，定位杆5的内部设置有两个对称分布的打磨装置6，传动杆4的右端固定连接有打磨盘7，传动杆4的外侧设置有除尘装置8，底座1的顶部开设滑动槽9，滑动槽9的内部设置有圆杆10，滑动槽9的内部固定连接有滑座11，圆杆10的一端贯穿并滑动连接至滑座11的内侧，滑座11的顶部设置有两个对称分布的定位套12，底座1 的顶部固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴通过联轴器固定连接有传动杆(4)，所述传动杆(4)的外侧固定连接有定位杆(5)，所述定位杆(5)的内部设置有两个对称分布的打磨装置(6)，所述传动杆(4)的右端固定连接有打磨盘(7)，所述传动杆(4)的外侧设置有除尘装置(8)，所述底座(1)的顶部开设滑动槽(9)，所述滑动槽(9)的内部设置有圆杆(10)，所述滑动槽(9)的内部固定连接有滑座(11)，所述圆杆(10)的一端贯穿并滑动连接至滑座(11)的内侧，所述滑座(11)的顶部设置有两个对称分布的定位套(12)，所述底座(1)的顶部固定连接有电动推杆(13)，所述电动推杆(13)的左端固定连接至滑座(11)的右侧。2.根据权利要求1所述的一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，其特征在于：所述打磨装置(6)包括打磨电机(61)和打磨辊(62)，所述打磨电机(61)的输出轴通过联轴器固定连接至打磨辊(62)的左端，所述打磨辊(62)的右端贯穿并转动连接至定位杆(5)的右侧，所述打磨电机(61)的右侧固定连接至定位杆(5)的左侧。3.根据权利要求1所述的一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，其特征在于：所述除尘装置(8)包括两个抽风机(81)、两个集尘盒(82)、两个连接管(83)和两组吸风斗(84)，两个所述抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱聘富，
申请(专利权)人：南京久马科技有限公司，
类型：新型
国别省市：