一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机制造技术

本实用新型专利技术涉及粗研磨机技术领域，且公开了一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有传动杆，所述传动杆的外侧固定连接有定位杆，所述定位杆的内部设置有两个对称分布的打磨装置，所述传动杆的右端固定连接有打磨盘，所述传动杆的外侧设置有除尘装置。该实用新型专利技术，通过底座上的驱动电机带动传动杆转动，传动杆带动外侧的定位杆转动，定位杆带动打磨装置做以传动杆为轴心的圆周运动，从而使得两组打磨装置对瓶体的内壁进行精细研磨，打磨精度更高，效率更快，并且传动杆同时带动右端打磨盘转动，从而实现了装置具备可主动除尘，打磨精度高等优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机


[0001]本技术涉及粗研磨机
，具体为一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机。

技术介绍

[0002]电子级超纯气体(如氦、氮、氢)在半导体制造中用作清洗气、加压气、载气和保护气，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业，近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展。
[0003]电子超纯气体对灌装钢瓶的内部平整度要求非常高，这就需要研磨装置对灌装钢瓶的内壁进行打磨使其达到电子超纯气体的灌装要求，传统的打磨设备在打磨时无法将打磨的碎屑和粉尘技术排出，就会影响打磨设备的打磨精度，因此我们提出一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机用以解决以上问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，具备可主动除尘，打磨精度高等优点，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴通过联轴器固定连接有传动杆(4)，所述传动杆(4)的外侧固定连接有定位杆(5)，所述定位杆(5)的内部设置有两个对称分布的打磨装置(6)，所述传动杆(4)的右端固定连接有打磨盘(7)，所述传动杆(4)的外侧设置有除尘装置(8)，所述底座(1)的顶部开设滑动槽(9)，所述滑动槽(9)的内部设置有圆杆(10)，所述滑动槽(9)的内部固定连接有滑座(11)，所述圆杆(10)的一端贯穿并滑动连接至滑座(11)的内侧，所述滑座(11)的顶部设置有两个对称分布的定位套(12)，所述底座(1)的顶部固定连接有电动推杆(13)，所述电动推杆(13)的左端固定连接至滑座(11)的右侧。2.根据权利要求1所述的一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，其特征在于：所述打磨装置(6)包括打磨电机(61)和打磨辊(62)，所述打磨电机(61)的输出轴通过联轴器固定连接至打磨辊(62)的左端，所述打磨辊(62)的右端贯穿并转动连接至定位杆(5)的右侧，所述打磨电机(61)的右侧固定连接至定位杆(5)的左侧。3.根据权利要求1所述的一种芯片用超纯电子气瓶内粗研磨机，其特征在于：所述除尘装置(8)包括两个抽风机(81)、两个集尘盒(82)、两个连接管(83)和两组吸风斗(84)，两个所述抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱聘富，
申请(专利权)人：南京久马科技有限公司，
类型：新型
国别省市：