一种晶棒防坠落装置及单晶炉制造方法及图纸

本申请涉及单晶硅生产的领域，尤其是涉及一种晶棒防坠落装置及单晶炉，其包括至少两个安装机构和至少两个感应晶棒坠落且阻挡晶棒坠落的自锁机构，所述的自锁机构与安装机构相连接，所述的自锁机构包括感应晶棒坠落的感应组件和夹紧坠落晶棒的夹紧组件，所述的感应组件与夹紧组件活动连接。本申请具有感应组件感应晶棒坠落，夹紧组件对坠落的晶棒夹紧，夹紧组件对晶棒形成自锁，防止晶棒继续坠落，减少了晶棒坠落导致单晶炉损坏和造成人身事故的情况，也使晶棒能够保持完整，减少经济损失的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒防坠落装置及单晶炉


[0001]本申请涉及单晶硅生产的领域，尤其是涉及一种晶棒防坠落装置及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是半导体
生长单晶的常用设备，单晶炉的副室中的提拉头对形成的晶棒进行提拉，在工作过程中，由于副室的旋转或者的震动，导致籽晶或者钨丝绳断裂，使晶棒坠落，对单晶炉造成损坏。
[0003]针对上述中的相关技术，专利技术人认为在工作过程中，由于副室的旋转或者震动，导致籽晶或者钨丝绳断裂，使晶棒坠落，对单晶炉造成损坏，也可能会造成人身事故。

技术实现思路

[0004]为了改善在工作过程中，由于副室的旋转或者的震动，导致籽晶或者钨丝绳断裂，使晶棒坠落，对单晶炉造成损坏，可能造成人身事故的问题，本申请提供一种晶棒防坠落装置及单晶炉。
[0005]第一方面，本申请提供一种晶棒防坠落装置，采用如下的技术方案：一种晶棒防坠落装置，包括至少两个安装机构和至少两个感应晶棒坠落且阻挡晶棒坠落的自锁机构，所述的自锁机构与安装机构相连接，所述的自锁机构包括感应晶棒坠落的感应组件和夹紧坠落晶棒的夹紧组件，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒防坠落装置，其特征在于：包括至少两个安装机构（1）和至少两个感应晶棒（3）坠落且阻挡晶棒（3）坠落的自锁机构（2），所述的自锁机构（2）与安装机构（1）相连接，所述的自锁机构（2）包括感应晶棒（3）坠落的感应组件（21）和夹紧坠落晶棒的夹紧组件（22），所述的感应组件（21）与夹紧组件（22）活动连接。2.根据权利要求1所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的感应组件（21）包括位于晶棒（3）上方的传感器（211）和对夹紧组件（22）限位的电磁推杆（212），所述的传感器（211）与电磁推杆（212）电连接，所述的电磁推杆（212）位于夹紧组件（22）下方并与夹紧组件（22）活动连接。3.根据权利要求2所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的夹紧组件（22）包括翻板（221）和至少一个扭簧（222），所述的扭簧（222）的一端与安装机构（1）相连接，其另一端与翻板（221）相连接，翻板（221）靠近晶棒（3）的一端端面为弧形面，两个翻板（221）与夹紧的晶棒（3）形成过盈配合。4.根据权利要求3所述的一种晶棒防坠落装置，其特征在于：所述的安装机构（1）包括圆管（11），所述的圆管（11）的一端延伸至...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈辉，黄鸣，常晓鱼，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：