基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置制造方法及图纸

基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明专利技术不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置


[0001]本专利技术涉及光学设计、精密测量领域，具体为基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，使双侧干涉仪系统输出光不影响对被测非透明平面的测量。

技术介绍

[0002]光学干涉测量技术是以光波干涉为物理基础，以光波的波长为计量单位的一种测试方法，在光学加工测量方面发挥了重要作用。干涉测量的基本原理是通过参考光与测量光波前相干叠加，产生黑白相间的干涉图。由于干涉图中包含了参考光与测量光的相位，振幅等信息，因此可以用来检测被测光学元件的面形信息。其中，干涉仪作为光学干涉测量技术中重要的测量仪器，随着光学加工技术，计算机技术等的发展，进一步提升了干涉仪的测量精度和检测速度，对相关领域的发展有着重要意义。
[0003]目前，干涉仪可以针对不同面型、不同口径、不同种类的光学元件进行高精度检测。美国ZYGO公司采用斐索型相移干涉仪并配置相应的测量分析软件，用于对30mm
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100mm常规口径的平面做精密检测，对平面测量精度PV值优于λ/100，球面检测精度优于λ/140，是市场占有率极高的激光干本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，包括光源模块(1)、第一干涉仪主机(3A)和第二干涉仪主机(3B)，其特征在于，还包括相干性抑制单元(2)；所述的光源模块(1)输出光分为两路，其中一路经过相干性抑制单元(2)输入所述的第一干涉仪主机(3A)，另一路输入所述的第二干涉仪主机(3B)。2.根据权利要求1所述的基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，其特征在于，所述的相干性抑制单元(2)是光纤延长线(2A)，所述的光纤延长线(2A)的长度大于所述的光源模块(1)输出光的相干长度。3.根据权利要求1所述的基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，其特征在于，所述的相干性抑制单元(2)是相位调制器(2B)，所述的相位调制器在干涉条纹探测器光积分时间内，以波长的正整数倍改变光路的光程。4.根据权利要求1所述的基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏相宇，唐锋，王向朝，郭福东，冯鹏，陈梦来，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：