一种水平调节机构和加工设备制造技术

本发明专利技术公开了一种水平调节机构和加工设备，包括安装座、调节螺杆、锁紧件、调整球和连接座。所述调节螺杆一端与所述安装座螺纹连接，所述调节螺杆的另一端穿设在所述锁紧件中。所述调整球与所述调节螺杆的另一端连接，并卡限在所述锁紧件中。所述连接座与所述锁紧件螺纹连接。其中，所述连接座上设置有容纳槽，所述调整球至少部分伸入到所述容纳槽中，并与所述容纳槽壁面接触形成高副连接。本发明专利技术的水平调节机构通过所述调节螺杆和所述连接座共同调节水平，所述调节螺杆“粗调”，所述连接座通过设置在所述调整球上，在锁紧前实现“微调”，并且调整好后通过所述锁紧件锁紧，应用范围广，局限性小、精度高，刚性强、稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
一种水平调节机构和加工设备
本专利技术涉及设备调平
，尤其涉及一种水平调节机构和加工设备。
技术介绍
在各种加工中，加工设备的安装精度对加工产品的质量的影响很大。尤其是在高精密设备中，如半导体设备。半导体设备的精度、稳定性、技术参数等要求苛刻，属于高精密设备，因此，诸如半导体加工设备等高精密设备，其对水平度的要求非常高。高精密设备在使用前以及使用过程中，都需要维持较高的水平度，保证设备的加工精度、产品质量和稳定性。目前，传统的调平结构，局限性大、精度低。刚性差、稳定性低。本
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种水平调节机构和加工设备，局限性小、精度高，刚性强、稳定性高。本专利技术公开了一种水平调节机构，包括安装座、调节螺杆、锁紧件、调整球和连接座。所述调节螺杆一端与所述安装座螺纹连接，所述调节螺杆的另一端穿设在所述锁紧件中。所述调整球与所述调节螺杆的另一端连接，并卡限在所述锁紧件中。所述连接座与所述锁紧件螺纹连接。其中，所述连接座上设置有容纳槽，所述调整球至少部分伸入到所述容纳槽中，并与所述容纳槽壁面接触形成高副连接。可选的，所述锁紧件形成有容置腔，所述调整球卡限在所述锁紧件中；所述容置腔侧壁设置有内螺纹；所述连接座包括连接部，所述连接部上设置有外螺纹，所述容纳槽设置在所述连接部朝向所述调整球的一端；所述连接部伸入到所述容置腔中并螺纹连接。可选的，所述水平调节机构还包括第一紧固件；所述第一紧固件与所述连接座螺纹连接，且位于所述锁紧件上方。可选的，所述水平调节机构还包括第二紧固件；所述第二紧固件与所述调节螺杆靠近所述安装座的一端螺纹连接，且位于所述安装座上方。可选的，所述高副连接为线接触或点接触；其中，所述高副连接为点接触时，接触点为一个或两个。可选的，所述容纳槽为圆锥形，所述调整球与所述容纳槽的底壁线接触。可选的，所述调整球与所述容纳槽的底壁点接触，且接触点为一个。可选的，所述容纳槽为圆锥形，所述容纳槽的侧壁上设置有两条相对的凸起条，所述凸起条两端分别朝所述容纳槽的底面和顶点延伸；所述调整球分别与所述凸起条点接触，且接触点共有两个。本专利技术还公开了一种加工设备，包括如上所述的水平调节机构、安装在所述水平调节机构上的机体。可选的，所述水平调节机构为四个，且呈矩形排布；其中两个对角设置的所述水平调节机构的高副连接为两个接触点，两个接触点连成第一直线，两个所述水平调节机构的第一直线相互垂直；另外两个对角设置的所述水平调节机构中，其一所述水平调节机构的高副连接为一个接触点，另一所述水平调节机构的高副连接为线接触。本专利技术的水平调节机构通过所述调节螺杆和所述连接座共同调节水平，所述调节螺杆“粗调”，所述连接座通过设置在所述调整球上，在锁紧前实现“微调”，并且调整好后通过所述锁紧件锁紧，应用范围广，局限性小、精度高，刚性强、稳定性高。附图说明所包括的附图用来提供对本专利技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本专利技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本专利技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本专利技术实施例水平调节机构的示意图；图2是本专利技术实施例水平调节机构的另一示意图；图3是本专利技术实施例容置腔和调整球的示意图；图4是本专利技术实施例水平调节机构的剖面图；图5是本专利技术实施例连接座的示意图；图6是本专利技术实施例连接座的剖面图；图7是本专利技术实施例水平调节机构的另一剖面图；图8是本专利技术实施例连接座的另一示意图；图9是本专利技术实施例连接座的另一剖面图；图10是本专利技术实施例水平调节机构的另一剖面图；图11是本专利技术实施例连接座的另一示意图；图12是本专利技术实施例连接座的另一剖面图；图13是本专利技术实施例水平调节机构的另一剖面图；图14是本专利技术实施例加工设备的示意图；图15是本专利技术实施例四个水平调节机构的排布示意图；图16是本专利技术实施例四个水平调节机构的另一排布示意图；其中，10、加工设备；100、水平调节机构；110、安装座；120、调节螺杆；130、锁紧件；131、容置腔；131a、开孔；132、卡板；140、调整球；150、连接座；151、容纳槽；151a、凸起条；152、连接部；153、连接平板；160、第一紧固件；170、第二紧固件；200、机体；L、第一直线。具体实施方式需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本专利技术可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。下面参考附图和可选的实施例对本专利技术作详细说明。如图1至图7所示，作为本专利技术的一实施例，公开了一种水平调节机构100，包括安装座110、调节螺杆120、锁紧件130、调整球140和连接座150。所述调节螺杆120一端与所述安装座110螺纹连接，所述调节螺杆120的另一端穿设在所述锁紧件130中。所述调整球140与所述调节螺杆120的另一端连接，并卡限在所述锁紧件130中。所述连接座150与所述锁紧件130螺纹连接。其中，所述连接座150上设置有容纳槽151，所述调整球140至少部分伸入到所述容纳槽151中，并与所述容纳槽151壁面接触形成高副连接。需要说明的是，高副连接指的是通过所述调整球140和所述容纳槽151壁面形成点或线的接触。此时，所述调整球140和所述容纳槽151构成高副机构(HigherPair)。所述调整球140和所述容纳槽151即是高副机构中的两构件，并通过点或线的接触构成运动副。简而言之，所述调整球140与所述容纳槽151壁面为点接触或线接触。需要说明的是，如图4所示，所述调整球140卡限在所述锁紧件130中指的是所述调整球140处在所述锁紧件130中，且被卡位限制在所述锁紧件130中，当所述锁紧件130锁紧的时候，所述锁紧件130和所述容纳槽151压紧所述调整球140。本专利技术的水平调节机构100，可以通过在所述安装座110上旋动调节所述调节螺杆120的高度，实现水平高度的调节。同时，所述调整球140与所述容纳槽151壁面高副连接，在所述连接座150被锁紧之前，所述连接座150和所述锁紧件130可以相对所述调整球140和所述调节螺杆120晃动。由此，所述连接座150可以在所述调整球140上滑动，微调所述连接座150的水平角度。因为高副连接，所述连接座150可以任意调节水平角度。调整好高度和水平角度后，可以旋动所述锁紧件130，因为所述锁紧件130和所述连接座150螺纹连接，所述锁紧件130和所述连接座150共同抱紧所述调整球140，此时，所述连接座150即被锁定在所需高度和水平角度。本专利技术的水平调节机构100通过所述调节螺杆120和所述连接座150共本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水平调节机构，其特征在于，包括：/n安装座；/n调节螺杆，一端与所述安装座螺纹连接；/n锁紧件，所述调节螺杆的另一端穿设在所述锁紧件中；/n调整球，与所述调节螺杆的另一端连接，并卡限在所述锁紧件中；/n连接座，与所述锁紧件螺纹连接；/n其中，所述连接座上设置有容纳槽，所述调整球至少部分伸入到所述容纳槽中，并与所述容纳槽壁面接触形成高副连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种水平调节机构，其特征在于，包括：
安装座；
调节螺杆，一端与所述安装座螺纹连接；
锁紧件，所述调节螺杆的另一端穿设在所述锁紧件中；
调整球，与所述调节螺杆的另一端连接，并卡限在所述锁紧件中；
连接座，与所述锁紧件螺纹连接；
其中，所述连接座上设置有容纳槽，所述调整球至少部分伸入到所述容纳槽中，并与所述容纳槽壁面接触形成高副连接。


2.如权利要求1所述的水平调节机构，其特征在于，所述锁紧件形成有容置腔，所述调整球卡限在所述锁紧件中；所述容置腔侧壁设置有内螺纹；所述连接座包括连接部，所述连接部上设置有外螺纹，所述容纳槽设置在所述连接部朝向所述调整球的一端；所述连接部伸入到所述容置腔中并螺纹连接。


3.如权利要求1所述的水平调节机构，其特征在于，所述水平调节机构还包括第一紧固件；所述第一紧固件与所述连接座螺纹连接，且位于所述锁紧件上方。


4.如权利要求1所述的水平调节机构，其特征在于，所述水平调节机构还包括第二紧固件；所述第二紧固件与所述调节螺杆靠近所述安装座的一端螺纹连接，且位于所述安装座上方。


5.如权利要求1至4任意一项所述的水平调...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨群，周志伟，陈才伟，李秋霞，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44