一种单晶炉重锤检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种单晶炉重锤检测装置，包括单晶炉副室、重锤和单晶硅棒，单晶炉副室内的顶面作为重锤的最高上升位置；还包括光电传感器、控制器和报警单元，单晶炉副室的侧壁在靠近顶面的位置开设有观察窗，光电传感器设置于观察窗外侧，用于检测重锤或单晶硅棒是否出现在感应区域；控制器的采集输入端与光电传感器的信号输出端连接，控制器的响应输出端与报警单元连接。本实用新型专利技术由控制系统停止晶升动作并发出警报，避免单晶硅棒继续上升拉断钢丝绳引发恶性事故，因此该单晶炉重锤检测装置结构简单，安装方便，该装置的添加，可极大提高设备的安全可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉重锤检测装置
本技术涉及单晶硅生产的
，具体涉及一种单晶炉重锤检测装置。
技术介绍
单晶炉长时间使用晶升限位机械结构可能产生松动，由于其传动比例较大，一旦松动限位产生误差，极有可能会引发晶升过程中超限位位置上升距离较大，进而拉断钢丝绳，导致晶棒带重锤掉落毁坏，并砸坏坩埚热场，发生漏硅事故产生重大经济损失。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种单晶炉重锤检测装置，其技术方案如下：一种单晶炉重锤检测装置，包括单晶炉副室、重锤和单晶硅棒，单晶炉副室内的顶面作为重锤的最高上升位置；还包括光电传感器、控制器和报警单元，所述单晶炉副室的侧壁在靠近所述顶面的位置开设有观察窗，所述光电传感器设置于观察窗外侧，用于检测重锤或单晶硅棒是否出现在感应区域；所述控制器的采集输入端与光电传感器的信号输出端连接，控制器的响应输出端与报警单元连接。优选地，所述单晶炉副室的侧壁在观察窗处向外凸起形成上安装板和下安装板，所述观察窗的上端与上安装板固定连接，观察窗的下端与下安装板固定连接。优选地，所述观察窗与上安装板和下安装板分别通过螺钉连接。优选地，所述观察窗与上安装板和下安装板连接位置的内侧还设置有密封圈。优选地，所述上安装板或下安装板还在外侧连接有一固定板，所述光电传感器与所述固定板安装固定。优选地，所述观察窗为透明玻璃板。优选地，所述感应区域的中心位置距离所述顶面20cm-50cm。优选地，所述光电传感器在重锤上升出现在感应区域时通过所述信号输出端发出触发信号给所述控制器。优选地，所述报警单元为蜂鸣器或声光组合报警器。本技术优点和效果是：本技术中单晶硅棒在上升过程中超过限位继续上升，升到光电传感器感应区域，光电传感器会反馈信号到控制系统，由控制系统停止晶升动作并发出警报，避免单晶硅棒继续上升拉断钢丝绳引发恶性事故，另据警报可知晶升限位需重新调整。由此，该单晶炉重锤检测装置结构简单，安装方便，该装置的添加，可极大提高设备的安全可靠性。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是本技术单晶炉重锤检测装置示意图；图2是图1中部分部件放大图。其中，附图标记的含义为：1-旋转提拉头；2-钢丝绳；3-重锤；4-副室；5-单晶硅棒；6-密封圈；7-玻璃；8-光电传感器；9-螺钉；10-坩埚。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供的一种单晶炉重锤检测装置，当重锤上升到限位位置，检测装置会立即感应并反馈，触动报警及限位动作，避免重锤继续上升产生恶性事故，图1是本技术单晶炉重锤检测装置示意图；图2是图1中部分部件放大图，如图1、图2所示：一种单晶炉重锤检测装置，包括单晶炉副室4、重锤3和单晶硅棒5，单晶炉副室4内的顶面作为重锤3的最高上升位置；还包括光电传感器8、控制器和报警单元，单晶炉副室4的侧壁在靠近所述顶面的位置开设有观察窗，光电传感器8设置于观察窗外侧，用于检测重锤3或单晶硅棒5是否出现在感应区域；控制器的采集输入端与光电传感器8的信号输出端连接，控制器的响应输出端与报警单元连接，单晶炉副室4的侧壁在观察窗处向外凸起形成上安装板和下安装板，观察窗的上端与上安装板固定连接，观察窗的下端与下安装板固定连接。观察窗与上安装板和下安装板分别通过螺钉连接。观察窗与上安装板和下安装板连接位置的内侧还设置有密封圈6，上安装板或下安装板还在外侧连接有一固定板，光电传感器8与固定板安装固定，观察窗为透明玻璃板。感应区域的中心位置距离顶面20cm-50cm，光电传感器8在重锤3上升出现在感应区域时通过信号输出端发出触发信号给控制器，报警单元为蜂鸣器或声光组合报警器。其应用过程如下：如图1所示，在单晶炉副室4上端装有一套光电传感器8，若单晶炉长时间使用晶升限位机械结构产生松动，机械限位位置不准确，单晶硅棒5在上升过程中超过限位继续上升，升到光电传感器8感应区域，光电传感器8会反馈信号到控制系统，由控制系统停止晶升动作并发出警报，避免单晶硅棒5继续上升拉断钢丝绳2引发恶性事故，另据警报可知晶升限位需重新调整。单晶炉重锤检测装置结构简单，安装方便，该装置的添加，可极大提高设备的安全可靠性。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉重锤检测装置，包括单晶炉副室(4)、重锤(3)和单晶硅棒(5)，单晶炉副室(4)内的顶面作为重锤(3)的最高上升位置；其特征在于，还包括光电传感器(8)、控制器和报警单元，所述单晶炉副室(4)的侧壁在靠近所述顶面的位置开设有观察窗，所述光电传感器(8)设置于观察窗外侧，用于检测重锤(3)或单晶硅棒(5)是否出现在感应区域；所述控制器的采集输入端与光电传感器(8)的信号输出端连接，控制器的响应输出端与报警单元连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉重锤检测装置，包括单晶炉副室(4)、重锤(3)和单晶硅棒(5)，单晶炉副室(4)内的顶面作为重锤(3)的最高上升位置；其特征在于，还包括光电传感器(8)、控制器和报警单元，所述单晶炉副室(4)的侧壁在靠近所述顶面的位置开设有观察窗，所述光电传感器(8)设置于观察窗外侧，用于检测重锤(3)或单晶硅棒(5)是否出现在感应区域；所述控制器的采集输入端与光电传感器(8)的信号输出端连接，控制器的响应输出端与报警单元连接。


2.根据权利要求1所述的一种单晶炉重锤检测装置，其特征在于，所述单晶炉副室(4)的侧壁在观察窗处向外凸起形成上安装板和下安装板，所述观察窗的上端与上安装板固定连接，观察窗的下端与下安装板固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种单晶炉重锤检测装置，其特征在于，所述观察窗与上安装板和下安装板分别通过螺钉连接。


4.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，周龙，王倩，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61