【技术实现步骤摘要】
MicroLED显示面板及其制备方法
本申请涉及MicroLED显示
,具体涉及一种MicroLED显示面板和一种MicroLED显示面板制备方法。
技术介绍
目前micro-LED的巨量转移成本高且良率低,红绿蓝三种LED芯片分别转移的话,成本更高,所以现有技术通常采用蓝色Micro-LED加量子点薄膜的结构。目前的量子点薄膜都是一层较厚的附加薄膜,所以MicroLED显示面板的厚度相应的增加了很多。对于柔性显示不利,且成本贵。因此,现有MicroLED显示面板存在设置量子点薄膜增大了厚度的技术问题。
技术实现思路
本申请实施例提供一种MicroLED显示面板和一种MicroLED显示面板制备方法,可以缓解现有MicroLED显示面板存在设置量子点薄膜增大了厚度的技术问题。本申请实施例提供一种MicroLED显示面板,包括:衬底;位于所述衬底上方且背向所述衬底层叠设置的缓冲层、有源层、第一栅绝缘层;设置在所述第一栅绝缘层上的栅极、阳极、阴极; ...
【技术保护点】
1.一种Micro LED显示面板,其特征在于,包括:/n衬底;/n位于所述衬底上方且背向所述衬底层叠设置的缓冲层、有源层、第一栅绝缘层;/n设置在所述第一栅绝缘层上的栅极、阳极、阴极;/n设置在第一栅绝缘层上方的第二栅绝缘层、层间绝缘层、平坦层,所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层、所述平坦层贯穿设置有第一过孔;/n其中,所述阳极和所述阴极下沉到与栅极同层且相互绝缘设置,所述第一过孔的底部延伸至所述阳极和所述阴极所在层,所述阳极和所述阴极部分外露在所述第一过孔内。/n
【技术特征摘要】
1.一种MicroLED显示面板,其特征在于,包括:
衬底;
位于所述衬底上方且背向所述衬底层叠设置的缓冲层、有源层、第一栅绝缘层;
设置在所述第一栅绝缘层上的栅极、阳极、阴极;
设置在第一栅绝缘层上方的第二栅绝缘层、层间绝缘层、平坦层,所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层、所述平坦层贯穿设置有第一过孔;
其中,所述阳极和所述阴极下沉到与栅极同层且相互绝缘设置,所述第一过孔的底部延伸至所述阳极和所述阴极所在层,所述阳极和所述阴极部分外露在所述第一过孔内。
2.如权利要求1所述的MicroLED显示面板,其特征在于,在所述第一过孔内,所述阳极、所述阴极的部分表面以及所述第一过孔的内侧壁设置有反射层。
3.如权利要求1所述的MicroLED显示面板,其特征在于,所述第一过孔内还设置有LED芯片和量子点色转换层,所述LED芯片分别与所述阳极、所述阴极连接,所述量子点色转换层设置在所述LED芯片背向所述衬底的一侧,且所述量子点色转换层的厚度小于或等于所述第一过孔的高度。
4.一种MicroLED显示面板制备方法,其特征在于,包括:
提供一阵列基板,所述阵列基板包括衬底、设置在所述衬底上的缓冲层、设置在所述缓冲层上的有源层、设置在所述有源层上的第一栅绝缘层;
在所述第一栅绝缘层上形成一金属膜层,将所述金属膜层制备得到同层且绝缘设置的栅极、阳极、阴极;
在所述第一栅绝缘层上制备得到第二栅绝缘层、层间绝缘层;
在所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层内形成第一过孔、第二过孔、第三过孔,所述第一过孔使所述阳极和所述阴极部分外露;
在所述第二栅绝缘层上制备...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘杰,
申请(专利权)人:武汉华星光电半导体显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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