一种集成电路用基片涂层烘干箱制造技术

本实用新型专利技术涉及集成电路基片生产技术领域，且公开了一种集成电路用基片涂层烘干箱，包括箱体，所述箱体的内部左壁开设有插槽，所述插槽的前端底部开设有卡槽，所述箱体的内部顶壁中部固定安装有温度传感器，所述箱体的内部右壁下端开设有进风口。该集成电路用基片涂层烘干箱，通过启动循环通道内壁的加热板对循环通道内部进行加热，开启风扇将循环通道内部的热量输送到箱体的内部对基板涂层进行烘干，箱体内部热量由于风扇的吹动，使内部气流从进风口进入到循环通道进行加热，持续循环，由于箱体的内部气流一直快速循环流动，使对基片涂层的烘干效率加快，同时也防止了箱体内部热量分布不均的情况出现。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路用基片涂层烘干箱
本技术涉及集成电路基片生产
，具体为一种集成电路用基片涂层烘干箱。
技术介绍
集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步，当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路，而集成电路生产过程中，需要对基片进行涂层处理，便于对基片进行保护，同时也便于保持基片的平整度。现有基片涂层烘干箱，大多都是将基片直接放置到烘干箱内的烘干架上，这种烘干方式，其热量分布不均匀，而且烘干效率过慢，同时没有对基片的固定装置，容易使烘干箱在外力的作用下导致内部的基片掉落而影响烘干。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种集成电路用基片涂层烘干箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种集成电路用基片涂层烘干箱，包括箱体，所述箱体的内部左壁开设有插槽，所述插槽的前端底部开设有卡槽，所述箱体的内部顶壁中部固定安装有温度传感器，所述箱体的内部右壁下端开设有进风口，所述箱体的右壁内部开设有循环通道，所述循环通道的内部左壁固定安装有加热板，所述箱体的上表面右侧固定连接有固定块，所述固定块的内部开设有通风凹槽，所述箱体的上表面右侧开设有通风口，所述通风口的内部固定安装有风扇，所述通风口的底口处固定安装有金属网板，所述插槽的内部插接有光杆，所述光杆的正面左端固定连接有连接板，所述连接板的右侧固定的安装有轴承，所述轴承的右侧转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的右端固定安装有转扭，所述光杆的杆体滑动连接有第一固定夹板，所述第一个夹板的右侧中部开设有顺内螺纹孔，所述顺内螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹杆，所述光杆的杆体滑动连接有第二固定夹板，所述第二固定夹板的左侧开设有逆内螺旋纹，所述逆内螺旋纹的内部螺纹连接有螺纹杆。进一步的，所述光杆的数量为2，两个光杆之间固定连接有连接板，所述连接板的数量为2，分别固定连接在光杆的正面左端和正面右端。进一步的，所述第一固定夹板的后端左侧开设有第一滑孔，所述第一滑孔的内部滑动连接有光杆，所述第二固定夹板的后端左侧开设有第二滑孔，所述第二滑孔的内部滑动连接有光杆，滑孔的开设使第一固定夹板和第二固定夹板可以在光杆上进行左右移动。进一步的，所述插槽的数量为3，分别等距离开设在箱体的内部左壁上端、中部和下端，且在箱体的内部右壁开设有等数量的插槽，插槽的存在可以使光杆插接到箱体的内部，方便将光杆放进箱体和从箱体中取出来。进一步的，所述箱体的正面左侧固定安装有铰链，铰链的另一端固定安装有箱门，所述箱门的正面设置有观察窗，所述箱体的正面右侧固定安装有显示屏，观察窗的设置方便工作人员观察内部的烘干情况。进一步的，所述加热板的数量为2，分别固定安装在循环通道的内部左壁上端和内部左壁下端，两个加热板可以对循环通道的内部进行快速升温。与现有技术相比，本技术提供了一种集成电路用基片涂层烘干箱。具备以下有益效果：1.该一种集成电路用基片涂层烘干箱，通过将涂好涂层的基片放置到第一固定夹板和第二固定夹板之间，转动转扭使螺纹杆进行转动，此时在螺纹杆的转动下第一固定夹板和第二固定夹板同时光杆的中部进行移动，从而对基片进行夹紧，此过程操作简单，防止烘干箱由外力的作用下摇晃导致内部的基片掉落的情况发生。2.该一种集成电路用基片涂层烘干箱，通过启动循环通道内壁的加热板对循环通道内部进行加热，开启风扇将循环通道内部的热量输送到箱体的内部对基板涂层进行烘干，箱体内部热量由于风扇的吹动，使内部气流从进风口进入到循环通道进行加热，持续循环，由于箱体的内部气流一直快速循环流动，使对基片涂层的烘干效率加快，同时也防止了箱体内部热量分布不均的情况出现。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术剖面结构示意图；图2为本技术固定夹板俯视剖面结构示意图；图3为本技术箱体内部左壁结构示意图；图4为本技术正面结构示意图；图中：1、箱体；2、温度传感器；3、插槽；4、光杆；5、连接板；6、第一固定夹板；7、螺纹杆；8、通风口；9、风扇；10、固定块；11、通风凹槽；12、金属网板；13、加热板；14、循环通道；15、进风口；16、轴承；17、第一滑孔；18、第二固定夹板；19、第二滑孔；20、转扭；21、卡槽；22、顺内螺纹孔；23、逆内螺纹孔；24、箱门；25、显示屏。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供技术方案：一种集成电路用基片涂层烘干箱，包括箱体1，箱体1的内部左壁开设有插槽3，插槽3的前端底部开设有卡槽21，箱体1的内部顶壁中部固定安装有温度传感器2，箱体1的内部右壁下端开设有进风口15，箱体1的右壁内部开设有循环通道14，循环通道14的内部左壁固定安装有加热板13，箱体1的上表面右侧固定连接有固定块10，固定块10的内部开设有通风凹槽11，箱体1的上表面右侧开设有通风口8，通风口8的内部固定安装有风扇9，通风口8的底口处固定安装有金属网板12，插槽3的内部插接有光杆4，光杆4的正面左端固定连接有连接板5，连接板5的右侧固定的安装有轴承16，轴承16的右侧转动连接有螺纹杆7，螺纹杆7的右端固定安装有转扭20，光杆4的杆体滑动连接有第一固定夹板6，第一个夹板6的右侧中部开设有顺内螺纹孔22，顺内螺纹孔22的内部螺纹连接有螺纹杆7，光杆4的杆体滑动连接有第二固定夹板18，第二固定夹板18的左侧开设有逆内螺旋纹23，逆内螺旋纹23的内部螺纹连接有螺纹杆7。光杆4的数量为2，两个光杆之间固定连接有连接板5，连接板5的数量为2，分别固定连接在光杆4的正面左端和正面右端。第一固定夹板6的后端左侧开设有第一滑孔17，第一滑孔17的内部滑动连接有光杆4，第二固定夹板18的后端左侧开设有第二滑孔19，第二滑孔19的内部滑动连接有光杆4，滑孔的开设使第一固定夹板6和第二固定夹板18可以在光杆4上进行左右移动。插槽3的数量为3，分别等距离开设在箱体1的内部左壁上端、中部和下端，且在箱体1的内部右壁开设有等数量的插槽，插槽3的存在可以使光杆4插接到箱体1的内部，方便将光杆4放进箱体1和从箱体1中取出来。箱体1的正面左侧固定安装有铰链，铰链的另一端固定安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路用基片涂层烘干箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部左壁开设有插槽(3)，所述插槽(3)的前端底部开设有卡槽(21)，所述箱体(1)的内部顶壁中部固定安装有温度传感器(2)，所述箱体(1)的内部右壁下端开设有进风口(15)，所述箱体(1)的右壁内部开设有循环通道(14)，所述循环通道(14)的内部左壁固定安装有加热板(13)，所述箱体(1)的上表面右侧固定连接有固定块(10)，所述固定块(10)的内部开设有通风凹槽(11)，所述箱体(1)的上表面右侧开设有通风口(8)，所述通风口(8)的内部固定安装有风扇(9)，所述通风口(8)的底口处固定安装有金属网板(12)，所述插槽(3)的内部插接有光杆(4)，所述光杆(4)的正面左端固定连接有连接板(5)，所述连接板(5)的右侧固定的安装有轴承(16)，所述轴承(16)的右侧转动连接有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)的右端固定安装有转扭(20)，所述光杆(4)的杆体滑动连接有第一固定夹板(6)，所述第一固定夹板(6)的右侧中部开设有顺内螺纹孔(22)，所述顺内螺纹孔(22)的内部螺纹连接有螺纹杆(7)，所述光杆(4)的杆体滑动连接有第二固定夹板(18)，所述第二固定夹板(18)的左侧开设有逆内螺旋纹(23)，所述逆内螺旋纹(23)的内部螺纹连接有螺纹杆(7)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种集成电路用基片涂层烘干箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部左壁开设有插槽(3)，所述插槽(3)的前端底部开设有卡槽(21)，所述箱体(1)的内部顶壁中部固定安装有温度传感器(2)，所述箱体(1)的内部右壁下端开设有进风口(15)，所述箱体(1)的右壁内部开设有循环通道(14)，所述循环通道(14)的内部左壁固定安装有加热板(13)，所述箱体(1)的上表面右侧固定连接有固定块(10)，所述固定块(10)的内部开设有通风凹槽(11)，所述箱体(1)的上表面右侧开设有通风口(8)，所述通风口(8)的内部固定安装有风扇(9)，所述通风口(8)的底口处固定安装有金属网板(12)，所述插槽(3)的内部插接有光杆(4)，所述光杆(4)的正面左端固定连接有连接板(5)，所述连接板(5)的右侧固定的安装有轴承(16)，所述轴承(16)的右侧转动连接有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)的右端固定安装有转扭(20)，所述光杆(4)的杆体滑动连接有第一固定夹板(6)，所述第一固定夹板(6)的右侧中部开设有顺内螺纹孔(22)，所述顺内螺纹孔(22)的内部螺纹连接有螺纹杆(7)，所述光杆(4)的杆体滑动连接有第二固定夹板(18)，所述第二固定夹板(18)的左侧开设有逆内螺旋纹(23)，所述逆内螺旋纹(23)的内部螺纹连接有螺纹杆(7)。

【专利技术属性】
技术研发人员：侯庆河，肖传兴，
申请(专利权)人：江苏盐芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32