一种激光测试装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种激光测试装置及其方法，所述装置包括：第一分光元件、第一声光调制器以及第二声光调制器；第一分光元件用于将激光器发出的激光分为第一激光和第二激光；第一激光位于第一激光光路上，第二激光位于第二激光光路上；第一声光调制器设置在第一激光光路上，用于对第一激光进行强度调制；第二声光调制器设置在第二激光光路上，用于对第二激光进行频率偏移。本发明专利技术通过振动测试模块对其中一路光束进行光强度调制，并比较调制信号和解调信号之间的相位差，获得激光传输时间，从而提高测距精度。本发明专利技术还通过同一激光器进行分束后测试，减小了对准误差，提高了测试的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种激光测试装置及其方法
本专利技术涉及激光探测
，具体涉及一种激光测试装置及其方法。
技术介绍
模态分析通过测试结构固有本征频率获得结构动力学特性，从而实现辅助结构设计、无损检测以及故障分析等，广泛应用于航天、飞机、汽车、MEMS器件、工业生产线和科学研究等领域。非接触式振动测试主要采用激光外差多普勒测振技术，其特点是：非接触、高精度和高信噪比；此外，模态分析还需要获取物体的表面形貌，一般采用激光测距仪结合扫描振镜角度位置获取。传统上，激光测距仪和激光测振仪为两套独立设备，这增加了整个系统的体积和复杂性，同时两设备采用不同的激光，存在对准误差，影响测试的准确性。
技术实现思路
为了克服已有得技术问题，解决模态分析中振动测试模块和距离测试模块的集成化和激光束对准问题，本专利技术提供了一种激光测试装置及其方法。为实现上述目的，本专利技术采用以下具体技术方案：本专利技术第一方面提供了一种激光测试装置，包括：第一分光元件、第一声光调制器以及第二声光调制器；第一分光元件用于将激光器发出的激光分为第一激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光测试装置，其特征在于，包括：第一分光元件、第一声光调制器以及第二声光调制器；/n所述第一分光元件用于将激光器发出的激光分为第一激光和第二激光；所述第一激光位于第一激光光路上，所述第二激光位于第二激光光路上；/n所述第一声光调制器设置在所述第一激光光路上，用于对所述第一激光进行强度调制；/n所述第二声光调制器设置在所述第二激光光路上，用于对所述第二激光进行频率偏移。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光测试装置，其特征在于，包括：第一分光元件、第一声光调制器以及第二声光调制器；
所述第一分光元件用于将激光器发出的激光分为第一激光和第二激光；所述第一激光位于第一激光光路上，所述第二激光位于第二激光光路上；
所述第一声光调制器设置在所述第一激光光路上，用于对所述第一激光进行强度调制；
所述第二声光调制器设置在所述第二激光光路上，用于对所述第二激光进行频率偏移。


2.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，还包括：第二分光元件和激光合束器；
所述第二分光元件设置在所述第一激光光路上，用于将强度调制后的所述第一激光分为两路：
一路为第一激光透射光路，所述第一激光透射光路透射至被测物体表面，在被测物体表面发生漫反射，漫反射光沿所述第一激光透射光路原路返回至所述第二分光元件，并经所述第二分光元件折射至所述激光合束器位置；
另一路为第一激光折射光路，所述第一激光折射光路直接经所述第二分光元件折射至所述激光合束器位置；
所述激光合束器设置在所述第二激光光路上；经所述第二分光元件的所述漫反射光的折射光路、经所述第二分光元件的所述第一激光折射光路以及频率调制后的所述第二激光，上述三路激光经所述激光合束器进行光路的合束，得到合束后的光信号。


3.如权利要求2所述的激光测试装置，其特征在于，还包括：光电探测器；所述光电探测器设置在所述激光合束器合束之后的光路上；所述光电探测器用于接收所述合束后的光信号，并将接收的所述合束后的光信号转化为电信号。


4.如权利要求3所述的激光测试装置，其特征在于，还包括：强度解调模块以及频率解调模块；
所述强度解调模块的输入端连接所述光电探测器的输出端，所述强度解调模块用于输出距离信号；
所述频率解调模块的输入端连接所述光电探测器的输出端，所述频率解调模块用于输出振动信号；
将解调后的所述距离信号以及所述振...

【专利技术属性】
技术研发人员：舒风风，刘永顺，迟明波，王越，吴一辉，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22