一种过滤器阀箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种安装在半导体工艺设备前端的过滤器阀箱,包含箱体和箱体内的快拆过滤器、集成阀组、入口管道、出口管道、回流管道和传感器，集成阀组包含第一接口、第二接口、第三接口、第四接口和第一开关、第二开关；集成阀组位于快拆过滤器下方，第一接口与入口管道连接，第二接口与回流管道连接，第三接口与传感器连接，第四接口与快拆过滤器下端连接，出口管道与快拆过滤器上端连接；第一接口与第二接口之间形成第一通道，第一开关设于所述第一通道内，第三接口与所述第四接口之间形成第二通道，第二开关设于第二通道内。本实用新型专利技术箱体尺寸小巧，美观大方，内部空间布局合理，组装效率高，过滤器维修和更换简便，更适应于工业生产使用。

【技术实现步骤摘要】
一种过滤器阀箱
本技术涉及一种过滤器阀箱，尤其是一种安装在半导体工艺设备前端的过滤器阀箱。
技术介绍
过滤器阀箱一般安装在半导体工艺设备前端，作为最终过滤液体的作用。目前的过滤器阀箱通常是由多个两通阀、大尺寸过滤器、压力传感器组成，组成后的箱体尺寸较大，箱体成本较高，且组装效率低，过滤器维修及更换受到很大的限制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种箱体尺寸小巧，空间布局合理，组装效率高，过滤器维修和更换简便的过滤器阀箱。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种过滤器阀箱，包含箱体和设置在所述箱体内的快拆过滤器、集成阀组、入口管道、出口管道、回流管道和传感器，所述集成阀组包含多个接口和多个开关；所述集成阀组位于所述快拆过滤器下方，所述快拆过滤器上端与所述出口管道连接，所述快拆过滤器下端、所述入口管道、所述回流管道和所述传感器分别与所述集成阀组的对应接口连接。进一步，在本技术中，所述集成阀组包含第一接口、第二接口、第三接口、第四接口和第一开关、第二开关。进一步，在本技术中，所述第一接口与所述入口管道以螺纹方式连接，所述第二接口与所述回流管道以螺纹方式连接，所述第三接口与所述传感器以螺纹方式连接，所述第四接口与所述快拆过滤器下端以螺纹方式连接，所述出口管道与所述快拆过滤器上端以螺纹方式连接。进一步，在本技术中，所述第一接口与所述第二接口之间形成第一通道，所述第一开关设于所述第一通道内；所述第三接口与所述第四接口之间形成第二通道，所述第二开关设于所述第二通道内。进一步，在本技术中，所述箱体底部设置有分别与所述入口管道、所述出口管道和所述回流管道对应的圆形管道通孔，所述入口管道、所述出口管道和所述回流管道从所述管道通孔中伸出。进一步，在本技术中，所述入口管道、所述出口管道和所述回流管道分别与所述对应的圆形管道通孔以螺纹方式连接。进一步，在本技术中，所述箱体底部左右两侧设置有L型托架，所述L型托架上设置有固定通孔。本技术箱体尺寸小巧，美观大方，内部空间布局合理，组装效率高，过滤器维修和更换简便，更适应于工业生产使用。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明：图1为本技术的正面示意图；图2为本技术的结构示意图；图3为集成阀组部分的结构示意图；图4为集成阀组部分的正面示意图。其中：1-箱体，2-快拆过滤器，3-集成阀组，4-入口管道，5-出口管道，6-回流管道，7-传感器，8-管道通孔，9-L型托架，10-固定通孔，11-第一接口，12-第二接口，13-第三接口，14-第四接口，15-第一开关，16-第二开关。具体实施方式对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且包括在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够实现本技术的其他具体形式。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。如图1～4所示，一种过滤器阀箱，包含箱体1和设置在箱体1内的快拆过滤器2、集成阀组3、入口管道4、出口管道5、回流管道6和传感器7，集成阀组3包含多个接口和多个开关；集成阀组3位于快拆过滤器2下方，快拆过滤器2上端与出口管道5连接，快拆过滤器2下端、入口管道4、回流管道6和传感器7分别与集成阀组3的对应接口连接。在本实施例中，集成阀组3包含第一接口11、第二接口12、第三接口13、第四接口14和第一开关15、第二开关16。在本实施例中，第一接口11与入口管道4以螺纹方式连接，第二接口12与回流管道6以螺纹方式连接，第三接口13与传感器7以螺纹方式连接，第四接口14与快拆过滤器2下端以螺纹方式连接，出口管道5与快拆过滤器2上端以螺纹方式连接。在本实施例中，第一接口11与第二接口12之间形成第一通道，第一开关15设于第一通道内；第三接口13与第四接口14之间形成第二通道，第二开关16设于第二通道内。在本实施例中，箱体1底部设置有分别与入口管道4、出口管道5和回流管道6对应的圆形管道通孔8，入口管道4、出口管道5和回流管道6从管道通孔8中伸出。在本实施例中，入口管道4、出口管道5和回流管道6分别与对应的圆形管道通孔8以螺纹方式连接。在本实施例中，箱体1底部左右两侧设置有L型托架9，L型托架9上设置有固定通孔10。应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤器阀箱，其特征在于：包含箱体(1)和设置在所述箱体(1)内的快拆过滤器(2)、集成阀组(3)、入口管道(4)、出口管道(5)、回流管道(6)和传感器(7)，所述集成阀组(3)包含多个接口和多个开关；所述集成阀组(3)位于所述快拆过滤器(2)下方，所述快拆过滤器(2)上端与所述出口管道(5)连接，所述快拆过滤器(2)下端、所述入口管道(4)、所述回流管道(6)和所述传感器(7)分别与所述集成阀组(3)的对应接口连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种过滤器阀箱，其特征在于：包含箱体(1)和设置在所述箱体(1)内的快拆过滤器(2)、集成阀组(3)、入口管道(4)、出口管道(5)、回流管道(6)和传感器(7)，所述集成阀组(3)包含多个接口和多个开关；所述集成阀组(3)位于所述快拆过滤器(2)下方，所述快拆过滤器(2)上端与所述出口管道(5)连接，所述快拆过滤器(2)下端、所述入口管道(4)、所述回流管道(6)和所述传感器(7)分别与所述集成阀组(3)的对应接口连接。


2.根据权利要求1所述的一种过滤器阀箱，其特征在于：所述集成阀组(3)包含第一接口(11)、第二接口(12)、第三接口(13)、第四接口(14)和第一开关(15)、第二开关(16)。


3.根据权利要求2所述的一种过滤器阀箱，其特征在于：所述第一接口(11)与所述入口管道(4)以螺纹方式连接，所述第二接口(12)与所述回流管道(6)以螺纹方式连接，所述第三接口(13)与所述传感器(7)以螺纹方式连接，所述第四接口(14)与所述快拆过滤器(2)下端以螺纹方式连接，所述出口管道(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张爱民，
申请(专利权)人：上海天隽机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31