元件的制造方法技术

本发明专利技术的课题是提供一种不派生蚀刻所造成的短路且抑制光电转换层的劣化而制造元件的方法。本发明专利技术的解决方案是一种元件的制造方法，元件材料具有形成于基板上的电极且所述电极包含分离的第一电极及第二电极，以及形成于包含第一电极及第二电极的区域的光电转换层，所述元件的制造方法包含对所述元件材料的下述工序：于所述光电转换层上对应于第一电极及第二电极的位置分别形成第一背面电极及第二背面电极的工序，其中第一背面电极及第二背面电极未连接；使用第一背面电极及第二背面电极作为掩模进行蚀刻的工序；及形成用以连接第一背面电极及第二背面电极的连接电极的连接电极形成工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】元件的制造方法
本专利技术涉及一种制造太阳能电池或有机EL等的元件的方法。
技术介绍
日本特开2018-163938号公报记载有太阳能电池。例如为了获得具有高电压的太阳能电池模块，期望于相同基板内串联连接电池，而成为具有集成型构造的太阳能电池模块。然后，为了获得具有集成型构造的模块而分离发电层的情况，是设想为会使用掩模进行蚀刻并去除钙钛矿层及空穴传输层的一部分。但是若进行这种蚀刻，则会导致被掩模的部分也被去除，而成为产生短路的原因。特别是在通过使用四氟化碳气体或氧气所形成的等离子体的干式蚀刻分离发电层的情况，会产生往掩模下的绕回，而有在被掩模的部分产生损伤的问题。而且，制造太阳能电池时会有光电转换层劣化的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2018－163938号公报
技术实现思路
专利技术所欲解决的课题本说明书所记载的一专利技术，目的在于提供一种不派生蚀刻所造成的短路而制造元件的方法。本说明书所记载的一专利技术，目的在于提供一种抑制光电转换层的劣化而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种元件的制造方法，其特征在于，元件材料具有形成于基板上的电极且所述电极包含分离的第一电极及第二电极，以及形成于包含第一电极及第二电极的区域的光电转换层，/n所述元件的制造方法包含对所述元件材料的下述工序：/n于所述光电转换层上对应于第一电极及第二电极的位置分别形成第一背面电极及第二背面电极的工序，其中第一背面电极及第二背面电极未连接；/n使用第一背面电极及第二背面电极作为掩模进行蚀刻的工序；及/n形成用以连接第一背面电极及第二背面电极的连接电极的连接电极形成工序。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20191212 JP 2019-2247711.一种元件的制造方法，其特征在于，元件材料具有形成于基板上的电极且所述电极包含分离的第一电极及第二电极，以及形成于包含第一电极及第二电极的区域的光电转换层，
所述元件的制造方法包含对所述元件材料的下述工序：
于所述光电转换层上对应于第一电极及第二电极的位置分别形成第一背面电极及第二背面电极的工序，其中第一背面电极及第二背面电极未连接；
使用第一背面电极及第二背面电极作为掩模进行蚀刻的工序；及
形成用以连接第一背面电极及第二背面电极的连接电极的连接电极形成工序。


2.根据权利要求1所述的元件的制造方法，其特征在于，
所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：高滨豪，薮本利彦，
申请(专利权)人：株式会社安能科多科技，
类型：发明
国别省市：日本;JP