带拒水拒油层的基材及其制造方法技术

提供一种耐磨耗性的长期可靠性提高的带拒水拒油层的基材及其制造方法。一种带拒水拒油层的基材，其特征在于，其依次具有基材、形成在上述基材的表面的基底层、以及形成在上述基底层的表面的拒水拒油层，所述带拒水拒油层的基材的由深度方向分布图求出的缺碱指数大于0.0，所述深度方向分布图是通过从上述拒水拒油层的表面侧使用了C

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带拒水拒油层的基材及其制造方法
本专利技术涉及带拒水拒油层的基材及其制造方法。
技术介绍
为了对基材的表面赋予拒水拒油性、指纹污迹去除性、润滑性(用手指碰触时的顺滑度)等，已知的是：通过使用具有聚(氧全氟亚烷基)链和反应性甲硅烷基的含氟化合物进行表面处理，从而在基材的表面形成由含氟化合物的缩合物形成的拒水拒油层。另外，由于对拒水拒油层要求耐磨耗性，因此，为了改善基材与拒水拒油层之间的粘接性而在它们之间设置基底层。例如，通过蒸镀而在基材与拒水拒油层之间设置硅氧化物层(专利文献1、2)；在基材与拒水拒油层之间设置由Si(NCO)4等的(水解)缩合物形成的基底层(专利文献3)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-218639号公报专利文献2：日本特开2012-72272号公报专利文献3：国际公开第2014/126064号
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1～3记载的硅氧化物层、基底层中，基材与拒水拒油层之间的粘接性有时不充分。对拒水拒油层要求耐磨耗性的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带拒水拒油层的基材，其特征在于，其依次具有基材、形成在所述基材的表面的基底层、以及形成在所述基底层的表面的拒水拒油层，/n所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，/n所述基底层包含含有硅的氧化物，且实质上不含碱金属和铝，/n所述基材由包含碱金属和铝的石英玻璃形成，/n根据测定间距为2.0nm以下的深度方向分布图确定下述(a)、(b)、(c)时，在下述(c)中求出的缺碱指数大于0.0，其中，所述深度方向分布图是通过从所述拒水拒油层的表面侧使用了C

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181226 JP 2018-2427301.一种带拒水拒油层的基材，其特征在于，其依次具有基材、形成在所述基材的表面的基底层、以及形成在所述基底层的表面的拒水拒油层，
所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成，
所述基底层包含含有硅的氧化物，且实质上不含碱金属和铝，
所述基材由包含碱金属和铝的石英玻璃形成，
根据测定间距为2.0nm以下的深度方向分布图确定下述(a)、(b)、(c)时，在下述(c)中求出的缺碱指数大于0.0，其中，所述深度方向分布图是通过从所述拒水拒油层的表面侧使用了C60离子溅射的X射线光电子能谱法(XPS)而制作的，且将氟、硅、铝、碱金属元素和氧的合计浓度设为100at％，
其中，深度方向分布图的横轴的深度设为使用膜厚已知的硅晶圆上热氧化膜(SiO2膜)的。溅射速率而算出的换算深度，
(a)在通过XPS而制作的将氟、硅、铝、碱金属元素和氧的合计浓度设为100at％的深度方向分布图中，将氟浓度成为10at％以下的第一个点作为所述拒水拒油层与所述基底层的边界；
(b)由通过XPS而制作的将氟、硅、铝、碱金属元素和氧的合计浓度设为100at％的深度方向分布图求出铝相对于硅的比例(Al/Si)和碱金属元素的合计相对于硅的比例(碱金属元素/Si)，将深度为70.0nm以上且80.0nm以下的区域中的(Al/Si)的数值和(碱金属元素/Si)的数值的平均值分别设为1，对深度方向的各部位的(Al/Si)和(碱金属元素/Si)分别进行归一化，将(Al/Si)的经归一化的数值成为0.50以上的第一个点作为基底层与基材的边界；
(c)将在(b)中求出的基底层与基材的边界作为起点，将自该起点起至深度方向上20nm为止的区域设为区域X，针对该区域X，求出由下述式定义的缺碱指数，
缺碱指数＝〔区域X中的经归一化的Al/Si的平均值-区域X中的经归一化的碱金属元素/Si的平均值〕×20。


2.根据权利要求1所述的带拒水拒油层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林大介，岩桥万江美，井上爱知，德永能仁，石关健二，富依勇佑，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP