一种等离子清洗机的隔离腔室结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种等离子清洗机的隔离腔室结构，属于等离子清洗技术领域；设置在等离子清洗机箱体内，箱体正面设有开口，开口外设有箱门；其包括隔离板以及安装座，安装座设置在箱体内，隔离板与安装座可拆连接，箱门内侧设有箱门绝缘板，箱体内部正对箱门的一侧上设有箱体绝缘板，隔离板、箱门绝缘板以及箱体绝缘板之间形成了隔离腔室，箱体内设有多个隔离腔室，相邻的隔离板共用一个安装座；本实用新型专利技术提供了一种等离子清洗机的隔离腔室结构，结构简单，使用方便，适应性好，能量流失小，能够降低安装、维护的工作量，使用成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子清洗机的隔离腔室结构
本技术涉及一种等离子清洗机的隔离腔室结构，属于等离子清洗

技术介绍
等离子清洗机多用于等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，清洗时，需要保证气体的电离效果，因此需要将清洗腔室做隔离处理，现有的隔离装置直接固定在箱体上，安装使用不方便，且密封隔离效果差，能量流失大，适应性较差，维护保养、安装拆卸麻烦，使用成本高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种一种等离子清洗机的隔离腔室结构，结构简单，使用方便，适应性好，能量流失小，能够降低安装、维护的工作量，使用成本低。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种等离子清洗机的隔离腔室结构，设置在等离子清洗机箱体内，所述箱体正面设有开口，开口外设有箱门，其包括隔离板以及安装座，所述安装座设置在箱体内，所述隔离板与安装座可拆连接，所述箱门内侧设有箱门绝缘板，所述箱体内部正对箱门的一侧上设有箱体绝缘板，所述隔离板、箱门绝缘板以及箱体绝缘板之间形成了隔离腔室，所述箱体内设有多个隔离腔室，相邻的隔离板共用一个安装座。进一步地，所述箱门上设有第一密封卡槽，所述第一密封条卡槽内安装有第一密封条，所述第一密封条能够被夹设在第一密封条卡槽与箱门之间。进一步地，所述安装座上设有能够卡设隔离板的卡槽，每块隔离板与相邻的箱体内壁平行。进一步地，所述箱体为方形，所述隔离腔室为方形，所述隔离腔室为多个，沿着水平方向设置在箱体内，所述卡槽包括水平卡槽和竖向卡槽，所述隔离板包括水平隔离板与竖向隔离板。进一步地，所述安装座包括紧邻贴设在箱体内部拐角处的四周安装座，所述四周安装座上分别设有能够卡设水平隔离板的水平卡槽以及能够卡设竖向隔离板的竖向卡槽；所述安装座还包括间隔安装座，相邻的两个隔离腔室的上端之间与下端之间分别设有水平方向的间隔安装座，所述间隔安装座的两侧分别设有水平卡槽，所述间隔安装座的中间设有竖向卡槽。进一步地，上述的一种等离子清洗机的隔离腔室结构还包括间隔固定座，相邻的两个隔离腔室之间均设有间隔固定座，所述间隔固定座竖向设置在间隔安装座的正前方，所述间隔固定座的后端分别设有水平卡槽、竖向卡槽以及用于卡设间隔安装座前端的安装座卡槽。进一步地，所述间隔固定座的前端还设有第二密封条卡槽，所述第二密封条卡槽内设置有第二密封条，所述第二密封条能够被夹设在第二密封条卡槽与箱门之间。与现有技术相比，本技术所达到的有益效果：本技术方案设有多个隔离腔室，采用安装座与隔离板结构，使用方便快捷，效率更高，成本更低；本技术方案设有密封条与密封卡槽，能够保证整个装置的密封性与隔离腔室之间的相对独立性，气体电离效果与清洗效果更好；本技术方案设有安装座，能够保证隔离腔室的结构稳定性的同时，增强箱体的结构强度与抗形变能力，确保使用稳定性与安全性；本技术方案设有间隔固定座，能够更好地卡设定位间隔安装座与隔离板，使用更加方便安全。附图说明图1是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的外部整体结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的内部结构示意图；图3是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的箱门的结构示意图。图4是图3的局部结构放大示意图；图5是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的安装座与隔离板的配合示意图；图6是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的剖视结构示意图；图7是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的间隔固定座的立体结构示意图一；图8是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的间隔固定座的立体结构示意图二；图9是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的间隔安装座的立体结构示意图；图10是本技术实施例提供的一种等离子清洗机的隔离腔室结构的四周安装座的立体结构示意图；标号说明：1-箱体、2-开口、3-箱门、4-隔离板、5-安装座、6-隔离腔室、7-第一密封卡槽、8-第一密封条、9-水平卡槽、10-竖向卡槽、11-水平隔离板、12-竖向隔离板、13-四周安装座、14-间隔安装座、15-间隔固定座、16-安装座卡槽、17-第二密封条卡槽、18-第二密封条、19-箱门绝缘板、20-箱体绝缘板。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如附图所述的一种等离子清洗机的隔离腔室结构，设置在等离子清洗机箱体内，所述箱体1正面设有开口2，开口外设有箱门3，其特征在于：包括隔离板4以及安装座5，所述安装座设置在箱体内，所述隔离板与安装座可拆连接，所述箱门内侧设有箱门绝缘板19，所述箱体内部正对箱门的一侧上设有箱体绝缘板20，所述隔离板、箱门绝缘板以及箱体绝缘板之间形成了隔离腔室6，所述箱体内设有多个隔离腔室，相邻的隔离板共用一个安装座；隔离板、箱门绝缘板、箱体绝缘板以及安装座均采用绝缘材质，如玻璃、陶瓷、塑料、树脂等材质，采用隔离板与绝缘板将箱体内隔离成多个相对隔离、独立的清洗腔室，能够避免各个清洗腔室之间相互干扰(尤其每个隔离腔室内的待清洗物料不相同时)，减少电离过程中的能量流失耗散，确保每个清洗腔室内气体的电离效果与清洗效果；为本实施例中隔离板采用有色玻璃材质制成，安装座采用塑料材质制成，为了提升绝缘效果，箱门绝缘板为两层，一层是聚四氟乙烯，另一层为表面经过了绝缘处理的铝板，箱体绝缘板也为双层结构，正常使用时，需要有气体进入箱体内部清洗腔，并且能够在清洗后抽出，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子清洗机的隔离腔室结构，设置在等离子清洗机箱体内，所述箱体（1）正面设有开口（2），开口外设有箱门（3），其特征在于：包括隔离板（4）以及安装座（5），所述安装座设置在箱体内，所述隔离板与安装座可拆连接，所述箱门内侧设有箱门绝缘板（19），所述箱体内部正对箱门的一侧上设有箱体绝缘板（20），所述隔离板、箱门绝缘板以及箱体绝缘板之间形成了隔离腔室（6），所述箱体内设有多个隔离腔室，相邻的隔离板共用一个安装座。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子清洗机的隔离腔室结构，设置在等离子清洗机箱体内，所述箱体（1）正面设有开口（2），开口外设有箱门（3），其特征在于：包括隔离板（4）以及安装座（5），所述安装座设置在箱体内，所述隔离板与安装座可拆连接，所述箱门内侧设有箱门绝缘板（19），所述箱体内部正对箱门的一侧上设有箱体绝缘板（20），所述隔离板、箱门绝缘板以及箱体绝缘板之间形成了隔离腔室（6），所述箱体内设有多个隔离腔室，相邻的隔离板共用一个安装座。


2.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机的隔离腔室结构，其特征在于：所述箱门上设有第一密封卡槽（7），所述第一密封条卡槽内安装有第一密封条（8），所述第一密封条能够被夹设在第一密封条卡槽与箱门之间。


3.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机的隔离腔室结构，其特征在于：所述安装座上设有能够卡设隔离板的卡槽，每块隔离板与相邻的箱体内壁平行。


4.根据权利要求3所述的一种等离子清洗机的隔离腔室结构，其特征在于：所述箱体为方形，所述隔离腔室为方形，所述隔离腔室为多个，沿着水平方向设置在箱体内，所述卡槽包括水平卡槽（9）和竖向卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭峰，王宇，
申请(专利权)人：昆山普乐斯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32