一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法。所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法包括如下步骤：S1：将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼得到合金熔体；S2：将S1得到的合金熔体进行浇铸，冷却得到靶坯；S3：将所述靶坯进行机加工后得到所述钛镍形状记忆合金靶材。本发明专利技术将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼，有利于降低熔炼过程中的温度，减少熔炼过程中的吸气，既保证合金的纯度要求，又提高熔炼速度和熔炼炉的寿命。而且采用所述制备方法制备的钛镍合金靶材组分均匀，C、O等杂质含量低，靶材纯度高。

【技术实现步骤摘要】
一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法
本专利技术属于形状记忆合金靶材制备
，具体涉及一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法。
技术介绍
中国专利技术专利(CN109666813)公开了一种高纯钛镍铜记忆合金铸锭的制备方法，具体步骤如下：首先将钛、镍、铜原料进行筛选、清洗、称重；然后根据预设条件进行真空感应熔炼，包括(送电、除气、精炼、浇注)，得到钛镍铜合金铸锭；再采用热等静压方法对浇注后的铸锭进行后处理；最后将处理后的铸锭进行探伤、切冒口和底垫，得到高纯钛镍铜铸锭。该方法制备的钛镍合金铸锭熔炼浇铸工序过程操作复杂、热等静压方法虽然能够消除熔炼形成的冶金缺陷技术问题，但其处理成本也高，在一定程度能够达到氧元素含量稳定，晶粒组织细小、冶金缺陷减少的目的，但操作复杂、效果不佳。
技术实现思路
针对上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种钛镍形状记忆合金靶材及其制备方法，本专利技术提供的制备方法简单，所制备的钛镍形状记忆合金靶材具有纯度高，组分均匀，形貌良好的优点。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种钛本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钛镍形状记忆合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1：将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼得到合金熔体；/nS2：将S1得到的合金熔体进行浇铸，冷却得到靶坯；/nS3：将所述靶坯进行机加工后得到所述钛镍形状记忆合金靶材。/n

【技术特征摘要】
1.一种钛镍形状记忆合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：将金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器中进行熔炼得到合金熔体；
S2：将S1得到的合金熔体进行浇铸，冷却得到靶坯；
S3：将所述靶坯进行机加工后得到所述钛镍形状记忆合金靶材。


2.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法，其特征在于，所述S1中，金属钛和金属镍的重量比为金属钛：金属镍＝3-5：5-7。


3.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法，其特征在于，所述S1中，金属钛和金属镍的重量比为金属钛：金属镍＝4：6。


4.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制备方法，其特征在于，所述S1具体为：金属钛和金属镍以交替平铺的方式加入容器后，将容器抽真空后充入保护气，再次抽真空充入保护气使容器内气压为2.0×10-2Pa。


5.如权利要求1所述钛镍形状记忆合金靶材的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：王慧康，蔡新志，童培云，朱刘，冉成义，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44