【技术实现步骤摘要】
一种双真空泵体抛光液回收装置及方法
本专利技术涉及光学元件加工领域
，尤其是涉及一种双真空泵体抛光液回收装置及方法。
技术介绍
磁流变抛光技术是一种高精度的光学元件精密加工技术，它是利用在抛光轮内部产生的磁场，吸附磁性抛光液，通过抛光轮的自转使磁性抛光液和元件加工表面产生相对运动，通过剪切去除的方式，实现元件表面的加工。磁性抛光液是循环使用的，它主要由抛光液的供液系统和回收装置进行循环，如图4所示。磁性抛光液具备两个特点，一个是磁性抛光液由含有质量比大于80％的铁粉，所以液体比重大，需要高吸附力的真空泵体进行回收；另一个是要保证磁性抛光液在传输过程中不被污染，避免影响加工效果，所以只能在封闭的管路中传输。目前，采用的磁性抛光液回收装置主要利用蠕动泵回收抛光液，具体为通过对对蠕动泵中橡胶管的连续挤压产生真空，由于流体只接触泵管，不接触泵体，具有无污染的优点；同时其密封性强，具有良好的自吸能力，可空转，可防止回流。但其真空强度不够，导致残留抛光液吸附在抛光轮上，影响磁流变加工元件的效果。专利...
【技术保护点】
1.一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；/n抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；
抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。
2.如权利要求1所述的一种双真空泵体抛光液回收装置，其特征在于，所述第二真空接口的位置高于所述第一真空接口的位置。
3.如权利要求2所述的一种双真空泵体抛光液回收装置，其特征在于，所述第一真空接口位于所述真空腔体的底壁，所述第二真空接口位于所述真空腔体的侧壁。
4.如权利要求3所述的一种双真空泵体抛光液回收装置，其特征在于，所述输入接口和所述第二真空接口分别位于所述真空腔体相对的两侧壁上，所述输入接口靠近所述第一真空接口。
5.如权利要求3所述的一种双真空泵体抛光液回收装...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯晶，刘世伟，许乔，陈贤华，张清华，蒙晨，郑楠，李海波，王健，刘民才，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川;51
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