一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜制造技术

本专利公开了一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜。PPC膜的结构为：PDMS薄膜被透明胶带固定在载玻片上，粘有PPC薄膜的中间开孔的透明胶带粘在透明胶带上，PPC薄膜位于中间开孔的透明胶带开孔位置；利用特制的PPC膜，无损地将目标材料定点转移到铜网上完成TEM样品的制备，避免了湿法转移中存在的目标样品随机分布、材料损伤大、无法转移易水氧样品等问题，实现了高效、可靠地制备高质量的TEM样品。利用PPC的物理特性，在微区转移平台的辅助下，可以定点地对目标样品进行微区精准操作。这种全新的方法无须使用强酸强碱进行腐蚀，转移过程中不会对材料和碳膜造成损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜
本专利涉及一种基于PPC干法转移制备TEM样品的方法，尤其涉及一种快速高效无损伤地制备TEM样品的PPC膜。
技术介绍
随着化合物半导体技术的发展，各种材料表征技术日趋完善，尤其以透射电子显微镜为代表的表征技术在分析半导体材料中具有十分重要的意义。分析半导体材料的微观缺陷对器件性能的影响，对优化晶体生长工艺和改善器件性能有着重要的指导意义。透射电子显微镜(TEM)是一种高分辨率的电子显微镜，具有原子尺度的分辨能力，可以在纳米以及原子尺度表征材料的微观结构，能够提供材料微观的缺陷、化学成分、晶格结构和材料质量等方面的信息，是将样品结构与性能相联系的重要手段，在光电功能材料与器件的发展方面备受关注。其中，高质量的样品制备是TEM分析技术中非常重要的一个环节。然而，目前常用的湿法转移制备的样品，不仅成功率极低而且不适用于易水氧的样品，转移过程中样品随机分布在铜网上，无法实现精准转移。除此之外，传统的湿法转移需要用到氢氟酸腐蚀，严重影响了样品的质量。为了解决上述问题，本专利提出的一种新型的P本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜，包括载玻片(1)、PDMS薄膜(2)、第一透明胶带(3)、PPC薄膜(4)、中间开孔的第二透明胶带(5)，其特征在于：/n所述的PPC膜的结构为：PDMS薄膜(2)被第一透明胶带(3)固定在载玻片(1)上，粘有PPC薄膜(4)的中间开孔的第二透明胶带(5)粘在第一透明胶带(3)上，PPC薄膜(4)位于中间开孔的透明胶带开孔位置；/n所述的载玻片(1)为医用载玻片；/n所述的PDMS薄膜(2)大小为0.3×0.3cm，厚度为0.3cm；/n所述的第一透明胶带(3)为单面的透明胶带；/n所述的PPC薄膜(4)大小为1×1cm，厚度为200nm；/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜，包括载玻片(1)、PDMS薄膜(2)、第一透明胶带(3)、PPC薄膜(4)、中间开孔的第二透明胶带(5)，其特征在于：
所述的PPC膜的结构为：PDMS薄膜(2)被第一透明胶带(3)固定在载玻片(1)上，粘有PPC薄膜(4)的中间开孔的第二透明胶带(5)粘在第一透明胶带(3)上，PPC薄膜(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡伟达，陈允枫，王振，叶家富，李庆，王芳，张莉丽，王鹏，陈效双，陆卫，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31