一种氮化镓微波晶体管测试夹具及其工作方法技术

本发明专利技术公开了一种氮化镓微波晶体管测试夹具及其工作方法，其中夹具包括：PCB板，设有用于安放待测晶体管的切槽，PCB板上还设有微带电路，所述微带电路包括射频主线电路和偏置电路；所述射频主线电路用于为待测晶体管通入射频信号，以及将待测晶体管端的阻抗转换到测试仪器端口的50欧姆；所述偏置电路为所述待测晶体管进行直流偏置，偏置电路上设有防自激电路。本发明专利技术通过射频主线电路进行阻抗匹配，根据待测器件自身的阻抗，将50欧姆转换到对应的欧姆，避免阻抗失配，导致晶体管产生自激振荡；另外，在偏置电路上设有防自激电路，抑制晶体管自激振荡，防止对测试仪器造成损伤，可广泛应用于半导体器件测试技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓微波晶体管测试夹具及其工作方法
本专利技术涉及半导体器件测试
，尤其涉及一种氮化镓微波晶体管测试夹具及其工作方法。
技术介绍
第三代半导体氮化镓具有禁带宽度大、电子饱和速度大、击穿电压高、工作频率高、输出功率高等优点，是制作微波器件的良好材料。氮化镓基的微波晶体管是功率放大器的核心器件，微波晶体管的测试分析是保证器件质量的关键手段，夹具制作技术对测试结果影响巨大。有的测试仪器如矢量网络分析仪的测试端口是同轴端口，大功率氮化镓基微波器件往往采用金属陶瓷封装，是非同轴结构，进行测试时需要将器件的非同轴端口转为测试仪器处的同轴端口，一部分氮化镓微波器件使用内匹配封装，即内部有匹配电路，匹配到外部引脚为50欧姆，一部分氮化镓微波器件没有做内匹配，测试时需要在外部电路进行匹配到50欧姆。测试夹具作为被测件和测试仪器之间的桥梁，需要具备：固定器件，对器件馈电，同轴转微带，散热等功能。现有的测试仪器端口是50欧姆，而氮化镓基的大功率晶体管的阻抗往往只有十几欧姆甚至几欧姆，使用50欧姆的夹具会造成测试时阻抗失配，导致反射大，测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化镓微波晶体管测试夹具，其特征在于，包括：/nPCB板，设有用于安放待测晶体管的切槽，PCB板上还设有微带电路，所述微带电路包括射频主线电路和偏置电路；/n所述射频主线电路用于为待测晶体管通入射频信号，以及将待测晶体管端的阻抗转换到测试仪器端口的50欧姆；/n所述偏置电路为所述待测晶体管进行直流偏置，偏置电路上设有防自激电路。/n

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓微波晶体管测试夹具，其特征在于，包括：
PCB板，设有用于安放待测晶体管的切槽，PCB板上还设有微带电路，所述微带电路包括射频主线电路和偏置电路；
所述射频主线电路用于为待测晶体管通入射频信号，以及将待测晶体管端的阻抗转换到测试仪器端口的50欧姆；
所述偏置电路为所述待测晶体管进行直流偏置，偏置电路上设有防自激电路。


2.根据权利要求1所述的一种氮化镓微波晶体管测试夹具，其特征在于，所述射频主线电路包括栅极微带线和漏极微带线；
所述栅极微带线的第一端连接至所述切槽，所述栅极微带线的第二端连接至第一同轴接头，所述栅极微带线的宽度从第一端到第二端逐渐变小；
所述漏极微带线的第一端连接至所述切槽，所述漏极微带线的第二端连接至第二同轴接头，所述漏极微带的宽度从第一端到第二端逐渐变小。


3.根据权利要求2所述的一种氮化镓微波晶体管测试夹具，其特征在于，所述栅极微带线包括多段线宽不同且依次连接的线段，在线段的连接之间设有至少一个隔直电容。


4.根据权利要求1所述的一种氮化镓微波晶体管测试夹具，其特征在于，所述偏置电路包括栅极偏置电路和漏极偏置电路，
栅极偏置电路包括第一微带线和第二微带线，第一微带线和第二微带线之间连接有稳定电阻；
漏极偏置电路的微带线上并联有RC回路，所述RC回路由电阻和电容串联组成；
所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿魁伟，王伟，王洪，姚若河，刘玉荣，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东;44