具有电气背板的气体输送系统技术方案

本公开提供了一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：电气背板；可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和多个质量流量控制器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。所述气体输送系统还包括泵/清除系统，以帮助消除系统内的压力上升并且使系统中的流动过程快速停止。因此，能够评估与流动过程相关联的列，从而在必要时能够换出质量流量控制器。

【技术实现步骤摘要】
具有电气背板的气体输送系统相关申请的交叉引用本申请要求于2020年1月21日提交的美国临时专利申请No.62/963,880的优先权，其通过引用的方式并入本文。
本公开涉及一种具有电气背板的气体输送系统。
技术介绍
气体输送系统用于在诸如半导体制造等工业应用中供给各种类型的气体。在这类系统中，多个气体供给通道可以流动不同的气体，以进行混合并供给到不同的制造工序。典型地，针对各气体供给通道设置质量流量控制器(massflowcontroller)，以调节气体的流量。在一些气体输送系统中，经由网络将质量流量控制器全部连接到中央工具，该中央工具远程地向质量流量控制器发送命令并且经由网络请求过程数据。各质量流量控制器与中央工具一起维持它们自己的控制回路，与经由网络从中央工具发送的命令同步。在气体供给过程中，通过经由网络将顺序流动命令和设定从中央工具发送到质量流量控制器来完成制造工序。这种方法的缺点是在中央工具和质量流量控制器之间的通信中经常发生网络延迟、带宽限制以及差错。结果，在制造工序的执行过程中，在质量流量控制器和中央工具之本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体输送系统，包括：/n电气背板；/n可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和/n多个质量流量控制器，各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路，所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。/n

【技术特征摘要】
20200121 US 62/963,880;20201105 US 17/090,0191.一种气体输送系统，包括：
电气背板；
可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和
多个质量流量控制器，各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路，所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。


2.如权利要求1所述的气体输送系统，其中各个所述的质量流量控制器经由各自的电气连接器物理地安装在所述电气背板上。


3.如权利要求2所述的气体输送系统，其中
所述电气背板包括背板印刷电路板；
各个所述的质量流量控制电路包括各自的局部印刷电路板，所述局部印刷电路板经由所述局部印刷电路板和所述背板印刷电路板之间的板对板电气连接而物理地安装在所述电气背板上。


4.如权利要求1所述的气体输送系统，还包括：
机械背板，所述多个质量流量控制器物理地安装在所述机械背板上。


5.如权利要求4所述的气体输送系统，其中
所述机械背板包括顶面、底面和从所述顶面延伸到所述底面的多个开口部；
所述电气背板安装到所述机械背板的所述底面并且与所述底面隔开一定间隙；
各个所述的质量流量控制器安装到所述机械背板的所述顶面；并且
各个所述的质量流量控制器的一部分延伸通过所述多个开口部中的相应开口部而到达所述电气背板。


6.如权利要求5所述的气体输送系统，其中所述多个质量流量控制器以列状安装，各列包括从各自的入口延伸到混合歧管的相关联的流路。


7.如权利要求6所述的气体输送系统，其中所述多个质量流量控制器选自由压力质量流量控制器、热式质量流量控制器以及无限流器的质量流量控制器构成的组。


8.如权利要求6所述的气体输送系统，其中各个所述的质量流量控制器包括：
质量流量控制器流路块，所述质量流量控制器流路块包括从所述质量流量控制器流路块的入口到出口的流路；
流量控制阀，所述流量控制阀安装在所述流路中并且构造成控制流过所述流路的气体的流量；
压力传感器对，所述压力传感器对包括位于所述流路内的限流器的相对侧的第一压力传感器和第二压力传感器；和
上游压力传感器，所述上游压力传感器安装在所述限流器的上游并且构造成测量邻近所述流量控制阀的流路内的压力。


9.如权利要求8所述的气体输送系统，其中
在各列中，各个所述的质量流量控制器具有相关联的上游流路块；
各个所述的上游流路块包括入口、出口和清除口，
各个所述的上游流路块包括分支流路，所述分支流路包括从所述入口到分支点的入口分支、从所述分支点通向所述出口的出口分支以及从所述分支点通向所述清除口的清除分支；
上游截止阀，所述上游截止阀位于所述入口分支内并且构造成控制沿着所述出口分支从所述入口到所述出口的气体的流动；和
上游清除截止阀，所述上游清除截止阀位于所述清除分支内并且构造成控制从所述入口到所述清除口的气体的流动。


10.如权利要求9所述的气体输送系统，其中
在各列中，各个所述的质量流量控制器具有相关联的下游流路块；
各个所述的下游流路块包括入口、出口和清除口，
各个所述的下游流路块包括分支流路，所述分支流路包括从所述入口到分支点的入口分支、从所述分支点通向所述出口的出口分支以及从所述分支点通向所述清除口的清除分支；
下游清除截止阀，所述下游清除截止阀位于所述清除分支内并且构造成控制从所述入口到所述清除口的气体的流动；和
下游截止阀，所述下游截止阀位于所述入口分支内并且构造成控制沿着所述出口分支从所述入口到所述出口的气体的流动。


11.如权利要求10所述的气体输送系统，其中所述上游流路块和所述下游流路块中的至少一个包括：
水平地延伸并且位于所述上游流路块或所述下游流路块的顶面和底面之间的内部通道，所述内部通道形成所述流路的所述清除分支的一部分。


12.如权利要求11所述的气体输送系统，其中
所述内部通道经由第一垂直通道流体地连接到所述上游清除截止阀和所述下游清除截止阀中的一个；
所述内部通道经由第二垂直通道流体地连接到所述清除口；和
相比于所述入口，所述上游清除截止阀和所述下游清除截止阀中的一个位于更靠近所述出口的位置。


13.如权利要求12所述的气体输送系统，其中所述内部通道通过增材制造工序形成。


14.如权利要求1所述的气体输送系统，还包括：
多个流量比率控制器，各个所述的流量比率控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的流量比率控制电路，各个所述的流量比率控制电路物理地安装到所述电气背板。


15.如权利要求14所述的气体输送系统，还包括：
混合歧管，所述混合歧管构造成接收来自各个所述的质量流量控制器的气体，对所述气体进行混合，并将所述气体引导到各个所述的流量比率控制器的各自的入口。


16.如权利要求1所述的气体输送系统，还包括：
多个压力控制器，各个所述的压力控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的压力控制电路，各个所述的压力控制电路物理地安装到所述电气背板。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：爱德华·科西亚迪弗罗，约翰·迪克，威廉姆·W·怀特，马克西米利安·冈德拉赫，帕特里克·劳瑞，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本;JP