一种芯片批量测试吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片批量测试吸盘，包括吸盘底座和吸盘顶板，所述吸盘底座的顶面上设置有若干个吸气槽，所述吸气槽通过气阀与气泵连通，所述吸盘顶板固定在所述吸盘的上方，与吸盘底座密封连接，所述吸盘顶板的上表面均匀的设置有若干个用于收纳芯片的收纳槽，所述收纳槽的底面上设置有与所述吸气槽连通的第一通气孔，气泵通过所述气阀对所述吸气槽进行抽气，使得所述吸气槽内的压强小于外部压强，进而将所述芯片固定在所述收纳槽中，并且当需要将芯片进行拆卸时，关闭气泵，使得吸气槽内的压强与外部压强相同，即可对芯片进行拆卸。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片批量测试吸盘
本技术涉及芯片测试设备领域，尤其涉及一种批量测试吸盘。
技术介绍
集成电路英语在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。现有的集成电路在加工完成后一般需要利用现有的检测设备进行测试，现有的测试设备在对芯片进行批量检测时需要利用相应的定位治具对批量的芯片进行定位，但是现有的治具在对芯片进行固定时拆卸较为麻烦，需要耗费较多的时间，降低了检测设备的工作效率。
技术实现思路
鉴于此，本技术公开了一种芯片批量测试吸盘，通过吸气的方式将芯片吸附在所述收纳槽中，便于对芯片进行定位和拆卸。本技术公开了一种芯片批量测试吸盘，包括吸盘底座和吸盘顶板，所述吸盘底座的顶面上设置有若干个吸气槽，所述吸气槽通过气阀与气泵连通，所述吸盘顶板固定在所述吸盘的上方，与吸盘底座密封连接，所述吸盘顶板的上表面均匀的设置有若干个用于收纳芯片的收纳槽，所述收纳槽的底面上设置有与所述吸气槽连通的第一通气孔。进一步的，所述吸盘底座上设置有开口向上的定位槽，所述吸气槽位于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，包括吸盘底座和吸盘顶板，所述吸盘底座的顶面上设置有若干个吸气槽，所述吸气槽通过气阀与气泵连通，所述吸盘顶板固定在所述吸盘的上方，与吸盘底座密封连接，所述吸盘顶板的上表面均匀的设置有若干个用于收纳芯片的收纳槽，所述收纳槽的底面上设置有与所述吸气槽连通的第一通气孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，包括吸盘底座和吸盘顶板，所述吸盘底座的顶面上设置有若干个吸气槽，所述吸气槽通过气阀与气泵连通，所述吸盘顶板固定在所述吸盘的上方，与吸盘底座密封连接，所述吸盘顶板的上表面均匀的设置有若干个用于收纳芯片的收纳槽，所述收纳槽的底面上设置有与所述吸气槽连通的第一通气孔。


2.如权利要求1所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述吸盘底座上设置有开口向上的定位槽，所述吸气槽位于所述定位槽的底面上，所述吸盘顶板的底部设置有与所述定位槽配合的定位块，所述吸盘顶板与所述吸盘底座通过螺丝固定连接，使得所述定位块伸进所述定位槽中。


3.如权利要求2所述的一种芯片批量测试吸盘，其特征在于，所述定位槽的边缘位置设置有密封槽，所述密封槽内...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈炜东，
申请(专利权)人：深圳市崇越科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44