【技术实现步骤摘要】
一种用于高纯全氟乙烷生产的安全型纯化冷凝设备
本技术涉及机械设备领域,具体为一种用于高纯全氟乙烷生产的安全型纯化冷凝设备。
技术介绍
全氟乙烷是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃,亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇,可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产,它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻,叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。传统的冷却设备的效率较低,不能适应加快的生产速度,不能满足工业要求,设计不够人性化。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于高纯全氟乙烷生产的安全型纯化冷凝设备,以解决上述
技术介绍
中提出的传统的冷却设备的效率较低,不能适应加快的生产速度,不能满足工业要求,设计不够人性化的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于高纯全氟乙烷生产的安全型纯化冷凝设备,包括冷凝筒,所述冷凝筒一侧的顶部固定连通有进气管,所述冷凝筒另一侧的底部固定连通有出气管,所述出气管的一端通过第一导管与 ...
【技术保护点】
1.一种用于高纯全氟乙烷生产的安全型纯化冷凝设备,包括冷凝筒(2),其特征在于:所述冷凝筒(2)一侧的顶部固定连通有进气管(15),所述冷凝筒(2)另一侧的底部固定连通有出气管(5),所述出气管(5)的一端通过第一导管(1)与出气管(5)的顶部固定连通,所述冷凝筒(2)底部的一端固定连通有出液管(6),所述冷凝筒(2)底部的边角均固定连接有支撑杆(9),四个所述支撑杆(9)的一侧分别与安装板(8)的四个边角固定连接,所述安装板(8)的顶部固定安装有增压水泵(10),所述冷凝筒(2)内壁的顶部和底部均固定连接有固定架(3),两个所述固定架(3)的中部分别与螺旋冷凝管(4)的两 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于高纯全氟乙烷生产的安全型纯化冷凝设备,包括冷凝筒(2),其特征在于:所述冷凝筒(2)一侧的顶部固定连通有进气管(15),所述冷凝筒(2)另一侧的底部固定连通有出气管(5),所述出气管(5)的一端通过第一导管(1)与出气管(5)的顶部固定连通,所述冷凝筒(2)底部的一端固定连通有出液管(6),所述冷凝筒(2)底部的边角均固定连接有支撑杆(9),四个所述支撑杆(9)的一侧分别与安装板(8)的四个边角固定连接,所述安装板(8)的顶部固定安装有增压水泵(10),所述冷凝筒(2)内壁的顶部和底部均固定连接有固定架(3),两个所述固定架(3)的中部分别与螺旋冷凝管(4)的两端固定连接,所述螺旋冷凝管(4)的进液口穿过冷凝筒(2)与增压水泵(10)的出水口固定连通,所述螺旋冷凝管(4)的出液口穿过冷凝筒(2)与第二导管(12)的一端固定连通,所述第二导管(12)的另一端与储液箱(13)一侧的顶部固定连通,所述增压水泵(10)的进水口通过第三导管(11)与储液箱(13)一侧的底部固定连通,所述储液箱(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵趫,刘颖,冯凯,
申请(专利权)人:全椒科利德电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。