【技术实现步骤摘要】
一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置
[0001]本技术涉及进料装置
,尤其涉及一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置。
技术介绍
[0002]氧化亚氮又称笑气,作为一种重要的工业气体,主要应用于医学领域和电子工业中,传统应用中主要用作麻醉剂等。近年来,随着现代工业的发展,高纯氧化亚氮在电子行业的应用越发广泛,尤其是作为半导体技术发展的重要材料,主要应用在集成电路、液晶显示等
,并且发展趋势迅猛。在集成电路和LED芯片的制作过程中,高纯氧化亚氮经化学反应生成的SiO2膜被沉淀到硅衬底上,其纯度直接影响到SiO2膜纯度,并最终影响到电子器件的性能及质量。在氧化亚氮的生产中,首先将原料充分混合后再进行生产,原料混合后,如果不立即使用的话可能会出现凝结现象,如此会影响产品的品质,而且氧化亚氮生产装置存在不足之处,都是间歇进料方式,因此如何高效的制备氧化亚氮也是不可或缺的。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于:为了解决上述问题,而提出的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置。
[0004]为了实现上述目 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置,包括混匀罐(1),所述混匀罐(1)的顶部设置有盖板(2),所述盖板(2)的顶部设置有进料口(3),其特征在于,所述盖板(2)的上端面设置有驱动电机(4),所述驱动电机(4)的输出端贯穿入所述混匀罐(1)内部且连接有搅拌轴(5),所述搅拌轴(5)上设置有与所述混匀罐(1)适配的混匀杆(6),所述混匀罐(1)的下方设置有出料管(10),所述出料管(10)的内部设置有第一传动轴(9),所述第一传动轴(9)的外侧设置有螺旋叶片(11),所述混匀罐(1)和所述出料管(10)的交汇处设置有控制螺旋叶片(11)转动的传动机构。2.根据权利要求1所述的一种高纯氧化亚氮生产用连续进料装置,其特征在于,所述传动机构包括传动壳体(7),所述传动壳体(7)的内部转动连接有第二传动轴(19),所述第二传动轴(19)的顶部设置有第二齿轮(20),所述第二传动轴(19)的底部设置有半齿轮(21),所述第二齿轮(20)啮合连接有第一齿轮(18),所述半齿轮(21)间歇啮合有第三齿轮(22),所述第二齿轮(20)的直径大于所述第一齿轮(18)的直径。3.根据权利要求2所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵毅,石琳,童雪,
申请(专利权)人:全椒科利德电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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