液体回吸系统及回吸方法技术方案

本公开提供了一种液体回吸系统及回吸方法，属于液体回吸技术领域。该液体回吸系统包括回吸管路和回吸泵。回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口连接回吸泵，第二端口连接供液管路；其中，回吸管路具有回吸阀和洄水湾，供液管路用于供给液体化学品，回吸泵用于在供液管路停止供液时，回吸供液管路中残存的液体化学品。该液体回吸系统能够将使得未被回吸的液体，在洄水湾中发生滞留，从而不易回流至喷嘴造成偷滴。

【技术实现步骤摘要】
液体回吸系统及回吸方法
本公开涉及液体回吸
，尤其涉及一种液体回吸系统及回吸方法。
技术介绍
单片式水洗刻蚀机完成刻蚀任务后，需要将供液管路中残留的液体回吸到回吸液储存箱中。但是在回吸后，可能会存在供液管路中或者回吸管路中的液体残留。这些残留的液体会沿着供液管路或者回吸管路回流至单片式水洗刻蚀机的喷嘴处，从而造成偷滴，偷滴会降低产品的良率，降低刻蚀效率，进而增加了不必要的生产成本。所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种液体回吸系统及回吸方法，能够实现对洄水湾中的残留液体的实时监测。为实现上述专利技术目的，本公开采用如下技术方案：根据本公开的第一个方面，提供一种液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统包括：回吸管路和回吸泵；所述回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口连接所述回吸泵，所述第二端口连接供液管路；其中，所述回吸管路具有回吸阀和洄水湾，所述供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统包括：回吸管路和回吸泵；/n所述回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口连接所述回吸泵，所述第二端口连接供液管路；/n其中，所述回吸管路具有回吸阀和洄水湾，所述供液管路用于供给液体化学品，所述回吸泵用于在所述供液管路停止供液时，回吸所述供液管路中残存的所述液体化学品。/n

【技术特征摘要】
1.一种液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统包括：回吸管路和回吸泵；
所述回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口连接所述回吸泵，所述第二端口连接供液管路；
其中，所述回吸管路具有回吸阀和洄水湾，所述供液管路用于供给液体化学品，所述回吸泵用于在所述供液管路停止供液时，回吸所述供液管路中残存的所述液体化学品。


2.根据权利要求1所述的液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统还包括控制器，所述控制器用于控制所述回吸阀的开合。


3.根据权利要求2所述的液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统还包括位于所述洄水湾外侧的传感器，所述传感器与所述控制器连接，用于检测所述洄水湾内的液体量并将检测信号发送至所述控制器。


4.根据权利要求2所述的液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统还包括第一计时器，所述第一计时器与所述控制器连接，用于计算第一时长，并将所述第一时长信息发送至所述控制器，
其中，所述第一时长包括所述回吸阀为打开状态下的回吸时长。


5.根据权利要求3所述的液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统还包括第二计时器，所述第二计时器与所述控制器连接，用于计算第二时长，并将所述第二时长信息发送至所述控制器；
其中，所述第二时长包括所述检测信号在第一状态下的持续时长。


6.根据权利要求5所述的液体回吸系统，其特征在于，所述传感器包括光传感器，所述检测信号包括光信号，所述检测信号在第一状态下的持续时长包括所述光信号的强度大于预设强度的持续时长。


7.根据权利要求4所述的液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统还包括压力侦测装置，所述压力侦测装置与所述控制器连接，用于在所述回吸阀为打开状态时侦测所述回吸管道内的回吸压力，并将所述回吸压力信息发送至所述控制器。


8.根据权利要求7所述的液体回吸系统，其特征在于，所述液体回吸系统还包括警报器，所述警报器与所述控制器连接，用于当回吸异常时发出警报提示信息；
其中，所述回吸异常包括所述回吸时长大于第一预设时长或所述回吸压力超出预设压力范围。


9.一种液体回吸方法，其特征在于，应用于权利要求1～8任一所述液体回吸系统，所述液体回吸方法包括：
在所述供液管路停止供液时，打开所述回吸阀，通过所述回吸泵对所述供液管路和所述回吸管路中残存的所述液体化学品进行回吸；
待所述洄水湾中无残存的所述液体化学品时或...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭宇杰，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34