一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机制造技术

技术编号:29479119 阅读:22 留言:0更新日期:2021-07-30 18:48
本实用新型专利技术公开了一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,包括支撑腿,所述支撑腿的顶端固定安装有水洗槽,所述水洗槽的内部固定安装有排液管,所述排液管的右侧端头与第一抽水泵的动力输出端头固接,所述第一抽水泵的右侧固定安装有储液箱,所述排液管的左侧端头与第二抽水泵的动力输出端头固接,所述第二抽水泵的右侧固定安装有过滤箱,所述过滤箱的两侧固定安装有锁紧装置,所述过滤箱的内部设有过滤网,所述水洗槽的两侧固定安装有第一弹簧。本实用新型专利技术通过第一弹簧、压块、第一锁紧杆、支撑块、第一辅助块和锁紧钉的配合设置,使得第一清洗网能够方便拆装,让工作人员很方便的清理或更换清洗网,使得工作效率得到提高。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机
本技术涉及硅晶片生产设备
,具体为一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机。
技术介绍
硅晶片又称晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造。目前的硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,清洗网是固定安装在水洗槽内部的,且不方便拆装,让工作人员在清理或更换清洗网时很费劲,使得工作效率降低,而且不具备对清洗后的废液进行过滤后循环利用的功能,不符合现代节约环保的工作理念。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,包括支撑腿,所述支撑腿的顶端固定安装有水洗槽,所述水洗槽的内部固定安装有排液管,所述排液管的右侧端头与第一抽水泵的动力输出端头固接,所述第一抽水泵的右侧固定安装有储液箱,所述排液管的左侧端头与第二抽水泵的动力输出端头固接,所述第二抽水泵的右侧固定安装有过滤箱,所述过滤箱的两侧固定安装有锁紧装置,所述过滤箱的内部设有过滤网,所述水洗槽的两侧固定安装有第一弹簧,所述第一弹簧的端头处固定安装有压块,所述压块的顶端活动连接有第一锁紧杆,所得水洗槽的两侧固定安装有支撑块,所述支撑块的端头与压块活动连接,所述水洗槽的内部设有第一清洗网,所述第一清洗网的顶端固定安装有多个环形块,所述环形块的内部设有晶片盒,所述贯穿水洗槽内部的排液管的底端固定安装有喷头。所述锁紧装置包括固定块,所述过滤箱的两侧固定安装有固定块,所述固定块与过滤箱相反的一侧固定安装有T形杆,所述T形杆的表面活动连接有第二锁紧杆,所述第二锁紧杆与T形杆之间固定安装有第二弹簧,所述第二锁紧杆与过滤箱相反的一侧固定安装有拉杆。优选的,所述水洗槽的内部固定安装有出水管,且出水管的端头固定安装在过滤箱的内部,水洗槽的两侧固定安装有第一辅助块,且第一锁紧杆活动连接在第一辅助块的内部,第一辅助块的内部与第一锁紧杆的对应处设有锁紧钉,水洗槽外部两端的排液管的内部设有单向阀。优选的,所述过滤网的两侧固定安装有第一连接块,且第一连接块的内部开设有与第二锁紧杆相适配的槽,过滤网的顶端固定安装有L形辅助杆。优选的,所述第一清洗网的两侧固定安装有第二连接块,且第二连接块的内部开设有与第一锁紧杆相适配的槽,第一清洗网的顶端固定安装有T形辅助杆。优选的,所述过滤箱的两侧固定安装有第二辅助块,且第二锁紧杆活动连接在第二辅助块的内部,第二辅助块的内部与第二锁紧杆的对应处设有锁紧钉,过滤箱和储液箱的顶端都设有封盖,且封盖左侧通过合叶分别与过滤箱和储液箱活动连接,封盖的右侧内部分别与过滤箱和储液箱对应处设有锁紧钉。优选的,所述晶片盒的底端是贯穿的,且晶片盒的内部固定安装有第二清洗网。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、该硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,通过第一弹簧、压块、第一锁紧杆、支撑块、第一辅助块和锁紧钉的配合设置,使得第一清洗网能够方便拆装,让工作人员很方便的清理或更换清洗网,使得工作效率得到提高。2、该硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,水洗槽内的废液通过出水管进入到过滤箱内部,此时水洗槽外部左端的排液管的内部设有的单向阀打开,水洗槽外部右端的排液管的内部设有的单向阀关闭,当废液通过过滤箱内部固定安装的过滤网后,便能被第二抽水泵抽取并通过排液管导入到水洗槽内部,从而可以对水资源循环利用,节约了水资源的使用,并大大降低了清洁成本。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术晶片盒的内部结构示意图;图3为本技术图1中A处放大图。图中:1、支撑腿;2、水洗槽;3、储液箱;4、第一抽水泵;5、排液管;6、过滤箱;7、锁紧装置;701、固定块;702、T形杆;703、第二锁紧杆;704、第二弹簧;705、拉杆;8、过滤网;9、第二抽水泵;10、第一弹簧;11、压块;12、第一锁紧杆;13、支撑块;14、第一清洗网;15、环形块;16、晶片盒;17、喷头。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供的一种实施例:一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,包括支撑腿1,支撑腿1的顶端固定安装有水洗槽2,水洗槽2的内部固定安装有出水管,且出水管的端头固定安装在过滤箱6的内部,水洗槽2的两侧固定安装有第一辅助块,且第一锁紧杆12活动连接在第一辅助块的内部,第一辅助块的内部与第一锁紧杆12的对应处设有锁紧钉,水洗槽2外部两端的排液管5的内部设有单向阀,水洗槽2的内部固定安装有排液管5,排液管5的右侧端头与第一抽水泵4的动力输出端头固接,第一抽水泵4的右侧固定安装有储液箱3,排液管5的左侧端头与第二抽水泵9的动力输出端头固接,第二抽水泵9的右侧固定安装有过滤箱6,过滤箱6的两侧固定安装有第二辅助块,且第二锁紧杆703活动连接在第二辅助块的内部,第二辅助块的内部与第二锁紧杆703的对应处设有锁紧钉,过滤箱6和储液箱3的顶端都设有封盖,且封盖左侧通过合叶分别与过滤箱6和储液箱3活动连接,封盖的右侧内部分别与过滤箱6和储液箱3对应处设有锁紧钉,过滤箱6的两侧固定安装有锁紧装置7,过滤箱6的内部设有过滤网8,过滤网8的两侧固定安装有第一连接块,且第一连接块的内部开设有与第二锁紧杆703相适配的槽,过滤网8的顶端固定安装有L形辅助杆,水洗槽2的两侧固定安装有第一弹簧10,第一弹簧10的端头处固定安装有压块11,压块11的顶端活动连接有第一锁紧杆12,所得水洗槽2的两侧固定安装有支撑块13,支撑块13的端头与压块11活动连接,水洗槽2的内部设有第一清洗网14,第一清洗网14的两侧固定安装有第二连接块,且第二连接块的内部开设有与第一锁紧杆12相适配的槽,第一清洗网14的顶端固定安装有T形辅助杆,第一清洗网14的顶端固定安装有多个环形块15,环形块15的内部设有晶片盒16,晶片盒16的底端是贯穿的,且晶片盒16的内部固定安装有第二清洗网,贯穿水洗槽2内部的排液管5的底端固定安装有喷头17。锁紧装置7包括固定块701,过滤箱6的两侧固定安装有固定块701,固定块701与过滤箱6相反的一侧固定安装有T形杆702,T形杆702的表面活动连接有第二锁紧杆703,第二锁紧杆703与T形杆702之间固定安装有第二弹簧704,第二锁紧杆703与过滤箱6相反的一侧固定安装有拉杆705。工作原理:该硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,通过按压压块11,使得压块11通过支撑块13带动第一锁紧杆12以水洗槽2相反的一侧移动,即第一锁紧杆12移出第二连接块内部开设的与第一锁紧杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,包括支撑腿(1),其特征在于:所述支撑腿(1)的顶端固定安装有水洗槽(2),所述水洗槽(2)的内部固定安装有排液管(5),所述排液管(5)的右侧端头与第一抽水泵(4)的动力输出端头固接,所述第一抽水泵(4)的右侧固定安装有储液箱(3),所述排液管(5)的左侧端头与第二抽水泵(9)的动力输出端头固接,所述第二抽水泵(9)的右侧固定安装有过滤箱(6),所述过滤箱(6)的两侧固定安装有锁紧装置(7),所述过滤箱(6)的内部设有过滤网(8),所述水洗槽(2)的两侧固定安装有第一弹簧(10),所述第一弹簧(10)的端头处固定安装有压块(11),所述压块(11)的顶端活动连接有第一锁紧杆(12),所得水洗槽(2)的两侧固定安装有支撑块(13),所述支撑块(13)的端头与压块(11)活动连接,所述水洗槽(2)的内部设有第一清洗网(14),所述第一清洗网(14)的顶端固定安装有多个环形块(15),所述环形块(15)的内部设有晶片盒(16),贯穿所述水洗槽(2)内部的排液管(5)的底端固定安装有喷头(17);/n所述锁紧装置(7)包括固定块(701),所述过滤箱(6)的两侧固定安装有固定块(701),所述固定块(701)与过滤箱(6)相反的一侧固定安装有T形杆(702),所述T形杆(702)的表面活动连接有第二锁紧杆(703),所述第二锁紧杆(703)与T形杆(702)之间固定安装有第二弹簧(704),所述第二锁紧杆(703)与过滤箱(6)相反的一侧固定安装有拉杆(705)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅晶片喷砂二氧化硅浆料清洗机,包括支撑腿(1),其特征在于:所述支撑腿(1)的顶端固定安装有水洗槽(2),所述水洗槽(2)的内部固定安装有排液管(5),所述排液管(5)的右侧端头与第一抽水泵(4)的动力输出端头固接,所述第一抽水泵(4)的右侧固定安装有储液箱(3),所述排液管(5)的左侧端头与第二抽水泵(9)的动力输出端头固接,所述第二抽水泵(9)的右侧固定安装有过滤箱(6),所述过滤箱(6)的两侧固定安装有锁紧装置(7),所述过滤箱(6)的内部设有过滤网(8),所述水洗槽(2)的两侧固定安装有第一弹簧(10),所述第一弹簧(10)的端头处固定安装有压块(11),所述压块(11)的顶端活动连接有第一锁紧杆(12),所得水洗槽(2)的两侧固定安装有支撑块(13),所述支撑块(13)的端头与压块(11)活动连接,所述水洗槽(2)的内部设有第一清洗网(14),所述第一清洗网(14)的顶端固定安装有多个环形块(15),所述环形块(15)的内部设有晶片盒(16),贯穿所述水洗槽(2)内部的排液管(5)的底端固定安装有喷头(17);
所述锁紧装置(7)包括固定块(701),所述过滤箱(6)的两侧固定安装有固定块(701),所述固定块(701)与过滤箱(6)相反的一侧固定安装有T形杆(702),所述T形杆(702)的表面活动连接有第二锁紧杆(703),所述第二锁紧杆(703)与T形杆(702)之间固定安装有第二弹簧(704),所述第二锁紧杆(703)与过滤箱(6)相反的一侧固定安装有拉杆(705)。


2.根据权利要求1所述的一种硅晶片喷...

【专利技术属性】
技术研发人员:趙慶升李漢生蔡雪良
申请(专利权)人:昆山中辰矽晶有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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