活性气体生成装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种活性气体生成装置，能够有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。本发明专利技术通过高电压施加电极部(1)与接地电位电极部(2)的组合来构成在内部具有放电空间(6)的电极对。高电压施加电极部(1)作为主要构成部而具有电极用电介质膜(11)以及形成在电极用电介质膜(11)的上表面上的金属电极(10)。辅助导电膜(18)以俯视时不与金属电极(10)重叠且包围金属电极(10)的方式形成为圆环状。金属制的电极按压部件(8)在俯视时呈圆环状，以与辅助导电膜(18)的上表面的一部分接触的形态设置，并被固定于金属制的基底凸缘(4)。基底凸缘(4)被赋予接地电位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】活性气体生成装置
本专利技术涉及一种活性气体生成装置，通过平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体，并将活性气体向后级的处理空间供给。
技术介绍
作为通过平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体的活性气体生成装置，例如存在专利文献1公开的氮自由基生成系统。在专利文献1所公开的现有的活性气体生成装置中，在装置后级设置有具有处理空间的处理腔室。作为活性气体生成装置的氮自由基生成系统为，利用电介质阻挡放电，从作为原料气体的氮气生成作为活性气体的氮自由基，并将活性气体向处理腔室喷出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6239483号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1所公开的现有的活性气体生成装置中，可以想到，对相互对置的第一电极和第二电极施加的电压会在后级的处理空间中引起异常放电。即，为了在第一电极、第二电极之间的放电空间中产生电介质阻挡放电而施加的电压，在活性气体生成装置后级的装置即处理腔室的处理室内也生成具有产生绝缘破坏的电场强度的区域，在上述处理室内产生成为金属污染的产生原因的放电即异常放电。与活性气体生成装置内的空间相比上述处理室处于减压环境下，因此存在异常放电所产生的离子被电场加速后与处理室内的处理对象物即工件碰撞、从而使工件产生损伤的问题。此外，在活性气体生成装置内也是，在活性气体到达处理室之前的区域中的电场强度较高的情况下，在放电空间以外的区域有可能产生非意图的放电现象，存在装置的内部表面破损等问题。本专利技术的目的在于，解决上述那样的问题，提供一种活性气体生成装置，有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。用于解决课题的手段本专利技术的活性气体生成装置生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备：第一电极构成部；以及第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方，上述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜以及形成在上述第一电极用电介质膜的上表面上的第一金属电极，上述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜以及形成在上述第二电极用电介质膜的下表面上的第二金属电极，上述第一金属电极被施加交流电压，上述第二金属电极被设定为接地电位，在上述第一以及第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包含上述第一以及第二金属电极在俯视时重叠的区域，上述第一电极用电介质膜在中央部具有用于将上述原料气体向上述放电空间供给的气体供给口，上述气体供给口设置为在俯视时不与上述第一金属电极重叠，上述第二电极用电介质膜具有用于将上述活性气体向下方喷出的至少一个气体喷出孔，上述第一电极构成部还具有在上述第一电极用电介质膜的上表面上与上述第一金属电极相独立地形成的辅助导电膜，上述放电空间以在俯视时不与上述气体供给口重叠且包围上述气体供给口的方式形成，上述至少一个气体喷出孔以在俯视时不与上述气体供给口以及上述放电空间重叠、且离上述气体供给口的距离比离上述放电空间的距离远的方式配置，在上述电介质空间中，从上述放电空间到达上述至少一个气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，上述辅助导电膜在俯视时不与上述第一金属电极重叠且包围上述第一金属电极，并且在俯视时与上述活性气体流通路径的一部分重叠，上述活性气体生成装置还具备与上述辅助导电膜的上表面的一部分接触地设置、且具有导电性的电极辅助部件，上述辅助导电膜经由上述电极辅助部件而被设定为接地电位。专利技术效果在本专利技术的活性气体生成装置中，经由电极辅助部件而被设定为接地电位的辅助导电膜设置为，在俯视时与活性气体流通路径的一部分重叠。因此，本专利技术的活性气体生成装置通过被设定为接地电位的辅助导电膜，能够缓和上述活性气体流通路径上的电场强度。并且，在本申请专利技术的活性气体生成装置中，辅助导电膜以在俯视时不与上述第一金属电极重叠且包围第一金属电极的方式形成。因此，能够不跨越第一金属电极的上方而经由电极辅助部件将辅助导电膜设定为接地电位，因此能够将被设定为接地电位的辅助导电膜与被施加交流电压的第一金属电极比较容易地进行绝缘分离。作为其结果，本专利技术的活性气体生成装置发挥如下效果：能够有意图地减弱活性气体到达处理空间之前的区域中的电场强度，并且通过比较简单的构成来稳定性良好地确保第一金属电极与辅助导电膜之间的绝缘性。本专利技术的目的、特征、方案及优点通过以下的详细说明以及附图而变得更明确。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式1的活性气体生成装置的基本构成的说明图。图2是表示图1所示的高电压施加电极部的上表面构成的平面图。图3是表示图1所示的高电压施加电极部的截面构造的截面图。图4是表示图1所示的接地电位电极部的下表面构成的平面图。图5是表示图1所示的接地电位电极部的截面构造的截面图。图6是表示图1所示的基底凸缘的下表面构成的平面图。图7是表示图1所示的基底凸缘的截面构造的截面图。图8是表示图1所示的电极按压部件的上表面构成的平面图。图9是表示图1所示的电极按压部件的截面构造的截面图。图10是表示本专利技术的实施方式2的活性气体生成装置的基本构成的说明图。图11是表示图10所示的基底凸缘的下表面构成的平面图。图12是表示图10所示的基底凸缘的截面构造的截面图。图13是表示本专利技术的前提技术的活性气体生成装置的基本构成的说明图。具体实施方式＜前提技术＞(基本构成)图13是表示作为本专利技术的前提技术的活性气体生成装置的基本构成的说明图。图13中记载有XYZ正交坐标系。前提技术的气体产生装置200是生成使供给至放电空间6的原料气体5(氮气等)活化而得到的活性气体7(氮自由基等)的活性气体生成装置。气体产生装置200作为主要构成部而包括金属框体31、气体供给口32、活性气体生成用电极组201以及孔板部40。金属框体31是被设定为接地电位的金属制的气体产生装置200用的框体，在上部安装有气体供给口32，从气体供给口32向金属框体31的框体内空间33供给原料气体5。在气体产生装置200的金属框体31的框体内空间33中配置有活性气体生成用电极组201。具体地说，在金属框体31的底面上配置有活性气体生成用电极组201。并且，在金属框体31的底面的一部分装入有孔板部40。活性气体生成用电极组201由作为第一电极构成部的高电压施加电极部1以及作为第二电极构成部的接地电位电极部2的组合来构成，接地电位电极部2设置在高电压施加电极部1的下方。高电压施加电极部1作为主要构成部而具有作为第一电极用电介质膜的电极用电介质膜11、以及形成在电极用电介质膜11的上表面上的作为第一金属电极的金属电极10。高电压施加电极部1进一步具有金属制的辅助导电膜12，该辅助导电膜12具有导电性，并与金属电极10相独立地形成在电极用电介质膜11的上表面上。辅助导电膜12在俯视时设置在至少一个气体喷出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备：/n第一电极构成部；以及/n第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方，/n上述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜以及形成在上述第一电极用电介质膜的上表面上的第一金属电极，上述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜以及形成在上述第二电极用电介质膜的下表面上的第二金属电极，上述第一金属电极被施加交流电压，上述第二金属电极被设定为接地电位，在上述第一以及第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包含上述第一以及第二金属电极在俯视时重叠的区域，/n上述第一电极用电介质膜在中央部具有用于将上述原料气体向上述放电空间供给的气体供给口，上述气体供给口设置为在俯视时不与上述第一金属电极重叠，/n上述第二电极用电介质膜具有用于将上述活性气体向下方喷出的至少一个气体喷出孔，/n上述第一电极构成部还具有在上述第一电极用电介质膜的上表面上与上述第一金属电极相独立地形成的辅助导电膜，/n上述放电空间以在俯视时不与上述气体供给口重叠且包围上述气体供给口的方式形成，/n上述至少一个气体喷出孔以在俯视时不与上述气体供给口以及上述放电空间重叠、且离上述气体供给口的距离比离上述放电空间的距离远的方式配置，在上述电介质空间中，从上述放电空间到达上述至少一个气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，/n上述辅助导电膜在俯视时不与上述第一金属电极重叠且包围上述第一金属电极，并且在俯视时与上述活性气体流通路径的一部分重叠，/n上述活性气体生成装置还具备与上述辅助导电膜的上表面的一部分接触地设置、且具有导电性的电极辅助部件，/n上述辅助导电膜经由上述电极辅助部件而被设定为接地电位。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备：
第一电极构成部；以及
第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方，
上述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜以及形成在上述第一电极用电介质膜的上表面上的第一金属电极，上述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜以及形成在上述第二电极用电介质膜的下表面上的第二金属电极，上述第一金属电极被施加交流电压，上述第二金属电极被设定为接地电位，在上述第一以及第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包含上述第一以及第二金属电极在俯视时重叠的区域，
上述第一电极用电介质膜在中央部具有用于将上述原料气体向上述放电空间供给的气体供给口，上述气体供给口设置为在俯视时不与上述第一金属电极重叠，
上述第二电极用电介质膜具有用于将上述活性气体向下方喷出的至少一个气体喷出孔，
上述第一电极构成部还具有在上述第一电极用电介质膜的上表面上与上述第一金属电极相独立地形成的辅助导电膜，
上述放电空间以在俯视时不与上述气体供给口重叠且包围上述气体供给口的方式形成，
上述至少一个气体喷出孔以在俯视时不与上述气体供给口以及上述放电空间重叠、且离上述气体供给口的距离比离上述放电空间的距离远的方式配置，在上述电介质空间中，从上述放电空间到达上述至少一个气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，
上述辅助导电膜在俯视时不与上述第一金属电极重叠且包围上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边谦资，有田廉，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP