活性气体生成装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种活性气体生成装置，能够有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。本发明专利技术通过高电压施加电极部(1)与接地电位电极部(2)的组合来构成在内部具有放电空间(6)的电极对。高电压施加电极部(1)作为主要构成部而具有电极用电介质膜(11)以及形成在电极用电介质膜(11)的上表面上的金属电极(10)。辅助导电膜(18)以俯视时不与金属电极(10)重叠且包围金属电极(10)的方式形成为圆环状。金属制的电极按压部件(8)在俯视时呈圆环状，以与辅助导电膜(18)的上表面的一部分接触的形态设置，并被固定于金属制的基底凸缘(4)。基底凸缘(4)被赋予接地电位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】活性气体生成装置
本专利技术涉及一种活性气体生成装置，通过平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体，并将活性气体向后级的处理空间供给。
技术介绍
作为通过平行平板方式的电介质阻挡放电来生成活性气体的活性气体生成装置，例如存在专利文献1公开的氮自由基生成系统。在专利文献1所公开的现有的活性气体生成装置中，在装置后级设置有具有处理空间的处理腔室。作为活性气体生成装置的氮自由基生成系统为，利用电介质阻挡放电，从作为原料气体的氮气生成作为活性气体的氮自由基，并将活性气体向处理腔室喷出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6239483号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1所公开的现有的活性气体生成装置中，可以想到，对相互对置的第一电极和第二电极施加的电压会在后级的处理空间中引起异常放电。即，为了在第一电极、第二电极之间的放电空间中产生电介质阻挡放电而施加的电压，在活性气体生成装置后级的装置即处理腔室的处理室内也生成具有产生绝缘破坏的电场强度的区域，在上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备：/n第一电极构成部；以及/n第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方，/n上述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜以及形成在上述第一电极用电介质膜的上表面上的第一金属电极，上述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜以及形成在上述第二电极用电介质膜的下表面上的第二金属电极，上述第一金属电极被施加交流电压，上述第二金属电极被设定为接地电位，在上述第一以及第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包含上述第一以及第二金属电极在俯视时重叠的区域，/n上述第一电极用电介质膜在中央部具有用于将上述原料气...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种活性气体生成装置，生成使供给至放电空间的原料气体活化而得到的活性气体，具备：
第一电极构成部；以及
第二电极构成部，设置在上述第一电极构成部的下方，
上述第一电极构成部具有第一电极用电介质膜以及形成在上述第一电极用电介质膜的上表面上的第一金属电极，上述第二电极构成部具有第二电极用电介质膜以及形成在上述第二电极用电介质膜的下表面上的第二金属电极，上述第一金属电极被施加交流电压，上述第二金属电极被设定为接地电位，在上述第一以及第二电极用电介质膜相对置的电介质空间内，作为上述放电空间而包含上述第一以及第二金属电极在俯视时重叠的区域，
上述第一电极用电介质膜在中央部具有用于将上述原料气体向上述放电空间供给的气体供给口，上述气体供给口设置为在俯视时不与上述第一金属电极重叠，
上述第二电极用电介质膜具有用于将上述活性气体向下方喷出的至少一个气体喷出孔，
上述第一电极构成部还具有在上述第一电极用电介质膜的上表面上与上述第一金属电极相独立地形成的辅助导电膜，
上述放电空间以在俯视时不与上述气体供给口重叠且包围上述气体供给口的方式形成，
上述至少一个气体喷出孔以在俯视时不与上述气体供给口以及上述放电空间重叠、且离上述气体供给口的距离比离上述放电空间的距离远的方式配置，在上述电介质空间中，从上述放电空间到达上述至少一个气体喷出孔的路径被规定为活性气体流通路径，
上述辅助导电膜在俯视时不与上述第一金属电极重叠且包围上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边谦资，有田廉，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP