一种提高分离良率的辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种提高分离良率的辅助装置，包括腔室，腔室的内腔侧壁上固定安装有固定板和安装板，固定板的顶部设有离子风扇，离子风扇的输入端连接有气管，离子风扇的输入端通过气管连接有氮气瓶，安装板的中部设有螺孔，螺孔内螺接有螺柱，螺柱的底端贴合有立柱，立柱的底端固定安装有压板，压板的底部紧密贴合在离子风扇的外壳顶部，本实用新型专利技术通过在腔室的内部安装有连接氮气瓶的离子风扇，离子风扇保持常开状态，氮气充满腔室的腔体，能保持压印腔体干燥洁净，有效去除压印过程中软膜与硬模具之间的静电，且在分离时能有效降低脱模阻力，提高分离良率。

【技术实现步骤摘要】
一种提高分离良率的辅助装置
本技术涉及纳米压印
，具体为一种提高分离良率的辅助装置。
技术介绍
自从华裔科学家StephenChou于1995年提出纳米压印概念至今，纳米压印技术已经发展为科技革命中的核心纳米技术之一。纳米压印技术克服了光刻技术中由于衍射导致的分辨率限制，目前分辨率已经达到了5nm以下，从而为制造小尺寸、高密度集成电路提供了有力的支持。目前，纳米压印技术已经形成了热压印、软刻蚀和紫外压印等三种主要类型。传统的纳米压印方法，在脱模时压印胶的剥离，尤其是高深宽比的结构，容易导致脱模过程中容易出现模具部分损坏，增加了制造成本的同时也会导致产品出现一定的缺陷，从而降低了良率，为此，我们提出一种提高分离良率的辅助装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种提高分离良率的辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种提高分离良率的辅助装置，包括腔室，所述腔室的内腔侧壁上固定安装有固定板和安装板，所述固定板的顶部设有离子风扇，所述离子风扇的输入端连接有气管，所述离子风扇的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高分离良率的辅助装置，其特征在于：包括腔室(1)，所述腔室(1)的内腔侧壁上固定安装有固定板(2)和安装板(6)，所述固定板(2)的顶部设有离子风扇(3)，所述离子风扇(3)的输入端连接有气管(4)，所述离子风扇(3)的输入端通过气管(4)连接有氮气瓶(5)，所述安装板(6)的中部设有螺孔(7)，所述螺孔(7)内螺接有螺柱(8)，所述螺柱(8)的底端贴合有立柱(9)，所述立柱(9)的底端固定安装有压板(10)，所述压板(10)的底部紧密贴合在离子风扇(3)的外壳顶部，所述压板(10)的顶部左右两侧均设有限位件(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种提高分离良率的辅助装置，其特征在于：包括腔室(1)，所述腔室(1)的内腔侧壁上固定安装有固定板(2)和安装板(6)，所述固定板(2)的顶部设有离子风扇(3)，所述离子风扇(3)的输入端连接有气管(4)，所述离子风扇(3)的输入端通过气管(4)连接有氮气瓶(5)，所述安装板(6)的中部设有螺孔(7)，所述螺孔(7)内螺接有螺柱(8)，所述螺柱(8)的底端贴合有立柱(9)，所述立柱(9)的底端固定安装有压板(10)，所述压板(10)的底部紧密贴合在离子风扇(3)的外壳顶部，所述压板(10)的顶部左右两侧均设有限位件(11)。


2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37