一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置，包括退火炉，所述退火炉外侧固接防护壳体。本实用新型专利技术外部设有防护壳体及防护瓦片，隔热效果好，并且还具有一定的抗撞性能，可以有效保护人员被炉体外壳烫伤的情况。本实用新型专利技术设有吹气防护块，需要对炉内进行吹气时，将吹气设备接到吹气口处，气体压力会带动球形阀体向内侧转动，吹气完成后气体停止进入，球形阀体在扭簧的作用下将吹气通道封闭，避免了气体外泄及空气流入吹气口内的情况，提高了退火工艺的效果。本实用新型专利技术设有防爆盖，防爆盖内设有防爆膜，当炉内蒸汽压力过大时，防爆膜受压破碎，使蒸汽通过泄压管喷出，避免了炉内压力过大发生元件爆炸的情况，保护了现场安全。

【技术实现步骤摘要】
一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置
本技术涉及退火炉设备
，具体为一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，V型热释光精密退火炉是二OO五年为镁铜磷、镁钛热释光探测器研制的经济实用型远红外退火设备。其特点是精度高(0.3级)、PID自整定、专家PID算法、调节输出限幅、SF调系数可设、带有手动/自动切换、四位大LED显示，结构科学合理，是热释光读出装置理想的配套设备，目前的退火炉在使用过程中有以下缺陷：1、退火炉在工作中温度较高，车间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置，包括退火炉(1)，其特征在于：所述退火炉(1)外侧固接防护外壳(2)，所述退火炉(1)与防护外壳(2)之间填充隔热棉(3)，所述防护外壳(2)外侧面固接多个防护瓦片(4)，多个所述防护瓦片(4)之间紧密连接，所述退火炉(1)一侧开设气口(5)，所述防护外壳(2)位于气口(5)对应位置固接吹气防护块(6)，所述吹气防护块(6)一端位于防护外壳(2)外侧，所述吹气防护块(6)另一端套接在气口(5)内，所述吹气防护块(6)内部开设吹气通道(8)，所述吹气防护块(6)远离气口(5)一侧开设吹气口(7)，所述吹气通道(8)一端连通吹气口(7)，所述吹气通道(8)...

【技术特征摘要】
1.一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置，包括退火炉(1)，其特征在于：所述退火炉(1)外侧固接防护外壳(2)，所述退火炉(1)与防护外壳(2)之间填充隔热棉(3)，所述防护外壳(2)外侧面固接多个防护瓦片(4)，多个所述防护瓦片(4)之间紧密连接，所述退火炉(1)一侧开设气口(5)，所述防护外壳(2)位于气口(5)对应位置固接吹气防护块(6)，所述吹气防护块(6)一端位于防护外壳(2)外侧，所述吹气防护块(6)另一端套接在气口(5)内，所述吹气防护块(6)内部开设吹气通道(8)，所述吹气防护块(6)远离气口(5)一侧开设吹气口(7)，所述吹气通道(8)一端连通吹气口(7)，所述吹气通道(8)另一端连通气口(5)，所述吹气通道(8)内转动连接球形阀体(9)；
所述退火炉(1)顶面开设蒸汽口(11)，所述防护外壳(2)位于蒸汽口(11)对应位置固接防爆口(12)，所述防爆口(12)顶面转动连接防爆盖(13)，所述防爆盖(13)内侧开设防爆腔(14)，所述防爆腔(14)底面固接防爆膜(15)，所述防爆盖(13)底面紧密接触蒸汽口(11)顶面，所述防爆盖(13)顶面固接多个泄压管(16)，所述泄压管(16)与防爆腔(14)连通。


2.根据权利要求1所述的一种V型热释光精密退火炉外壳防护装置，其特征在于：所述吹气防护块(6)套接在气口(5)内侧一端固接密...

【专利技术属性】
技术研发人员：周金宝，
申请(专利权)人：天津市联华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12