一种用于金属加工的退火炉制造技术

技术编号:29445462 阅读:9 留言:0更新日期:2021-07-27 17:01
本实用新型专利技术公开一种用于金属加工的退火炉,包括基板,所述基板的上侧设有水平设置的箱体,所述箱体内底部对称固定连接竖直设置的支撑板。本实用新型专利技术的有益效果是:本实用所提供的一种用于金属加工的退火炉,将需要退火的零件放置在放置板上,较小的零件集中放置在网框内,电动伸缩杆推动密封板将放置板推入箱体内,同时通过密封板将开口密封,打开加热管对箱体内加热进行退火,打开电机通过主动齿轮驱动从动齿环带动转动轴转动,转动轴转动能够带动转动杆转动,转动杆转动能够带动安装板一侧的加热管转动,加热管转动能使零件均匀的受热,退火完成后电动伸缩杆拉动密封板将放置板拉出,通过风扇吹出的风能够对退火完成的零件进行快速降温。

【技术实现步骤摘要】
一种用于金属加工的退火炉
本技术涉及退火炉
,具体为一种用于金属加工的退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。现有技术的存在以下问题:现有的金属加工用退火炉在使用时存在炉门通过绳索牵引升降进行密封,存在安全隐患,长时间使用易脱落,断电也易造成脱落,同时余热利用不高,造成浪费,使用不便。为此,CN211199318U的专利中提出一种金属加工用退火炉,包括箱体、炉门密封组件、放置架和鹅卵石,箱体的炉口处设置有炉门密封组件,箱体的上端中间设置有进风机,进风机的上端设置有电加热板,箱体的上端位于进风机的侧边设置有循环风机,进风机的另一侧设置有排风机,进风机的下端连接有导风管,导风管的侧边均匀设置有喷嘴,箱体的内部设置有隔热层,隔热层的内部中间均匀设置有载物架,隔热层的内部侧边设置有放置架,放置架的内部均匀设置有鹅卵石。上述金属加工用退火炉通过电机转动带动主动齿轮转动,主动齿轮啮合的从动齿轮转动带动丝杆旋转,丝杆固定的炉门一端受限位滑杆的限位作用,使炉门顺着限位滑杆升降,稳定性高,不易脱落,使用安全,在隔热层的内部侧边设置有放置架,在放置架的内部均匀设置有鹅卵石,多余热量通过鹅卵石进行吸收,进行热量存储,再利用,避免热量流失,提高余热利用率。但是该金属加工用退火炉在使用时,由于退火完后箱体内的温度非常高,退火完成后的零件不易取出稍有不慎就会将操作人员烫伤,且在对一些特别小的零件进行退火时不能够集中放置导致放置零件与取出零件时很慢同时容易掉落,从而影响工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于金属加工的退火炉,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于金属加工的退火炉,包括基板,所述基板的上侧设有水平设置的箱体,所述箱体内底部对称固定连接竖直设置的支撑板,两个支撑板上侧滑动配合连接水平设置的放置板,所述放置板的一端从所述箱体一侧设置的开口穿过并伸出至箱体的外侧,所述基板上方远离箱体的一侧固定连接竖直设置的立板,立板远离箱体的一侧设有电动伸缩杆,电动伸缩杆的伸缩端水平贯穿立板并固定连接竖直设置的密封板,密封板与所述开口相对应设置,所述放置板的伸出端与所述密封板朝向开口的一侧固定连接,所述立板与箱体相对的一侧上方共同固定连接水平设置的横板,横板的下侧设有水平设置的风扇;所述箱体的上侧中心处设有水平设置的轴承槽,轴承槽与所述箱体相连通,轴承槽内通过转动轴承转动配合连接竖直设置的转动轴,转动轴的下端竖直伸入箱体内并固定连接水平设置的转动杆,转动杆下方两侧边缘处均固定连接竖直设置的安装板,所述放置板设置在两个安装板之间,两个安装板朝向放置板的两侧均均匀设有加热管,所述在转动轴的上端设有用于驱动转动轴转动的动力装置,所述箱体上方一侧边缘处设有排气阀。优选地,所述每个支撑板的上侧均设有水平设置的滑动槽,每个滑动槽内均滑动配合连接滑动块,所述放置板远离密封板的下方一侧边缘处与两个滑动块的上侧固定连接。优选地,所述密封板朝向立板的一侧固定连接一组水平设置的导向杆,所述立板上设有一组导向孔,所述导向杆一一对应从所述导向孔内穿过,每个导向杆均能够沿与其相对的导向孔水平滑动,在每个导向杆远离密封板的一端均固定连接限位块,所述在每个导向杆的外侧均套接水平设置的弹簧,每个弹簧均设置在密封板与立板之间。优选地,所述加热管为圆管式电加热管,电加热管通过管卡均匀的固定连接在所述两个安装板朝向放置板的两侧。优选地,所述动力装置包括倒着设置的L形支撑板,L形支撑板竖直固定连接在箱体的上侧并靠近转动轴设置,所述L形支撑板的下侧设有电机,电机的主轴竖直向下设置并固定连接水平设置的主动齿轮,所述转动轴的上端外侧套接水平设置的从动齿环,从动齿环与所述主动齿轮相啮合。优选地,所述放置板上方靠近密封板的一侧对称设有水平设置的定位槽,每个定位槽内均放置水平设置的网框,每个网框的外侧均对称设有把手,所述密封板朝向开口的一侧设有密封垫。优选地,所述基板下侧的四个拐角处均固定连接竖直设置的支撑腿。与现有技术相比,本技术的有益效果是:将需要退火的零件放置在放置板上,较小的零件集中放置在网框内,电动伸缩杆推动密封板将放置板推入箱体内,同时通过密封板将开口密封,打开加热管对箱体内加热进行退火,打开电机通过主动齿轮驱动从动齿环带动转动轴转动,转动轴转动能够带动转动杆转动,转动杆转动能够带动安装板一侧的加热管转动,加热管转动能使零件均匀的受热,退火完成后电动伸缩杆拉动密封板将放置板拉出,打开风扇将风吹向退火完成的零件,通过风扇吹出的风能够对退火完成的零件进行快速降温,这样能够方便快速将退火后的零件取走大大的提高了工作效率,同时能够避免退火后零件温度高烫伤操作人员。这样能够解决现有技术中的金属加工用退火炉在使用时,由于退火完后箱体内的温度非常高,退火完成后的零件不易取出稍有不慎就会将操作人员烫伤,且在对一些特别小的零件进行退火时不能够集中放置导致放置零件与取出零件时很慢同时容易掉落,从而影响工作效率的问题。附图说明图1为本技术所提供的一种用于金属加工的退火炉的基本结构示意图;图2为本技术的另一视角示意图;图3为定位槽与网框的示意图;图4为图1的A不放大图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。如图1-4所示,本技术涉及一种用于金属加工的退火炉,包括基板1,所述基板1下侧的四个拐角处均焊接固定连接竖直设置的支撑腿25。所述基板1的上侧固定连接水平设置的箱体2,所述箱体2内底部对称焊接固定连接竖直设置的支撑板11,两个支撑板11上侧滑动配本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种用于金属加工的退火炉,包括基板(1),其特征在于:所述基板(1)的上侧设有水平设置的箱体(2),所述箱体(2)内底部对称固定连接竖直设置的支撑板(11),两个支撑板(11)上侧滑动配合连接水平设置的放置板(3),所述放置板(3)的一端从所述箱体(2)一侧设置的开口(10)穿过并伸出至箱体(2)的外侧,所述基板(1)上方远离箱体(2)的一侧固定连接竖直设置的立板(14),立板(14)远离箱体(2)的一侧设有电动伸缩杆(15),电动伸缩杆(15)的伸缩端水平贯穿立板(14)并固定连接竖直设置的密封板(16),密封板(16)与所述开口(10)相对应设置,所述放置板(3)的伸出端与所述密封板(16)朝向开口(10)的一侧固定连接,所述立板(14)与箱体(2)相对的一侧上方共同固定连接水平设置的横板(18),横板(18)的下侧设有水平设置的风扇(19);/n所述箱体(2)的上侧中心处设有水平设置的轴承槽(4),轴承槽(4)与所述箱体(2)相连通,轴承槽(4)内通过转动轴承(5)转动配合连接竖直设置的转动轴(6),转动轴(6)的下端竖直伸入箱体(2)内并固定连接水平设置的转动杆(7),转动杆(7)下方两侧边缘处均固定连接竖直设置的安装板(8),所述放置板(3)设置在两个安装板(8)之间,两个安装板(8)朝向放置板(3)的两侧均均匀设有加热管(9),在所述转动轴(6)的上端设有用于驱动转动轴(6)转动的动力装置,所述箱体(2)上方一侧边缘处设有排气阀(26)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于金属加工的退火炉,包括基板(1),其特征在于:所述基板(1)的上侧设有水平设置的箱体(2),所述箱体(2)内底部对称固定连接竖直设置的支撑板(11),两个支撑板(11)上侧滑动配合连接水平设置的放置板(3),所述放置板(3)的一端从所述箱体(2)一侧设置的开口(10)穿过并伸出至箱体(2)的外侧,所述基板(1)上方远离箱体(2)的一侧固定连接竖直设置的立板(14),立板(14)远离箱体(2)的一侧设有电动伸缩杆(15),电动伸缩杆(15)的伸缩端水平贯穿立板(14)并固定连接竖直设置的密封板(16),密封板(16)与所述开口(10)相对应设置,所述放置板(3)的伸出端与所述密封板(16)朝向开口(10)的一侧固定连接,所述立板(14)与箱体(2)相对的一侧上方共同固定连接水平设置的横板(18),横板(18)的下侧设有水平设置的风扇(19);
所述箱体(2)的上侧中心处设有水平设置的轴承槽(4),轴承槽(4)与所述箱体(2)相连通,轴承槽(4)内通过转动轴承(5)转动配合连接竖直设置的转动轴(6),转动轴(6)的下端竖直伸入箱体(2)内并固定连接水平设置的转动杆(7),转动杆(7)下方两侧边缘处均固定连接竖直设置的安装板(8),所述放置板(3)设置在两个安装板(8)之间,两个安装板(8)朝向放置板(3)的两侧均均匀设有加热管(9),在所述转动轴(6)的上端设有用于驱动转动轴(6)转动的动力装置,所述箱体(2)上方一侧边缘处设有排气阀(26)。


2.根据权利要求1所述的一种用于金属加工的退火炉,其特征在于:所述每个支撑板(11)的上侧均设有水平设置的滑动槽(12),每个滑动槽(12)内均滑动配合连接滑动块(13),所述放置板(3)远离密封板(16)的下方一侧边缘处与两个滑动块(13)的上侧固定连接。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:肇庆市高要区长祺金属有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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