显示基板及其制作方法、显示装置制造方法及图纸

技术编号:29418982 阅读:5 留言:0更新日期:2021-07-23 23:12
一种显示基板及其制作方法、显示装置,属于显示技术领域。其中,显示基板包括:衬底基板(11);位于衬底基板(11)上的金属图形(13),以及位于金属图形(13)靠近衬底基板(11)一侧的减反图形(12);其中,减反图形(12)的材料包括掺杂有难熔金属的氧化钼,难熔金属的熔点大于温度阈值。能够降低显示基板对环境光的反射。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示基板及其制作方法、显示装置
本公开涉及显示
,特别是指一种显示基板及其制作方法、显示装置。
技术介绍
相关技术的显示基板中,在金属图形的出光侧增加减反图形,以降低显示基板对环境光的反射。
技术实现思路
本公开的实施例提供一种显示基板及其制作方法、显示装置。本公开的实施例提供技术方案如下:一方面,提供一种显示基板,包括:衬底基板;位于所述衬底基板上的金属图形,以及位于所述金属图形靠近所述衬底基板一侧的减反图形;其中,所述减反图形的材料包括掺杂有难熔金属的氧化钼,所述难熔金属的熔点大于温度阈值。可选地,所述温度阈值为2000摄氏度。可选地,所述氧化钼包括二氧化钼和/或三氧化钼,所述难熔金属包括以下至少一种:钽、铌、钛、钨。可选地,所述减反图形中,所述难熔金属与钼的摩尔比为2:100至10:100。可选地,所述减反图形的厚度为30nm~75nm,所述金属图形的厚度为5~500nm。可选地,所述减反图形的厚度与所述金属图形的厚度的比值在0.140~0.160之间。可选地,所述减反图形的厚度与所述金属图形的厚度的比值小于0.115时,根据测量获得的波峰峰值对应的所述显示基板的反射光包含大于600nm波长的光。可选地,所述减反图形的厚度与所述金属图形的厚度的比值小于0.170时,根据测量获得的波峰峰值对应的所述显示基板的反射光包含小于500nm波长的光。可选地,所述减反图形的厚度为50nm~55nm,所述金属图形的厚度为350nm。可选地,所述减反图形的厚度为50nm~55nm,所述显示基板的反射率小于10%。可选地,所述显示基板为阵列基板,所述金属图形为栅金属层图形。可选地,所述金属图形的材料为铜,所述阵列基板还包括源漏金属层图形,所述源漏金属层图形的材料为钼/铝/钼的叠层结构或者铜。可选地,所述难熔金属包括钽,所述减反图形的厚度为54nm,所述栅金属图形的厚度为350nm,所述源漏金属层图形为钼/铝/钼的叠层结构,所述钼/铝/钼三层的厚度分别为15nm、300nm和80nm。可选地,所述难熔金属包括钽,所述减反图形的厚度为54nm,所述栅金属图形的厚度为350nm,所述源漏金属层图形的材料为铜,所述源漏金属层图形的厚度为350nm。可选地,所述显示基板为阵列基板,所述显示基板为阵列基板,所述金属图形包括源漏金属层图形和栅金属层图形,所述金属图形的材料为铜,所述难熔金属包括钽。可选地,所述金属图形的厚度为350nm,所述减反图形的厚度为54nm。本公开实施例还提供了一种显示装置,包括如上所述的显示基板、与所述显示基板对盒设置的彩膜基板以及背光源,所述显示基板位于所述彩膜基板远离所述背光源的一侧。附图说明图1为在金属层上形成减反层的示意图;图2为本公开实施例显示基板的示意图。附图标记4第一光线5第二光线11衬底基板12减反图形13金属图形14栅绝缘层15有源层16源漏金属层图形17钝化层18像素电极19栅金属层图形具体实施方式为使本公开的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。显示基板的信号线以及电极大多采用金属制成,在显示基板关机或者显示黑画面时,环境光经由衬底基板入射后会照射到金属层上,并被金属层反射,这样在黑态下显示基板仍会出射光线。为了降低显示基板对环境光的反射,本实施例提供一种显示基板,如图1所示,显示基板包括衬底基板11,位于衬底基板11上的金属图形13,还包括位于金属图形13靠近衬底基板11一侧的减反图形12,其中,减反图形12与金属图形13紧邻,减反图形12的材料包括掺杂有难熔金属的氧化钼,如图1所示,在环境光照射到金属图形13和减反图形12的表面后,两个表面反射的第二光线5和第一光线4的相位相同,光波在空间相遇发生相消干涉,可以大大降低金属图形13对环境光的反射率。另外,采用氧化钼将金属图形13附着在衬底基板11上,相比于直接将金属图形13形成在衬底基板11上,不但可以增强金属图形13与衬底基板的粘附力,还可以避免金属图形13中的金属离子扩散到衬底基板11中,进一步提高了显示基板的性能。本实施例中,减反图形12采用掺杂有难熔金属的氧化钼制作,其中,难熔金属为熔点大于温度阈值的金属,具体地,温度阈值可以为2000摄氏度。难熔金属包括但不限于钽Ta、铌Nb、钛Ti、钨W等金属。在氧化钼中掺杂难熔金属,可以进一步降低金属图形对环境光的反射,并且通过在氧化钼中掺杂不同的难熔金属,可以在关机画面下实现不同的整体显示颜色,满足用户的多样化需求,所述减反图形12中,所述难熔金属与钼的摩尔比为2:100至10:100。通过调整难熔金属与钼的摩尔比,可以调整显示基板对环境光的反射率;还可以在关机画面下使得显示基板显示不同的颜色。具体地,氧化钼包括二氧化钼和/或三氧化钼,二氧化钼和三氧化钼具有高电导率,采用二氧化钼和/或三氧化钼制作减反图形,减反图形具有导电性,与金属图形并联,还能够降低金属图形的电阻,进一步提高显示基板的性能。由于铜具有良好的导电性,因此,金属图形13可以采用铜制作,当然金属图形13并不局限于采用铜,还可以采用其他具有良好导电性能的金属或者合金,比如金属图形13还可以采用MoNb和Cu的合金、Al、Mo和Al的合金,金属图形13还可以采用Mo/Al/Mo的叠层结构,在显示基板为阵列基板时,金属图形13可以为阵列基板的栅金属层图形,也可以为阵列基板的源漏金属层图形。其中,所述减反图形12的厚度被设置为使得在所述减反图形12的上下表面反射光的光程差为反射光的半波长的奇数倍,所述减反图形12的厚度满足:2*n*h=(2k-1)*(λ/2);(1)其中,n为所述减反图形12的折射率,n的取值可以为2.2~2.3,h为所述减反图形12的膜厚,k为正整数,λ为入射光的波长。这样在环境光照射到金属图形13和减反图形12的表面后,减反图形12上下表面反射的光线会干涉相消,从而实现减反射。具体地,减反图形12的厚度可以根据入射的光线的波长进行调整,只要能够确保减反图形12的上下表面反射光的光程差为反射光的半波长的奇数倍即可,由于可见光的波长大多在550nm附近,且大部分的光线是垂直入射减反图形12,因此上述公式(1)中的λ可以为550nm,在λ等于550nm,k=1时,显示基板对波长为450-600nm的光线的反射率可以降到10%以下,能够极大地降低显示基板对环境光的反射。具体地,所述减反图形12的厚度可以为30nm~75nm,所述金属图形13的厚度可以为5~500nm,减反图形12的厚度和组成决定了显示基板在关机画面下的颜色和反射率。具体地,所述减反图形12的厚度与所述金属图形13的厚度的比本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板,包括:/n衬底基板;/n位于所述衬底基板上的金属图形,以及/n位于所述金属图形靠近所述衬底基板一侧的减反图形;/n其中,所述减反图形的材料包括掺杂有难熔金属的氧化钼,所述难熔金属的熔点大于温度阈值。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】一种显示基板,包括:
衬底基板;
位于所述衬底基板上的金属图形,以及
位于所述金属图形靠近所述衬底基板一侧的减反图形;
其中,所述减反图形的材料包括掺杂有难熔金属的氧化钼,所述难熔金属的熔点大于温度阈值。


根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述温度阈值为2000摄氏度。


根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述氧化钼包括二氧化钼和/或三氧化钼,所述难熔金属包括以下至少一种:钽、铌、钛、钨。


根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述减反图形中,所述难熔金属与钼的摩尔比为2:100至10:100。


根据权利要求1-4中任一项所述的显示基板,其中,所述减反图形的厚度为30nm~75nm,所述金属图形的厚度为5~500nm。


根据权利要求5所述的显示基板,其中,所述减反图形的厚度与所述金属图形的厚度的比值在0.140~0.160之间。


根据权利要求5所述的显示基板,其中,所述减反图形的厚度与所述金属图形的厚度的比值小于0.115时,根据测量获得的波峰峰值对应的所述显示基板的反射光包含大于600nm波长的光。


根据权利要求5所述的显示基板,其中,所述减反图形的厚度与所述金属图形的厚度的比值小于0.170时,根据测量获得的波峰峰值对应的所述显示基板的反射光包含小于500nm波长的光。


根据权利要求5所述的显示基板,其中,所述减反图形的厚度为50nm~55nm,所述金属图形的厚度为350nm。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:张小祥韩皓贾宜訸杨连捷丁向前宋勇志
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司北京京东方显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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