【技术实现步骤摘要】
一种柔性人工突触器件及其制备方法
本申请属于人工突触器件
,尤其涉及一种柔性人工突触器件及其制备方法。
技术介绍
忆阻器是除电阻器、电容器、电感器之外的第四种无源电子元件,根据忆阻器理论,其代表磁通量与电荷之间的关系,器件阻值能够随流经它的电荷量而发生动态变化,且能保持这种阻值状态。忆阻器因其独特电学性质而备受关注,并在诸多领域展现出广阔的前景。例如,忆阻器能在电场诱导下发生高电阻态与低电阻态之间的可逆转变(即:数字型忆阻器),其高速度、高密度、良好信息保持等特性使其有望发展为新型阻变随机存储器件(RRAM)。另一方面,忆阻器能够在电场作用下实现电阻态的连续调节(即:模拟型忆阻器),与神经突触的非线性传输特性高度相似。因此,忆阻器被认为是仿生神经突触的理想选择之一,并促进了人工神经网络系统的发展。当前忆阻特性能在多种材料中实现,包括有机物、过渡金属氧化物、钙钛矿金属氧化物、硫化物等。然而,目前的忆阻器还存在器件单元的阻变倍率较小,操作电流偏大的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此,本申请提供了 ...
【技术保护点】
1.一种柔性人工突触器件,其特征在于,包括基片,所述基片上依次沉积有底电极和顶电级;/n所述底电极上沉积有氧化钨薄膜;/n所述氧化钨的化学表达式为WO
【技术特征摘要】
1.一种柔性人工突触器件,其特征在于,包括基片,所述基片上依次沉积有底电极和顶电级;
所述底电极上沉积有氧化钨薄膜;
所述氧化钨的化学表达式为WOx,其中0<x<3。
2.根据权利要求1所述的柔性人工突触器件,其特征在于,所述底电极选自金、银、铜、铝、铂或铟锡氧化物,所述顶电级选自金、银、铝或铜,所述基片选自PET或云母。
3.根据权利要求1所述的柔性人工突触器件,其特征在于,所述氧化钨薄膜的厚度为100~200nm。
4.根据权利要求1所述的柔性人工突触器件,其特征在于,所述柔性人工突触器件的结电阻为17~131KΩ,阈值电流为1mA。
5.根据权利要求1所述的柔性人工突触器件,其特征在于,所述柔性人工突触器件在施加电压幅值为2V,时间间隔为500ms时的循环时间为90s。
6.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐振华,张莉,胡松程,姚帝杰,刘志钢,
申请(专利权)人:广东工业大学,
类型:发明
国别省市:广东;44
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