【技术实现步骤摘要】
浆杆装置及镀膜设备
本专利技术涉及光伏生产设备领域,特别涉及一种浆杆装置及镀膜设备。
技术介绍
随着太阳能的不断发展,相关的光伏产品需求量也越来越大,对光伏设备的要求也越来越高。管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备是目前市场上应用非常普遍的一种光伏镀膜设备。浆杆机构是管式PECVD设备的一个重要部件,浆杆机构的作用是将载有硅片的石墨舟送入并放置在炉管之中,然后将浆杆机构退出炉管,待石墨舟中的硅片在炉管之中完成镀膜等工艺后,再将浆杆机构伸入炉管将载有硅片的石墨舟取出。而在浆杆机构的一端承载了石墨舟之后下垂变形,桨在承载石墨舟之后会承载石墨舟的一端容易产生下垂,卸去石墨舟之后由于失去重力压力会导致原先承载石墨舟的一端产生上扬,浆杆机构如此产生频繁上扬和下垂,增加了浆杆的故障率,使得桨杆使用寿命大大缩短。
技术实现思路
基于此,有必要针对传统浆杆机构产品故障率高、使用寿命短的问题,提供一种稳定效果较好、故障率小的浆杆装置及镀膜设备。一种浆杆装置,包括:安装底座; ...
【技术保护点】
1.一种浆杆装置,其特征在于,包括:/n安装底座;/n浆杆组件,所述浆杆组件包括作为其纵长两端的调节端和承载端,所述调节端装配于所述安装底座上,所述承载端用于承载待承载件;/n支撑件,所述支撑件与所述浆杆组件转动连接,且位于所述调节端和所述承载端之间;/n调节组件,所述调节组件与所述调节端传动连接,所述调节组件被构造为用于带动所述调节端在第一方向上运动,以使得所述浆杆组件绕所述支撑件转动;/n其中,所述第一方向与所述浆杆组件的纵长方向相交。/n
【技术特征摘要】
1.一种浆杆装置,其特征在于,包括:
安装底座;
浆杆组件,所述浆杆组件包括作为其纵长两端的调节端和承载端,所述调节端装配于所述安装底座上,所述承载端用于承载待承载件;
支撑件,所述支撑件与所述浆杆组件转动连接,且位于所述调节端和所述承载端之间;
调节组件,所述调节组件与所述调节端传动连接,所述调节组件被构造为用于带动所述调节端在第一方向上运动,以使得所述浆杆组件绕所述支撑件转动;
其中,所述第一方向与所述浆杆组件的纵长方向相交。
2.根据权利要求1所述的浆杆装置,其特征在于,所述浆杆组件具有承载状态及卸载状态;
当所述浆杆组件处于承载状态,所述调节组件能够带动所述调节端运动,以使所述浆杆组件绕所述支撑件沿第一旋向转动,以抬高所述承载端;
当所述浆杆组件处于卸载状态,所述调节组件能够带动所述调节端运动,以使所述浆杆组件绕所述支撑件沿与所述第一旋向相反的第二旋向转动,以降低所述承载端。
3.根据权利要求1-2任一项所述的浆杆装置,其特征在于,所述调节组件包括调节件,所述调节件与所述调节端传动连接;
所述调节件被构造为能够带动所述调节端在所述第一方向上运动。
4.根据权利要求3所述的浆杆装置,其特征在于,所述调节组件还包括驱动件,所述驱动件与所述调节件驱动连接,以驱动所述调节件带动所述调节端在所述第一方向上运动。
5.根据权利要求4所述的浆杆装置,其特征在于,所述调节件包括主动齿轮和从动齿轮,所述驱...
【专利技术属性】
技术研发人员:田玉峰,郑中伟,毛文瑞,
申请(专利权)人:江苏微导纳米科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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