一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法，属于靶材回收及制备领域。本发明专利技术所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法先将ITO废靶坯粉碎至特定颗粒尺寸，随后经过热处理去除粉末中多余的添加剂杂质，最后与球磨助剂按比例混合后进行球磨制粉，所得产品颗粒均匀且密度较高；所述方法无需添加额外新粉原料，操作步骤简单，设备要求低，生产效率及得率高，制备成本低廉。本发明专利技术还公开了由所述方法制备的ITO粉末；本发明专利技术还公开了一种ITO废靶坯回收制备ITO靶材的方法。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法
本专利技术涉及靶材回收及制备领域，具体涉及一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法。
技术介绍
目前工业生产批量ITO靶材过程中，ITO粉在CP(干压)/CIP(冷等静压)成型时会产生大量废靶坯，这些废料不能用于烧结成靶材，致使大量ITO靶坯不能够直接应用，原料利用率降低；而现有技术中，大多数企业对这些ITO废靶坯采用传统的提纯回收法进行处理，即先将ITO废靶坯回收提纯制备铟锭，然后经硝酸法或电解法制备氧化铟，最后经球磨制备ITO粉末及后续靶材，然而这种方法不仅工序繁杂，而且会导致资源的浪费；而为提高产品的纯度，回收利用的材料往往需要搭配新粉一同制备靶材，增加了企业回收再利用的成本。
技术实现思路
基于现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，该方法直接将ITO废靶坯粉碎，经过特殊热处理后采用球磨法制备ITO粉末，无需加入额外新粉即可制备高纯度高收率产品；所述方法操作步骤简单，设备要求低且制备成本低。为了达到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)将CIP或CP后的ITO废靶坯进行粗破碎处理，得废靶坯颗粒A；所述废靶坯颗粒A的粒径D

【技术特征摘要】
1.一种ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将CIP或CP后的ITO废靶坯进行粗破碎处理，得废靶坯颗粒A；所述废靶坯颗粒A的粒径D50＝1～5cm；
(2)将步骤(1)所得废靶坯颗粒A进行精细粉碎后过筛，得精细颗粒B；所述过筛的筛网目数为80目；
(3)将步骤(2)所得精细颗粒B置入马弗炉并升温至200～600℃保温热处理15～40h，得热处理后的粉末C；所述粉末C的碳含量为50～150ppm；
(4)将步骤(3)所得粉末C置入球磨机中，加入纯水、消泡剂、粘结剂和分散剂混合均匀后进行球磨处理，得浆料D；所述粉末C、粘结剂与分散剂的质量之比为10：(1～5)：(0.1～1)；
(5)将步骤(4)所得浆料D采用喷雾干燥塔喷雾干燥处理后，经混料、过筛，即得所述ITO粉末。


2.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(2)所述精细颗粒B的颗粒粒径D50＝50～500μm。


3.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(3)所述升温的温度为400～500℃，保温热处理的时间为20～30h，所述粉末C的碳含量为50～70ppm。


4.如权利要求1所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法，其特征在于，步骤(4)所述球磨处理的时间为30～60h...

【专利技术属性】
技术研发人员：张来稳，邵学亮，李开杰，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44