【技术实现步骤摘要】
一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用
本专利技术涉及团簇束流沉积装置领域，尤其是涉及一种便于对中的团簇束流过滤器及其应用。
技术介绍
团簇束流沉积技术是最近几十年来发展起来的纳米结构与功能薄膜精细制备的先进手段，是一种过程简单、高效、快速和低成本的技术。同时，所形成的纳米结构具有高纯、稳定等显著优点，受到学界和业界广泛关注。团簇束流沉积系统制备纳米材料的主要流程包括：(1)在冷凝腔中，通过溅射、激光烧蚀、弧光放电或热蒸发等手段产生高密度靶材原子气；(2)靶材原子气在冷凝室中，与缓冲气体相互碰撞释放能量，成核生长成为团簇粒子；(3)团簇粒子在差分真空系统下，随惰性气体通过喷嘴等熵膨胀形成团簇束流；(4)再经过过滤器，过滤掉一部分团簇粒子，使其余部分进入高真空沉积室内，形成高度定向的尺寸分布更均一的团簇粒子束流。例如，一种在中国专利文献上公开的“WO3团簇束流沉积系统及利用其制备WO3薄膜的方法”，其公开号CN103789738A，包括：壳体，在所述壳体内从前至后依次设置有团簇源室、第一级差分真空室、第二级差分真空室和沉积室，在...
【技术保护点】
1.一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，包括主体构件和对中辅助构件，所述主体构件包括设置在安装平面（9）上的环形底座（1）、用于固定环形底座的固定环（2）以及与环形底座可拆卸连接的过滤锥（3）；所述环形底座靠近安装平面的一端外侧设有外台阶环（101），所述固定环上设有安装孔（201），固定环的内侧设有内台阶环（202），所述固定环套设在环形底座外，通过穿过安装孔的第一连接件（4）与安装平面连接，所述环形底座与固定环的内壁之间间隙配合，环形底座上的外台阶环顶面与固定环上的内台阶环顶面相贴合；所述过滤锥与环形底座远离安装平面的一端可拆卸连接；所述对中辅助构件包括对中辅助环（...
【技术特征摘要】
1.一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，包括主体构件和对中辅助构件，所述主体构件包括设置在安装平面（9）上的环形底座（1）、用于固定环形底座的固定环（2）以及与环形底座可拆卸连接的过滤锥（3）；所述环形底座靠近安装平面的一端外侧设有外台阶环（101），所述固定环上设有安装孔（201），固定环的内侧设有内台阶环（202），所述固定环套设在环形底座外，通过穿过安装孔的第一连接件（4）与安装平面连接，所述环形底座与固定环的内壁之间间隙配合，环形底座上的外台阶环顶面与固定环上的内台阶环顶面相贴合；所述过滤锥与环形底座远离安装平面的一端可拆卸连接；所述对中辅助构件包括对中辅助环（5）和与对中辅助环内径相匹配的、套设在对中辅助环内的对中辅助棒（6）；所述对中辅助环与环形底座可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述过滤锥顶端开口，内部中空，过滤锥底部设有向远离轴线的方向延伸的过滤锥连接部（301），所述过滤锥连接部与环形底座通过第二连接件（7）可拆卸连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述过滤锥底部设有与环形底座的内径相匹配的卡接凸起（302），所述卡接凸起卡位于环形底座内。
4.根据权利要求1或2所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述过滤锥与环形底座的轴线相重合。
5.根据权利要求1所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述对中辅助环包括环形本体（501）以及由环形本体顶部向远离环形本体轴线方向延伸形成的辅助环连接部（502），所述环形本体套设在环形底座内，环形本体的外径与环形底座的内径相匹配，所述辅助环连接部与环形底座顶部通过第二连接件可拆卸连接。
6.根据权利要求1或5所述的一种便于对中的团簇束流过滤器，其特征是，所述对中辅助环、对中辅助棒及环形底座的轴线相重合。
7.根据权利要求2或5所述的一种便于对中的团簇...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡军，谢波，陈敏瑞，丁伯胜，王一涛，
申请(专利权)人：浙江工业大学，浙江固微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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