一种微薄片式音叉晶体片及音叉晶体谐振器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种微薄片式音叉晶体片及音叉晶体谐振器，音叉晶体片包括固定部和振动部，振动部的两振动臂包括振动臂连接区段及激光调频区段，固定部的表面形成有两安装电极，振动臂连接区段表面形成有与安装电极对应连接的电极图形。靠近固定部的任一振动臂连接区段内壁表面端部的电极分别朝振动臂连接区段的上下表面延伸形成有凹槽拐角电极。振动臂连接区段的上下表面均开设有谐振臂凹槽单元，其中的第一凹槽和第二凹槽顶端平齐设置，第一凹槽设于靠近内壁表面一端，且第一凹槽的底端延伸至凹槽拐角的横截面上方，第一凹槽和第二凹槽内形成凹槽电极。该微薄片式音叉晶体片提升了晶片的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种微薄片式音叉晶体片及音叉晶体谐振器
本技术涉及晶体振荡器，尤其涉及一种微薄片式音叉晶体片及音叉晶体谐振器。
技术介绍
石英音叉晶体谐振器产生32.768KHz信号，经过15次分频后产生标准1秒钟脉冲信号，用于电子系统时钟计时，称之为RTC(Real-timeclock),电子系统重要的单元模块，是手机、电脑、智能手环、智能家电、健康医疗器件、手表、钟表必备功能模块。音叉晶体谐振器件功耗低，只有几微瓦，计时使用分频触发器少，在系统休眠时只要一颗纽扣电池就可以工作5～7年，是系统省电模式下工作，唤醒的核心器件，因此在现在电子系统中作用显著，使用广泛，用量十分巨大。现有的石英晶体按尺寸规格分为大型、中型、小型三种，国内目前只有制作大中型石英晶体，小型石英晶体基本被日本厂家垄断，随着电子产品的小型化，电子器件向微型化，超薄型方向发展。国内的石英音叉晶体谐振器也随之向这微型化，超薄型方向发展。现有的音叉石英晶体片通常具有固定部和从固定部一端向外延伸的振动部，振动部包括有两个振动臂，振动臂相对于石英晶片的中轴对称，两个振动臂的宽度和长度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微薄片式音叉晶体片，其特征在于，包括：固定部，经由固定部一端向外延伸的振动部，振动部包括两个对称设置的振动臂，两个所述振动臂均包括相互连接的振动臂连接区段以及激光调频区段，固定部的表面形成有两分隔设置的安装电极，振动臂连接区段表面形成有与安装电极对应的电极图形，安装电极分别与振动部上的电极图形对应连接，所述固定部的宽度大于所述振动部的宽度设置；/n所述电极图形包括形成于所述振动臂连接区段内壁表面的电极，靠近所述固定部的任一所述振动臂连接区段内壁表面端部的电极分别朝所述振动臂连接区段的上下表面延伸形成有凹槽拐角电极；/n所述振动臂连接区段的上下表面均开设有经腐蚀工艺形成的谐振臂凹槽单元，...

【技术特征摘要】
1.一种微薄片式音叉晶体片，其特征在于，包括：固定部，经由固定部一端向外延伸的振动部，振动部包括两个对称设置的振动臂，两个所述振动臂均包括相互连接的振动臂连接区段以及激光调频区段，固定部的表面形成有两分隔设置的安装电极，振动臂连接区段表面形成有与安装电极对应的电极图形，安装电极分别与振动部上的电极图形对应连接，所述固定部的宽度大于所述振动部的宽度设置；
所述电极图形包括形成于所述振动臂连接区段内壁表面的电极，靠近所述固定部的任一所述振动臂连接区段内壁表面端部的电极分别朝所述振动臂连接区段的上下表面延伸形成有凹槽拐角电极；
所述振动臂连接区段的上下表面均开设有经腐蚀工艺形成的谐振臂凹槽单元，所述谐振臂凹槽单元包括平行且间隔设置的第一凹槽以及第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽顶端平齐设置，所述第一凹槽设于靠近所述内壁表面一端，且所述第一凹槽的底端延伸至所述凹槽拐角的横截面上方，所述电极图形还包括形成于所述第一凹槽和所述第二凹槽内的凹槽电极，以供增加所述振动臂连接区段的电极面积。


2.根据权利要求1所述的微薄片式音叉晶体片，其特征在于，靠近所述固定部的所述振动臂连接区段外壁朝外渐扩形成有谐振臂R型过渡面以及呈台阶状的凸台；所述凸台与固定部连接处的外侧表面朝内凹陷形成有槽状缺口，所述槽状缺口的深度大于所述凸台的厚度设置。


3.根据权利要求1所述的微薄片式音叉晶体片，其特征在于，所述固定部的相对两外侧面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：喻信东，黄祥秒，钟院华，张小伟，万杨，汪晓虎，谢凡，
申请(专利权)人：泰晶科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42