一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器制造技术

本实用新型专利技术提出了一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，包括加热体和导流体，所述加热体包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属以及依次包覆在泡沫金属外侧的铜环和环形电缆，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体与加热体相连，用于将经加热体加热后的氮气送入半导体管道中。本实用新型专利技术通过采用孔隙度高达90％以上的泡沫金属作为交换媒介，泡沫金属具有孔隙比表面积大，通气性高等独特的结构特点，增加了接触面积，热效率更高，环形电缆结构，电缆本身不会产生热量，使用寿命大大增加；采用热电偶感应探头，能准确感应氮气温度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器
本技术涉及电磁氮气加热器，尤其涉及一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器。
技术介绍
现有电阻式氮气加热器利用电流的热效应原理使加热管发热，氮气流经加热管，带走热量，从而达到加热氮气的功能。电阻式氮气加热装置，用加热管发热，常用加热管使用寿命约两年。由于电阻式氮气加热装置的加热体直接与管道连接，管道中的化学气体会在一定程度上造成元件损伤，使其寿命更短。电阻式氮气加热装置先利用电流的热效应原理使加热管发热，氮气流经加热管，带走热量，热效率在60％左右，严重浪费电能。为了保持氮气流通，加热管多为螺旋状，氮气流经时，作为热交换媒介，接触面积小，升温速度很慢。热电偶的感应探头与加热管接触，感应的是加热管的温度，不是氮气的温度，无法精准提供客户所需求温度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷，本技术提出了一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，在高效节能以及控温准确的情况下，使得电磁式氮气加热器的加热体使用寿命增长。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，其特征在于，包括加热体(1)和导流体(2)，所述加热体(1)包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属(3)以及依次包覆在泡沫金属(3)外侧的铜环(4)和环形电缆(5)，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体(2)与加热体(1)相连，用于将经加热体(1)加热后的氮气送入半导体管道中。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，其特征在于，包括加热体(1)和导流体(2)，所述加热体(1)包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属(3)以及依次包覆在泡沫金属(3)外侧的铜环(4)和环形电缆(5)，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体(2)与加热体(1)相连，用于将经加热体(1)加热后的氮气送入半导体管道中。


2.根据权利要求1所述的用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，其特征在于，所述导流体(2)包括位于内部的中空圆柱形主体(8)以及套装在主体(8)外部的连接套(9)，所述连接套(9)内壁与主体(8)外壁形成环形腔室，环形腔室与主体(8)内腔连通；所述连接套(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴昊，
申请(专利权)人：摩尔机电工程无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32