一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器制造技术

本实用新型专利技术提出了一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，包括加热体和导流体，所述加热体包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属以及依次包覆在泡沫金属外侧的铜环和环形电缆，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体与加热体相连，用于将经加热体加热后的氮气送入半导体管道中。本实用新型专利技术通过采用孔隙度高达90％以上的泡沫金属作为交换媒介，泡沫金属具有孔隙比表面积大，通气性高等独特的结构特点，增加了接触面积，热效率更高，环形电缆结构，电缆本身不会产生热量，使用寿命大大增加；采用热电偶感应探头，能准确感应氮气温度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器
本技术涉及电磁氮气加热器，尤其涉及一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器。
技术介绍
现有电阻式氮气加热器利用电流的热效应原理使加热管发热，氮气流经加热管，带走热量，从而达到加热氮气的功能。电阻式氮气加热装置，用加热管发热，常用加热管使用寿命约两年。由于电阻式氮气加热装置的加热体直接与管道连接，管道中的化学气体会在一定程度上造成元件损伤，使其寿命更短。电阻式氮气加热装置先利用电流的热效应原理使加热管发热，氮气流经加热管，带走热量，热效率在60％左右，严重浪费电能。为了保持氮气流通，加热管多为螺旋状，氮气流经时，作为热交换媒介，接触面积小，升温速度很慢。热电偶的感应探头与加热管接触，感应的是加热管的温度，不是氮气的温度，无法精准提供客户所需求温度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷，本技术提出了一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，在高效节能以及控温准确的情况下，使得电磁式氮气加热器的加热体使用寿命增长。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，包括加热体和导流体，所述加热体包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属以及依次包覆在泡沫金属外侧的铜环和环形电缆，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体与加热体相连，用于将经加热体加热后的氮气送入半导体管道中。进一步地，所述导流体包括位于内部的中空圆柱形主体以及套装在主体外部的连接套，所述连接套内壁与主体外壁形成环形腔室，环形腔室与主体内腔连通；所述连接套侧壁上还开设有导流体进气口与加热体相连，用于接收加热后的氮气；所述主体两端均固定有用于与半导体管道相连的连接法兰。进一步地，还包括热电偶，所述连接套上还开设有热电偶安装口，热电偶穿过热电偶安装口进入环形腔室内，用于测量环形腔室内氮气温度；所述热电偶与显示屏相连，用于显示氮气温度。进一步地，所述保温装置包括玻璃纤维棉和不锈钢主体，所述玻璃纤维棉和不锈钢主体依次包覆在环形电缆外侧。与现有技术相比，本技术的有益效果包括：1)采用环形电缆结构，电缆本身不会产生热量，并可承受500℃以上高温，使用寿命大大增加。2)通过采用孔隙度高达90％以上的泡沫金属作为交换媒介，泡沫金属具有孔隙比表面积大，通气性高等独特的结构特点，增加了接触面积，热效率更高。3)通过采用热电偶感应探头，能准确感应氮气温度，从提供客户所需求的精准温度。附图说明参照附图来说明本技术的公开内容。应当了解，附图仅仅用于说明目的，而并非意在对本技术的保护范围构成限制。在附图中，相同的附图标记用于指代相同的部件。其中：图1示意性显示了根据本技术一个实施方式提出的一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器的加热体结构示意图。图2示意性显示了根据本技术一个实施方式提出的一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器的整体结构示意图。图中标号：1-加热体，2-导流体，3-泡沫金属，4-铜环，5-电缆，6-玻璃纤维棉，7-不锈钢主体，8-主体，9-连接套，10-热电偶。具体实施方式容易理解，根据本技术的技术方案，在不变更本技术实质精神下，本领域的一般技术人员可以提出可相互替换的多种结构方式以及实现方式。因此，以下具体实施方式以及附图仅是对本技术的技术方案的示例性说明，而不应当视为本技术的全部或者视为对本技术技术方案的限定或限制。根据本技术的一实施方式结合图1示出，一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，包括加热体1以及导流体2，加热体1包括圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置；加热装置包括位于中心的圆柱形泡沫金属3，为对泡沫金属3进行固定，与泡沫金属3外侧包覆有铜环4且铜环4外缠绕有环形电缆5，电缆5通电后，产生交变磁场，泡沫金属3可被位于铜环4外侧的环形电缆5产生的高边磁场切割从而发热，对流经加热体1的氮气进行加热。上述泡沫金属3优选泡沫镍。上述环形电缆5外侧设置有保温装置，保温装置包括玻璃纤维棉6以及不锈钢主体7，玻璃纤维棉6包覆于环形电缆5外侧，对加热体1即泡沫金属3进行保温；于玻璃纤维棉6外侧还设置有固定上述结构的不锈钢主体7。上述加热体1整体位于一中空圆柱形壳体内，圆柱形壳体两端分别设置有冷氮气接口以及导流体2进气口，冷氮气通过加热体1加热后送至导流体2中。根据本技术的一实施方式结合图2示出，导流体2包括位于内部的中空圆柱形主体8以及套装在主体8外侧的连接套9，连接套9直径大于主体8直径，使得连接套9内壁与主体8外壁配合形成环形腔室。主体8上开设有通孔，使得腔室与主体8连通。连接套9外壁上设置有导流体2进气口与加热体1相连，经加热体1加热后的氮气经导流体2进气口进入导流体2环形腔室内，经康达效应，热氮气流有偏离原本流动方向，改为随着主体8外壁的物体表面流动的倾向，从而使得热氮气流沿一定方向进行运动，成为气体流速更大的热氮气流，再经位于主体8侧壁上的通孔进入主体8内腔中。主体8两端还均固定有连接法兰，主体8通过连接法兰将导流体2与半导体管道固定连接，进而提供热氮气流对半导体管道进行除粉。上述连接套9上还设置有热电偶10安装口，采用K型热电偶10，通过热电偶10安装口进入环形腔室内，检测热氮气的温度信号，将热氮气的温度信号转换成电动势信号，传输至与其相连的显示屏上，显示热氮气温度数值。本实施例中，高速变化的高频高压电流流过缠绕在铜环4上的环形电缆5会产生高速变化得交变磁场，泡沫金属3聚集切割交变磁力线产生交变的涡流，涡流使其载流子高速无规则运动，载流子互相碰撞、摩擦而产生内能。因电磁只能加热铁，镍和钴，故铜环4不会被加热，且铜环4可以很好地使线圈和泡沫镍分离，并让泡沫镍处于电磁中心。通过采用孔隙度高达90％以上的泡沫金属3作为交换媒介，泡沫金属3具有孔隙比表面积大，通气性高等独特的结构特点，增加了接触面积，热效率更高，且玻璃纤维棉6的设计能够有效的防止热量的流失，使得对氮气的加热效率更优秀。采用环形电缆5结构，电缆5本身不会产生热量，并可承受500℃以上高温，使用寿命大大增加。本技术的技术范围不仅仅局限于上述说明中的内容，本领域技术人员可以在不脱离本技术技术思想的前提下，对上述实施例进行多种变形和修改，而这些变形和修改均应当属于本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，其特征在于，包括加热体(1)和导流体(2)，所述加热体(1)包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属(3)以及依次包覆在泡沫金属(3)外侧的铜环(4)和环形电缆(5)，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体(2)与加热体(1)相连，用于将经加热体(1)加热后的氮气送入半导体管道中。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，其特征在于，包括加热体(1)和导流体(2)，所述加热体(1)包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置，所述加热装置包括圆柱形泡沫金属(3)以及依次包覆在泡沫金属(3)外侧的铜环(4)和环形电缆(5)，保温装置包覆于加热装置外侧；所述导流体(2)与加热体(1)相连，用于将经加热体(1)加热后的氮气送入半导体管道中。


2.根据权利要求1所述的用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器，其特征在于，所述导流体(2)包括位于内部的中空圆柱形主体(8)以及套装在主体(8)外部的连接套(9)，所述连接套(9)内壁与主体(8)外壁形成环形腔室，环形腔室与主体(8)内腔连通；所述连接套(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴昊，
申请(专利权)人：摩尔机电工程无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32