一种芯片加工切面抛光设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片加工切面抛光设备，包括底板以及固定设置于底板一侧的三角形延伸板，所述底板底端的四角均固定焊接有支撑腿，且支撑腿远离底板的一端粘接设置有防滑垫，所述底板的顶端远离三角形延伸板的一侧开设有放置槽，且底板的顶端远离放置槽的一侧对称开设有多组供T型滑块滑动设置的T型滑槽，所述放置槽内活动设置有定位板，且定位板的一侧固定设置有抵接底板的活动板，多组所述T型滑块的顶端固定焊接有底座，且底座顶端的两侧均居中开设有定位槽。该芯片加工切面抛光设备，可收纳待加工的晶圆，便于工作人员取用，提升了工作效率，还方便了工作人员取下并更换晶圆，省时省力，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片加工切面抛光设备
本技术属于芯片加工设备
，具体涉及一种芯片加工切面抛光设备。
技术介绍
众所周知，芯片加工过程中需要对柱状的晶圆切段，然后对晶圆的切面进行抛光，芯片加工用切面抛光装置的是一种用于晶圆加工过程中对晶圆的切面进行抛光的辅助装置，其在半导体加工的领域中得到了广泛的使用。现有的芯片加工切面抛光设备在使用时还存在着一些问题：1、将抛光完成的晶圆取下时，需要关闭设备，才可取下晶圆并更换，费时费力，降低了生产效率；2、无法对待抛光的晶圆进行收纳，还需通过其他设备收纳，不便于工作人员取用，给工作人员带来了极大的不便，导致工作效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种芯片加工切面抛光设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片加工切面抛光设备，包括底板以及固定设置于底板一侧的三角形延伸板；所述底板底端的四角均固定焊接有支撑腿，且支撑腿远离底板的一端粘接设置有防滑垫，所述底板的顶端远离三角形延伸板的一侧开设有放置槽，且底板的顶端远离放置槽的一侧对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片加工切面抛光设备，包括底板(1)以及固定设置于底板(1)一侧的三角形延伸板(2)；/n其特征在于：所述底板(1)底端的四角均固定焊接有支撑腿(101)，且支撑腿(101)远离底板(1)的一端粘接设置有防滑垫，所述底板(1)的顶端远离三角形延伸板(2)的一侧开设有放置槽(3)，且底板(1)的顶端远离放置槽(3)的一侧对称开设有多组供T型滑块(4)滑动设置的T型滑槽；/n所述放置槽(3)内活动设置有定位板(301)，且定位板(301)远离底板(1)的一侧固定设置有抵接底板(1)的活动板(302)；/n多组所述T型滑块(4)的顶端固定焊接有底座(401)，且底座(401)顶端的两侧均居中...

【技术特征摘要】
1.一种芯片加工切面抛光设备，包括底板(1)以及固定设置于底板(1)一侧的三角形延伸板(2)；
其特征在于：所述底板(1)底端的四角均固定焊接有支撑腿(101)，且支撑腿(101)远离底板(1)的一端粘接设置有防滑垫，所述底板(1)的顶端远离三角形延伸板(2)的一侧开设有放置槽(3)，且底板(1)的顶端远离放置槽(3)的一侧对称开设有多组供T型滑块(4)滑动设置的T型滑槽；
所述放置槽(3)内活动设置有定位板(301)，且定位板(301)远离底板(1)的一侧固定设置有抵接底板(1)的活动板(302)；
多组所述T型滑块(4)的顶端固定焊接有底座(401)，且底座(401)顶端的两侧均居中开设有定位槽。


2.根据权利要求1所述的一种芯片加工切面抛光设备，其特征在于：所述三角形延伸板(2)的顶端远离放置槽(3)的一侧居中设置有承重柱(201)，且承重柱(201)的顶端固定焊接有支撑柱(202)，所述支撑柱(202)的顶端远离承重柱(201)的一侧居中设置有电动伸缩杆(5)，且电动伸缩杆(5)的活塞杆穿过支撑柱(202)固定连接有安装板(501)。


3.根据权利要求2所述的一种芯片加工切面抛光设备，其特征在于：所述安装板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：程进，
申请(专利权)人：苏州芯海半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32