一种芯片加工切面抛光设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片加工切面抛光设备，包括底板以及固定设置于底板一侧的三角形延伸板，所述底板底端的四角均固定焊接有支撑腿，且支撑腿远离底板的一端粘接设置有防滑垫，所述底板的顶端远离三角形延伸板的一侧开设有放置槽，且底板的顶端远离放置槽的一侧对称开设有多组供T型滑块滑动设置的T型滑槽，所述放置槽内活动设置有定位板，且定位板的一侧固定设置有抵接底板的活动板，多组所述T型滑块的顶端固定焊接有底座，且底座顶端的两侧均居中开设有定位槽。该芯片加工切面抛光设备，可收纳待加工的晶圆，便于工作人员取用，提升了工作效率，还方便了工作人员取下并更换晶圆，省时省力，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片加工切面抛光设备
本技术属于芯片加工设备
，具体涉及一种芯片加工切面抛光设备。
技术介绍
众所周知，芯片加工过程中需要对柱状的晶圆切段，然后对晶圆的切面进行抛光，芯片加工用切面抛光装置的是一种用于晶圆加工过程中对晶圆的切面进行抛光的辅助装置，其在半导体加工的领域中得到了广泛的使用。现有的芯片加工切面抛光设备在使用时还存在着一些问题：1、将抛光完成的晶圆取下时，需要关闭设备，才可取下晶圆并更换，费时费力，降低了生产效率；2、无法对待抛光的晶圆进行收纳，还需通过其他设备收纳，不便于工作人员取用，给工作人员带来了极大的不便，导致工作效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种芯片加工切面抛光设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片加工切面抛光设备，包括底板以及固定设置于底板一侧的三角形延伸板；所述底板底端的四角均固定焊接有支撑腿，且支撑腿远离底板的一端粘接设置有防滑垫，所述底板的顶端远离三角形延伸板的一侧开设有放置槽，且底板的顶端远离放置槽的一侧对称开设有多组供T型滑块滑动设置的T型滑槽；所述放置槽内活动设置有定位板，且定位板远离底板的一侧固定设置有抵接底板的活动板；多组所述T型滑块的顶端固定焊接有底座，且底座顶端的两侧均居中开设有定位槽。优选的，所述三角形延伸板的顶端远离放置槽的一侧居中设置有承重柱，且承重柱的顶端固定焊接有支撑柱，所述支撑柱的顶端远离承重柱的一侧居中设置有电动伸缩杆，且电动伸缩杆的活塞杆穿过支撑柱固定连接有安装板。优选的，所述安装板远离电动伸缩杆一侧的中心固定设置有旋转电机，且旋转电机的电机轴固定连接有圆板，所述圆板朝向抛光轮的一侧呈环形阵列开设有多组供螺栓活动设置的圆孔，且多组螺栓穿过圆板的一端螺纹连接有抛光轮。优选的，所述活动板一侧的两端均居中开设有供直线轴承固定设置的圆槽，且多组直线轴承内活动设置有导向杆，所述导向杆的两端均固定连接有挡板，且多组挡板远离导向杆的一端固定连接有C型侧板，多组所述C型侧板中远离三角形延伸板的一组C型侧板的一侧等距开设有多组供插销插入的插孔，且插销穿过插孔的一端插入活动板内。优选的，所述底座的底端居中设置有U型滑块，且底板的顶端配合U型滑块开设有供U型滑块设置的活动槽，所述U型滑块的一侧开设有供丝杠啮合的螺纹孔，且丝杠延伸出活动槽的两端均固定连接有旋钮。本技术的技术效果和优点：该芯片加工切面抛光设备，得益于底座和两组旋钮的设置，通过转动旋钮可移动底座，便于工作人员取下并更换晶圆，省时省力，提高了生产效率；得益于放置槽和定位板的设置，通过将待加工的晶圆放置于放置槽内，再通过定位板抵接晶圆，配合插销对其进行固定，便于工作人员取用，提升了工作效率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术图1中A处结构的放大示意图；图3为本技术图1中B处结构的放大示意图；图4为本技术图1中C处结构的放大示意图。图中：1底板、101支撑腿、2三角形延伸板、201承重柱、202支撑柱、3放置槽、301定位板、302活动板、4T型滑块、401底座、5电动伸缩杆、501安装板、502旋转电机、6圆板、601螺栓、602抛光轮、7直线轴承、701导向杆、702C型侧板、703插销、8U型滑块、9丝杠、901旋钮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非单独定义指出的方向外，本文涉及的上、下、左、右、前、后、内和外等方向均是以本技术所示的图中的上、下、左、右、前、后、内和外等方向为准，在此一并说明。本技术提供了如图1-4所示的一种芯片加工切面抛光设备，包括底板1以及固定设置于底板1一侧的三角形延伸板2；所述底板1底端的四角均固定焊接有支撑腿101，且支撑腿101远离底板1的一端粘接设置有防滑垫，所述底板1的顶端远离三角形延伸板2的一侧开设有放置槽3，且底板1的顶端远离放置槽3的一侧对称开设有多组供T型滑块4滑动设置的T型滑槽；所述放置槽3内活动设置有定位板301，且定位板301远离底板1的一侧固定设置有抵接底板1的活动板302；多组所述T型滑块4的顶端固定焊接有底座401，且底座401顶端的两侧均居中开设有定位槽。具体的，所述三角形延伸板2的顶端远离放置槽3的一侧居中设置有承重柱201，且承重柱201的顶端固定焊接有支撑柱202，所述支撑柱202的顶端远离承重柱201的一侧居中设置有电动伸缩杆5，且电动伸缩杆5的活塞杆穿过支撑柱202固定连接有安装板501。具体的，所述安装板501远离电动伸缩杆5一侧的中心固定设置有旋转电机502，且旋转电机502的电机轴固定连接有圆板6，所述圆板6朝向抛光轮602的一侧呈环形阵列开设有多组供螺栓601活动设置的圆孔，且多组螺栓601穿过圆板6的一端螺纹连接有抛光轮602。具体的，所述活动板302一侧的两端均居中开设有供直线轴承7固定设置的圆槽，且多组直线轴承7内活动设置有导向杆701，通过两组直线轴承7配合两组导向杆701，便于活动板302移动，使用方便，所述导向杆701的两端均固定连接有挡板，且多组挡板远离导向杆701的一端固定连接有C型侧板702，多组所述C型侧板702中远离三角形延伸板2的一组C型侧板702的一侧等距开设有多组供插销703插入的插孔，且插销703穿过插孔的一端插入活动板302内，通过将待加工的晶圆放置于放置槽3内，再通过定位板301抵接晶圆，配合插销703对其进行固定，便于工作人员取用，提升了工作效率。具体的，所述底座401的底端居中设置有U型滑块8，且底板1的顶端配合U型滑块8开设有供U型滑块8设置的活动槽，所述U型滑块8的一侧开设有供丝杠9啮合的螺纹孔，且丝杠9延伸出活动槽的两端均固定连接有旋钮901，通过转动旋钮901带动丝杠9旋转，再通过啮合于丝杠9的U型滑块8带动底座401移动，便于工作人员取下并更换晶圆，省时省力，提高了生产效率。工作原理，该芯片加工切面抛光设备，使用时，将待加工的晶圆放入放置槽3内，再移动定位板301，使定位板301抵接晶圆，并通过插销703固定，防止晶圆倾倒，而后拿取晶圆并将其放置于底座401上的两组定位槽内，转动旋钮901，将两组晶圆中的一组移动至抛光轮602下方，进而开启电动伸缩杆5和旋转电机502，通过旋转电机502带动抛光轮602旋转，再通过电动伸缩杆5推动抛光轮602抵接晶圆，对其进行抛光，抛光完成后，开启电动伸缩杆5，使电动伸缩杆5稍稍带动抛光轮602抬起，再转动旋钮901，将放置于底座401内的另一组晶圆移动至抛光轮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片加工切面抛光设备，包括底板(1)以及固定设置于底板(1)一侧的三角形延伸板(2)；/n其特征在于：所述底板(1)底端的四角均固定焊接有支撑腿(101)，且支撑腿(101)远离底板(1)的一端粘接设置有防滑垫，所述底板(1)的顶端远离三角形延伸板(2)的一侧开设有放置槽(3)，且底板(1)的顶端远离放置槽(3)的一侧对称开设有多组供T型滑块(4)滑动设置的T型滑槽；/n所述放置槽(3)内活动设置有定位板(301)，且定位板(301)远离底板(1)的一侧固定设置有抵接底板(1)的活动板(302)；/n多组所述T型滑块(4)的顶端固定焊接有底座(401)，且底座(401)顶端的两侧均居中开设有定位槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片加工切面抛光设备，包括底板(1)以及固定设置于底板(1)一侧的三角形延伸板(2)；
其特征在于：所述底板(1)底端的四角均固定焊接有支撑腿(101)，且支撑腿(101)远离底板(1)的一端粘接设置有防滑垫，所述底板(1)的顶端远离三角形延伸板(2)的一侧开设有放置槽(3)，且底板(1)的顶端远离放置槽(3)的一侧对称开设有多组供T型滑块(4)滑动设置的T型滑槽；
所述放置槽(3)内活动设置有定位板(301)，且定位板(301)远离底板(1)的一侧固定设置有抵接底板(1)的活动板(302)；
多组所述T型滑块(4)的顶端固定焊接有底座(401)，且底座(401)顶端的两侧均居中开设有定位槽。


2.根据权利要求1所述的一种芯片加工切面抛光设备，其特征在于：所述三角形延伸板(2)的顶端远离放置槽(3)的一侧居中设置有承重柱(201)，且承重柱(201)的顶端固定焊接有支撑柱(202)，所述支撑柱(202)的顶端远离承重柱(201)的一侧居中设置有电动伸缩杆(5)，且电动伸缩杆(5)的活塞杆穿过支撑柱(202)固定连接有安装板(501)。


3.根据权利要求2所述的一种芯片加工切面抛光设备，其特征在于：所述安装板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：程进，
申请(专利权)人：苏州芯海半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32