一种二极管生产用硅片衬板清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了硅片衬板清洗技术领域的一种二极管生产用硅片衬板清洗装置，包括箱体，箱体的内部下端位置固定连接有过滤板，箱体的一侧位于过滤板的下端设置有抽水管，抽水管上设置有增压泵与逆止阀，箱体的上端设置有水箱，水箱与抽水管连通，水箱的一侧设置有第一排水管，第一排水管上设置有第二排水管，第二排水管远离水箱的一端部分位于箱体的顶端，位于箱体顶端的第二排水管的下端设置有上喷头，第一排水管远离水箱的一端部分设置在过滤板的上方，位于过滤板下端的第一排水管上端设置有下喷头，能够全面的对硅片衬板进行清洗，清洗效果较好，减少甚至没有清洗死角，能够提高硅片衬板的清洗质量，较为实用。

【技术实现步骤摘要】
一种二极管生产用硅片衬板清洗装置
本技术涉及硅片衬板清洗
，具体为一种二极管生产用硅片衬板清洗装置。
技术介绍
硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层)；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等，在半导体生产过程中会出现外延片边缘沉积较多，生产出的外延片边缘偏厚，从而直接导致后续工序异常，需要将外延片边边缘偏厚部分去除，而较可行的办法就是用砂轮进行磨边，磨边后的蓝宝石外延片表面会被沾污，故需要一种装置对外延片的表面进行清洗。例如中国专利申请号CN201720222393.X一种用于发光二极管生产的外延片清洗装置，具体内容为：开口的高度略大于传动装置的高度再加上两个防水吸盘的高度，液体管道与装置本体的连接处设置有密封垫片，装置本体的底部与底座的底部位于同一水平面，将用于发光二极管生产所需的外延片安装在防水吸盘上，履带带动外延片向装置本体内移动，到达装置本体内部时受到喷头喷出的液体清洗，液体经过滤网过滤后落入装置本体内腔底部并通过增压泵加压进入液体管道，一部分液体储存在压力贮水罐中，另一部分液体通过喷头喷洒继续作业。这种硅片衬板清洗装置在使用的过程中不能够上下较为充分的对硅片衬板进行清洗，下端面容易存在清洗死角，因此无法有效提高装置的清洗质量，使用存在弊端，基于此，本技术设计了一种二极管生产用硅片衬板清洗装置以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种二极管生产用硅片衬板清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的在使用的过程中不能够上下较为充分的对硅片衬板进行清洗，下端面容易存在清洗死角，因此无法有效提高装置的清洗质量。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种二极管生产用硅片衬板清洗装置，包括箱体，所述箱体的内部下端位置固定连接有过滤板，所述箱体的一侧位于过滤板的下端设置有抽水管，所述抽水管上设置有增压泵与逆止阀，所述箱体的上端设置有水箱，所述水箱与抽水管连通，所述水箱的一侧设置有第一排水管，所述第一排水管上设置有第二排水管，所述第二排水管远离水箱的一端部分位于箱体的顶端，位于所述箱体顶端的第二排水管的下端设置有上喷头，所述第一排水管远离水箱的一端部分设置在过滤板的上方，位于所述过滤板下端的第一排水管上端设置有下喷头；所述箱体的内部下端位置设置有传动机构，所述传动机构包括有第一传动装置与第二传动装置，所述第一传动装置与第二传动装置之间存在距离，位于所述过滤板下端的第一排水管处在第一传动装置与第二传动装置之间。优选的，所述第一传动装置与第二传动装置的上端面均固定连接有固定杆，所述固定杆的内部一侧位置开设有扣槽。优选的，所述第一传动装置与第二传动装置的上端面位于固定杆一侧的位置固定连接有连接杆，所述连接杆的上端面固定连接有限位块。优选的，所述限位块的内部开设有限位槽，且限位槽宽度与扣槽的宽度相同。优选的，在所述固定杆与连接杆位于水平放置的第一传动装置与第二传动装置上端时，所述限位槽处于扣槽水平状态。优选的，所述上喷头与下喷头呈上下对应设置。与现有技术相比，本技术的有益效果是：将硅片衬板插在第一传动装置与第二传动装置上端固定杆中的扣槽中，直至硅片衬板抵住后端限位槽内壁中，能够对硅片衬板进行三面的位置限定，且硅片衬板与限位槽和扣槽之间存在配合间隙，在能够对硅片衬板进行支撑简单限位的同时，也能够将保证硅片衬板在进入箱体内部清理不会掉落，传动机构对硅片衬板进行移动，上喷头与下喷头配合对硅片衬板上下面进行清理，且也能够将处于限位槽和扣槽内部的硅片衬板进行清洗，水流能够进入硅片衬板与限位槽和扣槽之间的间隙中，之后在箱体的另一侧将清洗好的硅片衬板进行卸除，能够全面的对硅片衬板进行清洗，清洗效果较好，减少甚至没有清洗死角，能够提高硅片衬板的清洗质量，较为实用。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术传动机构和固定杆的结合视图；图3为本技术固定杆和扣槽的结合视图；图4为本技术连接杆和限位块的结合视图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、箱体；2、传动机构；3、固定杆；4、水箱；5、抽水管；6、第一排水管；7、第二排水管；8、上喷头；9、增压泵；10、逆止阀；11、下喷头；12、过滤板；13、连接杆；14、限位块；15、第一传动装置；16、第二传动装置；17、扣槽；18、限位槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图4，本技术提供一种二极管生产用硅片衬板清洗装置技术方案：一种二极管生产用硅片衬板清洗装置，包括箱体1，箱体1的内部下端位置固定连接有过滤板12，箱体1的一侧位于过滤板12的下端设置有抽水管5，抽水管5上设置有增压泵9与逆止阀10，箱体1的上端设置有水箱4，水箱4与抽水管5连通，水箱4的一侧设置有第一排水管6，第一排水管6上设置有第二排水管7，第二排水管7远离水箱4的一端部分位于箱体1的顶端，位于箱体1顶端的第二排水管7的下端设置有上喷头8，第一排水管6远离水箱4的一端部分设置在过滤板12的上方，位于过滤板12下端的第一排水管6上端设置有下喷头11；箱体1的内部下端位置设置有传动机构2，传动机构2包括有第一传动装置15与第二传动装置16，第一传动装置15与第二传动装置16之间存在距离，位于过滤板12下端的第一排水管6处在第一传动装置15与第二传动装置16之间。第一传动装置15与第二传动装置16的上端面均固定连接有固定杆3，固定杆3的内部一侧位置开设有扣槽17，第一传动装置15与第二传动装置16的上端面位于固定杆3一侧的位置固定连接有连接杆13，连接杆13的上端面固定连接有限位块14，限位块14的内部开设有限位槽18，且限位槽18宽度与扣槽17的宽度相同，在固定杆3与连接杆13位于水平放置的第一传动装置15与第二传动装置16上端时，限位槽18处于扣槽17水平状态，上喷头8与下喷头11呈上下对应设置。本实施例的一个具体应用为：将装置与外部电源连接，在箱体1的一侧，将硅片衬板插在第一传动装置15与第二传动装置16上端固定杆3中的扣槽17中，直至硅片衬板抵住后端限位槽18内壁中，能够对硅片衬板进行三面的位置限定，且硅片衬板与限位槽18和扣槽17之间存在配合间隙，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二极管生产用硅片衬板清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部下端位置固定连接有过滤板(12)，所述箱体(1)的一侧位于过滤板(12)的下端设置有抽水管(5)，所述抽水管(5)上设置有增压泵(9)与逆止阀(10)，所述箱体(1)的上端设置有水箱(4)，所述水箱(4)与抽水管(5)连通，所述水箱(4)的一侧设置有第一排水管(6)，所述第一排水管(6)上设置有第二排水管(7)，所述第二排水管(7)远离水箱(4)的一端部分位于箱体(1)的顶端，位于所述箱体(1)顶端的第二排水管(7)的下端设置有上喷头(8)，所述第一排水管(6)远离水箱(4)的一端部分设置在过滤板(12)的上方，位于所述过滤板(12)下端的第一排水管(6)上端设置有下喷头(11)；/n所述箱体(1)的内部下端位置设置有传动机构(2)，所述传动机构(2)包括有第一传动装置(15)与第二传动装置(16)，所述第一传动装置(15)与第二传动装置(16)之间存在距离，位于所述过滤板(12)下端的第一排水管(6)处在第一传动装置(15)与第二传动装置(16)之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种二极管生产用硅片衬板清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部下端位置固定连接有过滤板(12)，所述箱体(1)的一侧位于过滤板(12)的下端设置有抽水管(5)，所述抽水管(5)上设置有增压泵(9)与逆止阀(10)，所述箱体(1)的上端设置有水箱(4)，所述水箱(4)与抽水管(5)连通，所述水箱(4)的一侧设置有第一排水管(6)，所述第一排水管(6)上设置有第二排水管(7)，所述第二排水管(7)远离水箱(4)的一端部分位于箱体(1)的顶端，位于所述箱体(1)顶端的第二排水管(7)的下端设置有上喷头(8)，所述第一排水管(6)远离水箱(4)的一端部分设置在过滤板(12)的上方，位于所述过滤板(12)下端的第一排水管(6)上端设置有下喷头(11)；
所述箱体(1)的内部下端位置设置有传动机构(2)，所述传动机构(2)包括有第一传动装置(15)与第二传动装置(16)，所述第一传动装置(15)与第二传动装置(16)之间存在距离，位于所述过滤板(12)下端的第一排水管(6)处在第一传动装置(15)与第二传动装置(16)之间。


2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡明挽，
申请(专利权)人：广东深科电子有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44