一种晶圆自动化生产控制系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种晶圆自动化生产控制系统及方法，包括1、控制模块、数据存储模块、通讯模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备；控制模块进行对自动化设备平台、数据存储模块、通讯模块和检测模块的控制；通讯模块进行对控制模块、数据存储模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备的数据传输；自动化设备平台进行接收指令对自动化设备进行起闭；自动化设备进行对晶元的各类生产操作；检测模块进行对自动化设备生产晶圆的过程和成品的检测；数据存储模块进行对自动化设备平台、检测模块的数据存储。本发明专利技术结构简单，操作方便，提高自动化监测效果和有效保证数据的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动化生产控制系统及方法
本专利技术主要涉及晶圆生产检测领域，尤其涉及一种晶圆自动化生产控制系统及方法。
技术介绍
现有的晶圆自动化产线速度快，效率高，但是自动化生产也会存在残次品，对于残次品的原因分析有利于改进生产工艺，缺乏实时对产品的生产记录。已公开中国专利技术专利，申请号CN201910707224.9，专利名称：一种晶圆自动化生产控制系统及方法，申请日：2019-08-01，本专利技术涉及一种晶圆自动化生产控制系统及方法，该方法包括：MES系统、通讯服务层模块、机台自动化平台和自动化设备，其中，MES系统通过通讯服务层模块和机台自动化平台与自动化设备通信，自动化设备将生产过程中的生产相关信息发送给MES系统；MES系统根据生产相关信息生成第一控制指令并发送给自动化设备。本专利技术实施例中，自动化设备将生产过程中的生产相关信息发送给MES系统，MES系统根据该生产相关信息生成第一控制指令，对晶圆生产的生产准备阶段、生产过程和/或生产产出阶段进行控制，提高晶圆生产的自动化和信息化程度，提升晶圆生产机台效能和产品良率，降低晶圆生产管理成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种晶圆自动化生产控制系统及方法，针对现有技术的上述缺陷，提供一种晶圆自动化生产控制系统及方法，包括控制模块、数据存储模块、通讯模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备；所述控制模块进行对自动化设备平台、数据存储模块、通讯模块和检测模块的控制；所述通讯模块进行对控制模块、数据存储模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备的数据传输；所述自动化设备平台进行接收指令对自动化设备进行起闭；所述自动化设备进行对晶元的各类生产操作；所述检测模块进行对自动化设备生产晶圆的过程和成品的检测；所述数据存储模块进行对自动化设备平台、检测模块的数据存储。优选的，数据存储模块包括服务器和云端存储。优选的，还包括显示器，所述显示器上实时显示检测模块的检测结果。优选的，还包括声光报警装置，所述声光报警装置连接在控制模块上。优选的，检测模块包括照相模块、测量模块和比对模块，经过所述照相模块采集得到的图像与设定的标准值通过测量模块进行数据的提取，然后经过比对模块进行数据比对，获得最终结果。优选的，照相模块内还包括图像处理模块。一种晶圆自动化生产控制的方法，其特征在于，包括以下工序：第一步：控制模块接收命令启动自动化设备平台，所述自动化设备平台通过串口连接命令自动化设备进行晶圆生产；第二步：自动化设备将生产过程中的生产相关信息发送给所述自动化设备平台，所述自动化设备平台将信息反馈给控制模块；第三步：控制模块传输命令至检测模块进行对晶圆的检测，所述检测模块收集检测结果；第四步：检测模块经过通信模块将数据传输至数据存储模块并存储；第五步：对检测结果进行实时分类，并将结果传输至控制模块控制自动化设备的启停。本专利技术的有益效果：结构简单，操作方便，提高自动化监测效果和有效保证数据的安全性。具体实施方式本专利技术包括有：控制模块、数据存储模块、通讯模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备；所述控制模块进行对自动化设备平台、数据存储模块、通讯模块和检测模块的控制；所述通讯模块进行对控制模块、数据存储模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备的数据传输；所述自动化设备平台进行接收指令对自动化设备进行起闭；所述自动化设备进行对晶元的各类生产操作；所述检测模块进行对自动化设备生产晶圆的过程和成品的检测；所述数据存储模块进行对自动化设备平台、检测模块的数据存储。在本实施中优选的，数据存储模块包括服务器和云端存储。设置上述结构，有利于数据的存储和保存，避免数据的丢失情况发生。在本实施中优选的，还包括显示器，所述显示器上实时显示检测模块的检测结果。设置上述结构，操作人员可以实时对产品进行抽查，保证有效的人工检查，提高产品品质。在本实施中优选的，还包括声光报警装置，所述声光报警装置连接在控制模块上。设置上述结构，有利于保证生产环境的安全性，提高人员工作环境的稳定。在本实施中优选的，检测模块包括照相模块、测量模块和比对模块，经过所述照相模块采集得到的图像与设定的标准值通过测量模块进行数据的提取，然后经过比对模块进行数据比对，获得最终结果。在本实施中优选的，照相模块内还包括图像处理模块。设置上述结构，实用照相的方式进行检查，提高自动化程度，和检测精度。一种晶圆自动化生产控制的方法，其特征在于，包括以下工序：第一步：控制模块接收命令启动自动化设备平台，所述自动化设备平台通过串口连接命令自动化设备进行晶圆生产；第二步：自动化设备将生产过程中的生产相关信息发送给所述自动化设备平台，所述自动化设备平台将信息反馈给控制模块；第三步：控制模块传输命令至检测模块进行对晶圆的检测，所述检测模块收集检测结果；第四步：检测模块经过通信模块将数据传输至数据存储模块并存储；第五步：对检测结果进行实时分类，并将结果传输至控制模块控制自动化设备的启停。上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆自动化生产控制系统及方法，其特征在于，包括控制模块、数据存储模块、通讯模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备；/n所述控制模块进行对自动化设备平台、数据存储模块、通讯模块和检测模块的控制；/n所述通讯模块进行对控制模块、数据存储模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备的数据传输；/n所述自动化设备平台进行接收指令对自动化设备进行起闭；/n所述自动化设备进行对晶元的各类生产操作；/n所述检测模块进行对自动化设备生产晶圆的过程和成品的检测；/n所述数据存储模块进行对自动化设备平台、检测模块的数据存储。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动化生产控制系统及方法，其特征在于，包括控制模块、数据存储模块、通讯模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备；
所述控制模块进行对自动化设备平台、数据存储模块、通讯模块和检测模块的控制；
所述通讯模块进行对控制模块、数据存储模块、检测模块、自动化设备平台和自动化设备的数据传输；
所述自动化设备平台进行接收指令对自动化设备进行起闭；
所述自动化设备进行对晶元的各类生产操作；
所述检测模块进行对自动化设备生产晶圆的过程和成品的检测；
所述数据存储模块进行对自动化设备平台、检测模块的数据存储。


2.根据权利要求1所述的晶圆自动化生产控制系统及方法，其特征在于：所述数据存储模块包括服务器和云端存储。


3.根据权利要求2所述的晶圆自动化生产控制系统及方法，其特征在于：还包括显示器，所述显示器上实时显示检测模块的检测结果。


4.根据权利要求3所述的晶圆自动化生产控制系统及方法，其特征在于：还包括声光报警装置，所述声光报警装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：金星勋，
申请(专利权)人：无锡芯享信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32