辅助选择图案单元用于图案匹配的装置、方法和程序制造方法及图纸

提供一种辅助选择图案单元用于图案匹配的装置和方法，该装置包括：图案单元提取器（５１），由计算机执行其功能之一，从基准图像中提取多个图案单元，基准图像的一区域被显示在显示器（４５）上；输入部分（４６），接受操作者从多个图案单元之中选出一个图案单元作为基准单元的选择；鉴别校验器（５２），检查所选图案单元是否可区别于其他图案单元和是否可用作为用于图案匹配的基准图案单元。将检查结果通报给操作者，通过参照鉴别校验器（５２）所进行的检查结果，从基准图像中的图案单元之中选出一个适当图案单元，作为基准图案单元。因此，能够防止在图案匹配中检测目标图像相对于基准图像的位置时所用基准图案单元的错误识别。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于辅助操作者从基准图像的图案单元(element)中选出图案单元作为基准图案单元的技术，该基准图案单元被用于通过图案匹配来检测目标图像相对于基准图像的位置。
技术介绍
通常，已经通过图案匹配，实现了目标图像相对于基准图像的位置的检测。对于此检测，由操作者指定一图案单元，作为用于图案匹配的基准图案单元。例如，当测试在印刷接线板、半导体衬底、玻璃衬底等(以下称为“衬底)上形成的图案时，预备一无缺陷衬底(其上形成受测衬底上的图案相同的图案)，预先拍摄一区域(其包括无缺陷衬底上形成的图案中的预期部分)的图像，以提供彩色基准图像。随后将彩色基准图像二值化，在所得的二进制彩色基准图像中的预期部分中发现的图案单元被操作者指定为基准图案单元。然后，通过使用被指定为基准图案单元的图案单元来进行图案匹配，检测目标图像(通过拍摄受测衬底的图像而获得相对于基准图像的位置。结果，用于拍摄衬底图像的装置被准确定位于衬底上的预期位置中(换而言之，用于拍摄衬底图像的装置与衬底适当地对准)，并对衬底上的图案进行测试。根据日本专利申请待审公开No.5-6421(以下称为“JP No.5-6421)中公开的方法，预备多个隶属函数，这些函数分别对应于与表示各种模型图案单元几何特征的多个值；通过将表示几何特征的值代入到隶属函数中，确定二进制目标图像中多个图案单元的每一个与每个模型图案单元的一致性程度(换而言之，二进制目标图像中多个图案单元的每一个与每个模型图案单元的符合程度，以下称为“一致度”)。然后，对于多个图案单元的每一个，相互比较所得的一致度，以确定图案单元属于模型图案单元的哪一类。当目标图像包含有与被指定为基准图案单元的图案单元相似的其他图案单元时，在一些情况下，由于基准图案单元的错误识别，无法在图案匹配时准确检测目标图像相对于基准图像的位置。一种防止基准图案单元错误识别的解决方案是让操作者确认，在基准图像中被指定为基准图案单元的图案单元周围是否出现可能引起错误识别的图案单元。但是，是否将一个图案单元推定为实际引起错误识别是并不容易的，因此以上解决方案要求操作者一方的复杂作业。
技术实现思路
本专利技术针对一种用于辅助从基准图像中选择一个图案单元(或多个图案单元)作为一个基准图案单元(或者多个基准图案单元)的装置，该基准图案单元被用于通过图案匹配来检测目标图像相对于基准图像的位置；本专利技术的目的是防止图案匹配中基准图案单元的错误识别。根据本专利技术的装置包括图案单元提取器，用于从基准图像中提取多个图案单元；鉴别校验器，用于检查多个图案单元之一是否可区别于其他图案单元和是否可用作为用于图案匹配的基准图案单元；显示器，用于显示至少部分的基准图像；以及输入部分，用于接受操作者在图案匹配中从多个图案单元之中选出一个图案单元作为基准图案单元的选择。根据本专利技术，通过参照检查结果，可从基准图像中选择适当的图案单元作为基准图案单元，由此防止基准图案单元的错误识别。根据本专利技术的一个方案，当检查结果为否定时，输入部分接受操作者从多个图案单元之中对于另一图案单元的选择；鉴别校验器利用操作者所选两个图案单元之间的位置关系，检查操作者所选两个图案单元的组合是否可区别于多个图案单元之中的两个图案单元的所有其他组合。结果，能够有效地选择用于基准图案单元的两个图案单元。可替代地，选择三个或更多图案单元。根据本专利技术的另一方案，鉴别校验器检查多个图案单元的每一个是否可区别于其他图案单元，该装置还包括显示控制器，其用以指示鉴别校验器所进行的检查结果，其与显示器上显示的每个图案单元相关联。优选地，该显示器显示与基准图像的外围区域不同的区域，多个图案单元之中的包含于该区域中的图案单元是操作者的选择目标。结果，在允许目标图像未对准的同时，能够选择图案单元作为基准图案单元，由此进一步可靠地防止图案匹配中基准图案单元的错误识别。本专利技术也针对一种辅助从基准图像中选择图案单元作为用于图案匹配的基准图案单元的方法，以及一种计算机可读介质，其承载用于以计算机执行该方法中的步骤的程序。从与附图相结合时的本专利技术的如下具体描述中，本专利技术的这些和其他目的、特征、方案及优点将会更为明显。附图说明图1说明了缺陷检测装置结构；图2说明了计算机结构；图3是由计算机实现的功能的方框图；图4是用于辅助选择图案单元作为基准图案单元的处理的流程图；图5说明了彩色基准图像；图6说明了二进制基准图像；图7、8、9和10说明了基准图像；图11是用于说明显示区域的图；图12是根据本专利技术第二实施例的图案单元选择辅助处理的流程图；图13说明了彩色基准图像；图14说明了二进制基准图像；以及图15说明了基准图像。具体实施例方式图1示出了根据本专利技术第一实施例的缺陷检测装置1的结构。缺陷检测装置1包括台架2，用于保持印刷接线板(下文中称为“板”)，在该板上形成有包含接线(迹线(trace))的图案；摄像单元3，用于拍摄板9的图像，以提供板9的彩色图像(或单色灰度图像)；台架驱动器21，用于相对于摄像单元3来移动台架2；以及计算机4，包括用于进行各种操作的CPU、用于存储各种信息的存储器，等等。计算机4起到控制器的作用，用以控制形成缺陷检测装置1的各个单元。请注意，术语“彩色图像”将被用于本说明书中；如上所述，可替代地提供单色灰度图像。摄像单元3包括照明部分31，用于发射照明光；光学系统32，用于将照明光引向板9和从板9接收光；以及摄像装置33，用于将光学系统32形成的板9的图像转换成电信号，并输出彩色图像数据。台架驱动器21包括X方向移动机构22，用于沿着图1中的箭头X所示方向(“X方向”)移动台架2；以及Y方向移动机构23，用于沿着图1中的箭头Y所示方向(“Y方向”)移动台架2。X方向移动机构22包括与滚珠螺杆(未示出)相连接的电动机221。电动机221的旋转促使Y方向移动机构23沿着导轨222在图1中的X方向上移动。Y方向移动机构23与X方向移动机构22具有相同结构。Y方向移动机构23的电动机231的旋转经由滚珠螺杆(未示出)，促使台架2沿着导轨232在Y方向上移动。在图1所示的缺陷检测装置1中，预备作为测试目标的板9通过外部承载机构而置于台架2上，板9的图像被拍摄，从而提供彩色图像(在本说明书中，预备作为测试目标的板9的彩色图像被称为“目标图像”)。随后，目标图像被缺陷检测装置1的图案匹配单元(未示出)二值化。然后，使用基准图案单元，对所得的二进制目标图像进行图案匹配，该基准图案单元是借助如下处理从基准图像中的图案单元之中选出图案单元而预先提供的，从而检测目标图像相对于基准图像的位置(即位置之差)。随后，基于检测到的目标图像相对于基准图像的位置，摄像单元3被准确定位在板上方的预期位置中(换而言之，摄像单元3与板9适当地对准)，并启动板9上形成的图案缺陷的检测。接着将具体说明缺陷检测装置1中的处理，这些处理用于从基准图像中的图案单元之中选出图案单元作为基准图案单元，该基准图案单元在检测目标图像相对于基准图像的位置时被用于图案匹配。在缺陷检测装置1中，计算机4实现了将通过用于图案匹配的图案单元选择辅助装置来表现的功能，该装置辅助从基准图像中的图案单元之中选出图案单元作为基准图案单元。图2示出了计算机4的结构。如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于辅助从基准图像中选择图案单元作为基准图案单元的装置，该基准图案单元被用于通过图案匹配来检测目标图像相对于所述基准图像的位置，该装置包括：图案单元提取器，用于从基准图像中提取多个图案单元；鉴别校验器，用于检查所述多个图 案单元之一是否可区别于其他图案单元和可用作为用于图案匹配的基准图案单元；显示器，用于显示至少部分的所述基准图像；以及输入部分，用于接受操作者从所述多个图案单元之中选出一个图案单元作为一个基准图案单元的选择。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐野洋，早川有美，今村淳志，西原荣治，
申请(专利权)人：大日本网目版制造株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]