一种半导体加工用探针测试台制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体加工用探针测试台，属于半导体加工领域。一种半导体加工用探针测试台，包括底座、测试平台，所述测试平台位于底座上，所述测试平台上设有测试机构，所述底座内设有测试仪器，所述测试机构与测试仪器之间电性连接，测试平台上设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有固定板，所述固定板上设有放置槽，所述固定板内设有空腔，所述空腔位于放置槽的下方；本发明专利技术，通过空腔、导热板、抽排气机构、气仓、加热机构的设置便于测试温度变化对半导体件性能的影响，通过夹持机构的设置便于对半导体件进行夹持固定，移动槽、螺纹杆、固定板的设置便于调节半导体件的位置，风管、第二转轴、扇叶的设置便于对测试仪器进行散热降温。温。温。

A probe test bench for semiconductor processing

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用探针测试台


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种半导体加工用探针测试台。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
[0003]半导体片在生产完成后需要进行抽样测试，一般会测试半导体片的导电性能但是现有的测试设备较为复杂，而且不便于对半导体进行夹持固定和位置调整，也不便于观测温度对半导体导电性能的影响，不便于对测试仪器进行散热降温。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中测试设备较为复杂，而且不便于对半导体进行夹持固定和位置调整，也不便于观测温度对半导体导电性能的影响，不便于对测试仪器进行散热降温问题，而提出的一种半导体加工用探针测试台。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种半导体加工用探针测试台，包括底座、测试平台，所述测试平台位于底座上，所述测试平台上设有测试机构，所述底座内设有测试仪器，所述测试机构与测试仪器之间电性连接，测试平台上设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有固定板，所述固定板上设有放置槽，所述固定板内设有空腔，所述空腔位于放置槽的下方，所述空腔与放置槽之间设有导热板，所述移动槽内转动连接有螺纹杆，所述固定板与螺纹杆之间螺纹连接，所述固定板上设有夹持机构，所述底座内转动连接有第一转轴，所述底座侧壁设有驱动电机，所述驱动电机的输出端与第一转轴固定连接，所述底座内设有风管，所述风管内转动连接有第二转轴，所述第二转轴与第一转轴之间连接有传动带，所述第二转轴上设有多组扇叶，所述风管与测试仪器相匹配，所述底座内设有抽排气机构，所述第一转轴上设有用以驱动抽排气机构的第一驱动机构，所述底座内设有气仓，所述抽排气机构的输出端接入气仓，所述气仓内设有加热机构，所述第一转轴上设有用以驱动加热机构的第二驱动机构，所述气仓与空腔之间连接有导气管，所述导气管上设有阀门。
[0007]优选的，所述测试机构包括支撑架，所述支撑架上转动连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的伸缩端固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的伸缩端固定连接有探针件，所述探针件与固定板相匹配。
[0008]优选的，所述第一驱动机构包括凸轮，所述凸轮侧壁的边缘滑动连接有第二推杆，所述抽排气机构包括第二气缸，所述第二气缸内滑动连接有第二活塞，所述第二推杆远离
凸轮的一端与第二活塞固定连接，所述第二气缸上设有第二进气管，所述第二气缸与气仓之间连接有第二排气管，所述第二进气管和第二排气管上均设有单向阀。
[0009]优选的，所述夹持机构包括夹持槽，所述夹持槽内滑动连接有夹持杆，所述夹持杆位于夹持槽内的一端固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧远离夹持杆的一端固定连接在夹持槽的内壁，所述夹持杆远离第二弹簧的一端固定连接有夹持板，所述夹持板与放置槽滑动连接。
[0010]优选的，所述第二驱动机构包括第三转轴，所述第三转轴与气仓转动连接，所述第三转轴上设有从动齿轮，所述第一转轴上设有锥齿轮，所述锥齿轮与从动齿轮相啮合，所述第三转轴上设有第二摩擦块，所述加热机构包括滑槽，所述滑槽内滑动连接有第一摩擦块，所述第一摩擦块位于滑槽内的一端固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧远离第一摩擦块的一端固定连接在滑槽的内壁，所述第一摩擦块与第二摩擦块相贴。
[0011]优选的，所述底座侧壁设有保护罩，所述驱动电机位于保护罩内，所述第二进气管远离第二气缸的一端接入保护罩内。
[0012]优选的，所述风管内螺纹连接有除尘帽，所述除尘帽内设有除尘网。
[0013]优选的，所述螺纹杆上设有曲柄，所述固定板上设有第一气缸，所述第一气缸内滑动连接有第一活塞，所述第一活塞上转动连接有第一推杆，所述第一推杆远离第一活塞的一端与曲柄转动连接，所述第一气缸上设有第一进气管，所述第一气缸与夹持槽之间连接有第一排气管，所述第一进气管和第一排气管上均设有单向阀，所述夹持槽上设有溢流阀。
[0014]优选的，所述底座内滑动连接有减震板，所述测试仪器位于减震板上，所述减震板底部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离减震板的一端固定连接在底座内。
[0015]优选的，所述螺纹杆上设有转动把手，所述转动把手上设有防滑纹，所述固定板底部设有多组助滑轮，所述助滑轮与移动槽滑动连接。
[0016]与现有技术相比，本专利技术提供了一种半导体加工用探针测试台，具备以下有益效果：
[0017]1、该半导体加工用探针测试台，工作人员将待测试的半导体件放置在放置槽内，通过夹持机构对半导体件进行夹持固定，固定完成后，通过转动螺纹杆调整固定板的位置，使半导体件位置与测试机构相匹配，启动测试仪器通过测试机构对半导体件进行性能测试，进一步的是，启动驱动电机，驱动电机带动第一转轴转动，第一转轴通过第一驱动带动抽排气机构将外界气体导入气仓内储存，与此同时，第一转轴通过第二驱动机构带动加热机构对气仓内的空气进行加热，通过开启导气管上的阀门将气仓内的热气排入空腔内对导热板进行加热，使半导体件的温度升高，测试不同温度下的半导体件的性能，进一步的，第一转轴通过传动带带动第二转轴转动，第二转轴带动扇叶转动对测试仪器进行散热降温。
[0018]2、该半导体加工用探针测试台，通过第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆的设置便于调整探针件的位置。
[0019]3、该半导体加工用探针测试台，凸轮通过第二推杆带动第二活塞在第二气缸内往复滑动，将外界的空气沿第二进气管、第二排气管排入气仓内储存。
[0020]4、该半导体加工用探针测试台，通过夹持槽、夹持杆、第二弹簧的设置便于对半导体件进行夹持固定，夹持板的设置便于增加对半导体件的固定效果。
[0021]5、该半导体加工用探针测试台，第一转轴通过锥齿轮、从动齿轮带动第三转轴转
动，第三转轴带动第二摩擦块与第一摩擦块相对滑动产生热量对气仓内的空气进行加热，第三弹簧的设置便于使第一摩擦块与第二摩擦块始终相贴。
[0022]6、该半导体加工用探针测试台，通过保护罩的设置便于对驱动电机进行保护，第二进气管便于将保护罩内的空气抽出，对驱动电机进行散热降温。
[0023]7、该半导体加工用探针测试台，通过除尘帽和除尘网的设置便于吸附风管内的灰尘及漂浮物。
[0024]8、该半导体加工用探针测试台，曲柄通过第一推杆带动第一活塞在第一气缸内往复滑动，将外界的空气沿第一进气管、第一排气管排入夹持槽内推动夹持杆和夹持板对半导体件进一步固定，当夹持槽内的气压过大时，夹持槽内的空气沿溢流阀排出，避免夹持板对半导体件施加过大的压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用探针测试台，包括底座(1)、测试平台(2)，所述测试平台(2)位于底座(1)上，其特征在于，所述测试平台(2)上设有测试机构，所述底座(1)内设有测试仪器(101)，所述测试机构与测试仪器(101)之间电性连接，测试平台(2)上设有移动槽(5)，所述移动槽(5)内滑动连接有固定板(6)，所述固定板(6)上设有放置槽(601)，所述固定板(6)内设有空腔(602)，所述空腔(602)位于放置槽(601)的下方，所述空腔(602)与放置槽(601)之间设有导热板，所述移动槽(5)内转动连接有螺纹杆(501)，所述固定板(6)与螺纹杆(501)之间螺纹连接，所述固定板(6)上设有夹持机构，所述底座(1)内转动连接有第一转轴(9)，所述底座(1)侧壁设有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)的输出端与第一转轴(9)固定连接，所述底座(1)内设有风管(10)，所述风管(10)内转动连接有第二转轴(11)，所述第二转轴(11)与第一转轴(9)之间连接有传动带(111)，所述第二转轴(11)上设有多组扇叶(112)，所述风管(10)与测试仪器(101)相匹配，所述底座(1)内设有抽排气机构，所述第一转轴(9)上设有用以驱动抽排气机构的第一驱动机构，所述底座(1)内设有气仓(13)，所述抽排气机构的输出端接入气仓(13)，所述气仓(13)内设有加热机构，所述第一转轴(9)上设有用以驱动加热机构的第二驱动机构，所述气仓(13)与空腔(602)之间连接有导气管(134)，所述导气管(134)上设有阀门。2.根据权利要求1所述的半导体加工用探针测试台，其特征在于，所述测试机构包括支撑架(3)，所述支撑架(3)上转动连接有第一电动伸缩杆(301)，所述第一电动伸缩杆(301)的伸缩端固定连接有第二电动伸缩杆(302)，所述第二电动伸缩杆(302)的伸缩端固定连接有探针件(303)，所述探针件(303)与固定板(6)相匹配。3.根据权利要求1所述的半导体加工用探针测试台，其特征在于，所述第一驱动机构包括凸轮(901)，所述凸轮(901)侧壁的边缘滑动连接有第二推杆(122)，所述抽排气机构包括第二气缸(12)，所述第二气缸(12)内滑动连接有第二活塞(121)，所述第二推杆(122)远离凸轮(901)的一端与第二活塞(121)固定连接，所述第二气缸(12)上设有第二进气管(123)，所述第二气缸(12)与气仓(13)之间连接有第二排气管(124)，所述第二进气管(123)和第二排气管(124)上均设有单向阀。4.根据权利要求1所述的半导体加工用探针测试台，其特征在于，所述夹持机构包括夹持槽(603)，所述夹持槽(603)内滑动连接有夹持杆(604)，所述夹持杆(604...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：高必静，
类型：发明
国别省市：