背照式图像传感器芯片制造技术

本发明专利技术提供一种背照式图像传感器芯片，通过将电感设置于衬底背面并与衬底正面的主体电路彼此连接，避免了占用衬底正面较大的面积，提高了芯片集成度，减少了对主体电路的耦合干扰，利用衬底背面的厚金属作为电感线圈，实现了高品质因子的需求，改善了芯片性能，降低了系统成本，该电感可以应用于振荡器电路，提高了输出频率，提高了相噪性能，扩大了应用范围。范围。范围。

【技术实现步骤摘要】
背照式图像传感器芯片


[0001]本专利技术涉及一种背照式图像传感器芯片。

技术介绍

[0002]背照式图像传感器芯片通常包括具有相对的正面和背面的半导体衬底，其中光从背面进入衬底，用于形成互联电路的金属层设置于衬底正面。随着集成电路工艺特征尺寸的缩小，集成电路芯片的面积越来越小，面积的缩小意味着成本的降低。而集成电路设计所需要的无源元件，如电感，并不能像晶体管那样同等程度地缩小，因此，无源元件较大的面积成为了集成电路芯片缩小的瓶颈。此外，一些电路对电感的品质因子Q值的要求较高，因此需要较厚的金属来制作电感的线圈，厚金属的使用需要增加额外的掩模版，增加了制作成本。
[0003]目前针对电感占用面积较大的问题，将电感置于片外是一种简单的办法，但片外电感的使用，降低了芯片的集成度，同时，也增加了应用该芯片的系统成本；额外增加的焊盘也不利于芯片面积的进一步缩小。在振荡器电路中，为了避免电感的使用，往往采用环形振荡器，这种振荡器存在振荡频率不高，相位噪声差的缺点，限制了其在一些应用场景的使用。

技术实现思路

[0004]本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种背照式图像传感器芯片，其特征在于，包括：具有相对的正面和背面的半导体衬底，其中光从背面进入衬底；设置于所述衬底正面的主体电路；设置于所述衬底背面的电感；所述电感与所述主体电路彼此连接。2.如权利要求1所述的背照式图像传感器芯片，其特征在于，所述衬底背面具有单层金属，所述单层金属作为所述电感的线圈。3.如权利要求1所述的背照式图像传感器芯片，其特征在于，所述衬底背面具有多层金属，其中最厚的一层金属或多层金属作为所述电感的线圈。4.如权利要求2或3所述的背照式图像传感器芯片，其特征在于，所述金属凸出于衬底背面的表面。5.如权利要求2或3所述的背照式图像传感器芯片，其特征在于，所述金属位于衬底背面的凹槽之中。6.如权利要求5所述的背照式图像传感器芯片，其特征在于，所述凹槽贯穿所述衬底的半导体材料，设置于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔劲轩，陈志远，
申请(专利权)人：格科微电子上海有限公司，
类型：发明
国别省市：