一种新型激光重掺杂图形结构制造技术

技术编号:29274628 阅读:33 留言:0更新日期:2021-07-13 18:07
本实用新型专利技术公开的属于激光技术领域,具体为一种新型激光重掺杂图形结构,其技术方案是:包括第一硅片,所述第一硅片两侧连接有第二硅片,所述第一硅片上方固定安装有第一正面电极网版,所述第一正面电极网版包括第一正面主栅线、第一副栅线,所述第一正面主栅线与第一副栅线相互连接,所述第二硅片上方固定安装有第二正面电极网版,所述第二正面电极网版包括第二正面主栅线、第二副栅线,所述第二正面主栅线与第二副栅线相互连接,本实用新型专利技术的有益效果是:通过在第二硅片上第二正面电极网版、第二背面电极网版连接的第一矩形连接栅、第二矩形连接栅与第一正面电极网版、第一背面正极网版连接,使得电阻分布均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种新型激光重掺杂图形结构
本技术涉及激光
,具体涉及一种新型激光重掺杂图形结构。
技术介绍
随着硅片尺寸和扩散方块电阻进一步提高,匹配SE工艺,达到局部重掺杂目的,提升转换效率。现有技术存在以下不足:现有的装置大尺寸硅片和方块电阻的提高带来扩散方阻均匀性变差,一般扩散后硅片边角局部方阻差异较大,丝网烧结易出现边缘云雾状烧结不良,导致良率和效率低,影响工作质量,降低生产效益。因此,技术一种新型激光重掺杂图形结构很有必要。
技术实现思路
为此,本技术提供一种新型激光重掺杂图形结构,通过在第二硅片上第二正面电极网版、第二背面电极网版连接的第一矩形连接栅、第二矩形连接栅与第一正面电极网版、第一背面正极网版连接,使得电阻分布均匀,以解决方阻均匀性差,丝网烧结易出现边缘云雾状烧结不良导致良率和效率低的问题。为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种新型激光重掺杂图形结构,包括第一硅片,所述第一硅片两侧连接有第二硅片,所述第一硅片上方固定安装有第一正面电极网版,所述第一正面电极网版包括第一正面主栅线、第一副本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型激光重掺杂图形结构,包括第一硅片(1),其特征在于:所述第一硅片(1)两侧连接有第二硅片(2),所述第一硅片(1)上方固定安装有第一正面电极网版(13),所述第一正面电极网版(13)包括第一正面主栅线(14)、第一副栅线(16),所述第一正面主栅线(14)与第一副栅线(16)相互连接,所述第二硅片(2)上方固定安装有第二正面电极网版(212),所述第二正面电极网版(212)包括第二正面主栅线(26)、第二副栅线(27),所述第二正面主栅线(26)与第二副栅线(27)相互连接,所述第二正面电极网版(212)靠近第一正面电极网版(13)一侧固定连接有第一矩形连接栅(210),所述第二正...

【技术特征摘要】
1.一种新型激光重掺杂图形结构,包括第一硅片(1),其特征在于:所述第一硅片(1)两侧连接有第二硅片(2),所述第一硅片(1)上方固定安装有第一正面电极网版(13),所述第一正面电极网版(13)包括第一正面主栅线(14)、第一副栅线(16),所述第一正面主栅线(14)与第一副栅线(16)相互连接,所述第二硅片(2)上方固定安装有第二正面电极网版(212),所述第二正面电极网版(212)包括第二正面主栅线(26)、第二副栅线(27),所述第二正面主栅线(26)与第二副栅线(27)相互连接,所述第二正面电极网版(212)靠近第一正面电极网版(13)一侧固定连接有第一矩形连接栅(210),所述第二正面电极网版(212)通过第一矩形连接栅(210)与第一正面电极网版(13)连接,所述第二硅片(2)远离第二正面电极网版(212)一端固定安装有第二背面电极网版(28),所述第二背面电极网版(28)包括第二背面主栅线(29)、第二矩形连接栅(211),所述第二背面主栅线(29)与第二矩形连接栅(211)相互连接,所述第一硅片(1)远离第一正面电极网版(13)一端固定安装有第一背面电极网版(17),所述第一背面电极网版(17)包括第一背面主栅线(18),所述第一背面主栅线(18)与第一硅片(1)固定连接。


2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈兆民陈实树式夏利鹏吴圣李干陈经纬
申请(专利权)人:江苏龙恒新能源有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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